公开(公告)号：CN107407147B

公开(公告)日：2020-01-03

申请号：CN201680017647.2

申请日：2016-01-20

Applicant: 日立造船株式会社

Inventor： 冈田利幸

IPC: E21D9/11 ,  E21D9/087 ,  E21D9/093 ,  G01L5/12

Abstract: 本发明提供一种隧道掘进机(1)，其具备数据处理装置(23)，该数据处理装置(23)基于在刀盘(11)的当前角度(θ)下取得的应变传感器(22)的当前测量值(Vp)、和在与当前角度对应的旋转角度下取得的过去的对应测量值(Vo)而取得误差数据(Er)，并使用误差数据来修正当前的测量数据。

公开(公告)号：CN107407147A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680017647.2

申请日：2016-01-20

Applicant: 日立造船株式会社

Inventor： 冈田利幸

IPC: E21D9/11 ,  E21D9/087 ,  E21D9/093 ,  G01L5/12

Abstract: 本发明提供一种隧道掘进机(1)，其具备数据处理装置(23)，该数据处理装置(23)基于在刀盘(11)的当前角度(θ)下取得的应变传感器(22)的当前测量值(Vp)、和在与当前角度对应的旋转角度下取得的过去的对应测量值(Vo)而取得误差数据(Er)，并使用误差数据来修正当前的测量数据。

公开(公告)号：CN101228290A

公开(公告)日：2008-07-23

申请号：CN200580051109.7

申请日：2005-08-25

Applicant: 日立造船株式会社

Inventor： 冈田利幸 ,  菊地昌弘

IPC: C23C14/04 ,  H05B33/10 ,  H01L51/50

CPC classification number: C23C14/042

Abstract: 本发明的真空蒸镀用校准装置具有掩模保持架(7)、连接用板(12)、位置调整装置(13)、伸缩式筒状遮断构件(14)、及施力装置(15)；该掩模保持架(7)在保持于真空容器(3)内的基片(5)的下方通过悬挂构件(11)保持，该悬挂构件(11)插通到形成于作为容器的上壁面的安装用板(1a)的贯通孔(1b)；该连接用板(12)设于真空容器的外方，同时，连接于悬挂构件；该位置调整装置(13)使该连接用板移动，可调整蒸镀室(2)内的掩模(8)相对基片(5)的位置；该伸缩式筒状遮断构件(14)外嵌于悬挂构件，同时，设于安装用板的贯通孔(1b)的外周与连接用板间，遮断真空侧与大气侧；该施力装置(15)发生与使筒状遮断构件的内侧处于真空状态从而对连接用板产生的推压力相反方向的力。

公开(公告)号：CN202786404U

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201220403488.9

申请日：2012-08-15

Applicant: 日立造船株式会社

Inventor： 冈田利幸 ,  藤本惠美子 ,  大工博之

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/14

Abstract: 本实用新型提供一种真空蒸镀装置，能缩短直到开始蒸发为止的时间，坩埚不会因局部加热而破损，能形成均匀的蒸镀膜。该真空蒸镀装置（1）包括：真空蒸镀用的坩埚（4），收容金属蒸镀材料（3）；以及加热装置（5），使坩埚（4）中收容的蒸镀材料（3）熔融并蒸发。坩埚（4）内部的中央部具有柱状的突出部（44），加热装置5具有从背面侧加热突出部（44）的主加热器（51），以及从外侧加热坩埚（4）的内周面（43）的副加热器（52），利用主加热器（51）蒸发的蒸镀材料（3）的量多于利用副加热器（52）蒸发的蒸镀材料（3）的量。