公开(公告)号：CN116348294A

公开(公告)日：2023-06-27

申请号：CN202180072078.2

申请日：2021-09-24

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 国松真一 ,  小坂隼也

IPC: B32B27/16

Abstract: 本申请提供一种感光性树脂层叠体，其包含支承薄膜和层叠在上述支承薄膜上的感光性树脂层。上述感光性树脂层包含30质量％～70质量％的碱溶性高分子、20质量％～50质量％的具有烯属不饱和双键的化合物、以及0.01质量％～20质量％的光聚合引发剂。上述碱溶性高分子包含具有芳香族基团的(甲基)丙烯酸酯作为共聚成分，且酸当量为350以上。上述具有烯属不饱和双键的化合物含有以其总质量作为基准计为50质量％～100质量％的丙烯酸酯单体，且双键当量为150以上。上述感光性树脂层的厚度为30μm以上。

公开(公告)号：CN114437251A

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN202210104954.1

申请日：2016-04-08

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 国松真一 ,  松田隆之 ,  山田有里 ,  筒井大和 ,  藤原晶

IPC: C08F2/44 ,  C08F2/46 ,  C08F2/50 ,  C08F20/26 ,  C08F265/06 ,  C08F290/06 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/029 ,  G03F7/031 ,  G03F7/032 ,  G03F7/033 ,  G03F7/038 ,  G03F7/20 ,  G03F7/40 ,  G03F7/42 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

Abstract: 本申请涉及一种感光性树脂组合物。所述感光性树脂组合物，其含有碱溶性高分子；具有烯属不饱和键的化合物；和光聚合引发剂，且利用用于评价耐化学试剂性的化学试剂对在基板表面上形成由该感光性树脂组合物形成的感光性树脂层、并进行曝光和显影而得到的抗蚀图案进行处理后，固化抗蚀层线的最小线宽为17μm以下。

公开(公告)号：CN112368642A

公开(公告)日：2021-02-12

申请号：CN201980041666.2

申请日：2019-06-18

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 松田隆之 ,  国松真一

IPC: G03F7/031 ,  C08F2/44 ,  C08F2/46 ,  G03F7/027 ,  G03F7/033 ,  G03F7/20 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18 ,  G03F7/004 ,  G03F7/029

Abstract: 提供一种适合于在曝光后进行加热，实现更高分辨率的感光性树脂组合物。一种感光性树脂组合物，其是用于在曝光后进行加热，然后进行显影而得到树脂固化物的感光性树脂组合物，以感光性树脂组合物的总固体成分质量基准计，包含以下的成分：(A)碱溶性高分子：10质量％～90质量％；(B)具有烯属不饱和双键的化合物：5质量％～70质量％；以及(C)光聚合引发剂：0.01质量％～20质量％，(A)碱溶性高分子整体中的苯乙烯和/或苯乙烯衍生物的结构单元为15质量％以上。

公开(公告)号：CN107924128B

公开(公告)日：2020-11-06

申请号：CN201680049309.7

申请日：2016-08-19

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 吉田真典 ,  国松真一 ,  西本秀昭

IPC: G03F7/033 ,  C08F2/50 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/40 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

Abstract: 一种感光性树脂组合物，其含有(A)碱溶性高分子、(B)具有烯属双键的化合物、及(C)光聚合引发剂，(A)碱溶性高分子的根据下述数学式(I){数学式(I)中，Wi为构成碱溶性高分子的各共聚单体的质量，Tgi为构成碱溶性高分子的共聚单体的各自形成均聚物时的玻璃化转变温度，Wtotal为碱溶性高分子的合计质量，此外n为构成该碱溶性高分子的共聚单体的种类的数量。}求出的玻璃化转变温度(Tgtotal)为100℃以下，(B)具有烯属双键的化合物含有具有烯属双键和三嗪‑三酮结构的化合物。

公开(公告)号：CN107924128A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680049309.7

申请日：2016-08-19

Applicant: 旭化成株式会社

Inventor： 吉田真典 ,  国松真一 ,  西本秀昭

IPC: G03F7/033 ,  C08F2/50 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/40 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18

Abstract: 一种感光性树脂组合物，其含有(A)碱溶性高分子、(B)具有烯属双键的化合物、及(C)光聚合引发剂，(A)碱溶性高分子的根据下述数学式(I){数学式(I)中，Wi为构成碱溶性高分子的各共聚单体的质量，Tgi为构成碱溶性高分子的共聚单体的各自形成均聚物时的玻璃化转变温度，Wtotal为碱溶性高分子的合计质量，此外n为构成该碱溶性高分子的共聚单体的种类的数量。}求出的玻璃化转变温度(Tgtotal)为100℃以下，(B)具有烯属双键的化合物含有具有烯属双键和三嗪-三酮结构的化合物。