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公开(公告)号：CN102393605A
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN201110391729.2
申请日：2007-11-22
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: G03F7/033
Abstract: 本发明为感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法以及印刷电路板的制造方法。本发明的感光性树脂组合物含有：(A)具有下述通式(Ⅰ)表示的二价基团和下述通式(Ⅱ)表示的二价基团和下述通式(Ⅲ)表示的二价基团和下述通式(Ⅳ)表示的二价基团、且重均分子量为20000～50000的粘合剂聚合物，(B)光聚合性化合物，以及(C)光聚合引发剂，式(Ⅰ)、式(Ⅱ)、式(Ⅲ)及式(Ⅳ)中，R1、R3、R5及R6分别独立地表示氢原子或甲基，R2及R4分别独立地表示碳原子数1～3的烷基、碳原子数1～3的烷氧基、羟基或卤原子，R7表示碳原子数1～6的烷基，m或n分别独立地表示0～5的整数，m或n为2～5时，多个R2或R4相互可以相同或不同。
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公开(公告)号：CN102272676A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN201080004451.2
申请日：2010-02-02
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: G03F7/027 , C08F2/50 , G03F7/004 , G03F7/028 , G03F7/029 , G03F7/033 , G03F7/40 , H05K3/06 , H05K3/18
CPC classification number: C08F2/48 , C08F222/1006 , G03F7/027 , G03F7/033
Abstract: 本发明涉及一种感光性树脂组合物，是含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物和(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物，其中，所述(A)粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸的结构单元、基于(甲基)丙烯酸苄酯或(甲基)丙烯酸苄酯衍生物的结构单元，所述(B)光聚合性化合物包含下述通式(1)所示的化合物。式(1)中，R1、R2和R3各自独立地表示氢原子或甲基，a、b和c各自独立地表示1～48的整数，a、b和c的总数为6～50。
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公开(公告)号：CN1856742A
公开(公告)日：2006-11-01
申请号：CN200480027571.9
申请日：2004-09-17
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: G03F7/031
CPC classification number: G03F7/029 , C08F2/50 , G03F7/031 , Y10S430/106 , Y10S430/114 , Y10S430/115
Abstract: 本发明涉及提供，尤其是相对于波长400～450nm的光所进行的曝光，感度及分辨率优异，显影后的光阻的剖面形状为矩形的感光性元件、光阻图型的形成方法及印刷电路板的制造方法。本发明是具备支持体与感光性树脂组合物层的感光性元件，所述感光性树脂组合物层由含有(A)粘合剂聚合物，(B)光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物所构成。所述感光性元件的特征为，感光性树脂组合物的(C)成分是含有下述式(I)所表示的噻吨酮系化合物；相对于(A)成分及(B)成分的总量100重量份以噻吨酮系化合物的重量份为P，感光性树脂组合物层的膜厚为Q(μm)时的P与Q的积R满足式(1)的条件。上述式(I)中，R1～R8表示氢原子、卤原子或烃基。25.5≤R≤79.0……(1)
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公开(公告)号：CN102662306A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210142249.7
申请日：2007-04-13
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种顺次层叠支持体、感光层、保护膜而成的感光性元件、抗蚀图案的形成方法及印刷电路板的制造方法，所述感光层由含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂以及最大吸收波长为370~420nm的化合物的感光性树脂组合物形成，所述保护膜是以聚丙烯为主要成分。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101981502A
公开(公告)日：2011-02-23
申请号：CN200980110803.X
申请日：2009-05-22
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: G03F7/033 , C08F2/50 , C08F212/04 , C08F220/06 , C08F220/12 , G03F7/004 , G03F7/029 , G03F7/031 , G03F7/40 , H01L21/027
CPC classification number: C08F2/50 , C08F212/08 , C08F220/06 , C08F220/18 , C09D125/14 , C09J125/14 , G03F7/033 , C08F220/14 , C08F2220/1825 , C08F220/04 , C08F2220/1816 , C08F2220/1858 , C08F2220/1883
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有(A)具有下述通式(I)、(II)及(III)表示的2价基团的粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂。式(I)、(II)及(III)中，R1、R2、R4各自独立地表示氢原子或甲基，R3表示碳原子数为1～3的烷基等，m表示0～5的整数，R5、R6及R7各自独立地表示氢原子或碳原子数为1～5的烷基，R5、R6及R7中的至少两个表示碳原子数为1～5的烷基。
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公开(公告)号：CN101568883A
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：CN200780048173.9
申请日：2007-11-22
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: G03F7/033
Abstract: 本发明的感光性树脂组合物，其含有：(A)具有下述通式(I)～(IV)表示的二价基团的粘合剂聚合物；(B)光聚合性化合物；以及(C)光聚合引发剂，(如图)。[式(I)～(IV)中，R1、R3、R5及R6分别独立地表示氢原子或甲基，R2及R4分别独立地表示碳原子数1～3的烷基、碳原子数1～3的烷氧基、羟基或卤原子，R7表示碳原子数1～6的烷基。]
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公开(公告)号：CN101421671A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200780013593.3
申请日：2007-04-13
Applicant: 日立化成工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种顺次层叠支持体、感光层、保护膜而成的感光性元件，所述感光层由含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物、光聚合引发剂以及最大吸收波长为370～420nm的化合物的感光性树脂组合物形成，所述保护膜是以聚丙烯为主要成分。
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公开(公告)号：CN101218538A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200680024515.9
申请日：2006-07-03
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0007 , G03F7/029 , G03F7/031 , H01J9/242 , H01J11/36 , Y10S430/121 , Y10S430/127
Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物，其含有：(A)粘合剂聚合物、(B)具有能够聚合的乙烯性不饱和键的光聚合性化合物、(C)含有2，4，5－三芳基咪唑二聚物或其衍生物的光自由基聚合引发剂和(D)以下述通式(1)表示的化合物。式(1)中，R1和R2分别独立地表示碳原子数1～20的烷基等，R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9和R10分别独立地表示氢原子等。
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公开(公告)号：CN104808444A
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201510212089.2
申请日：2010-02-03
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: C08F2/50 , C08F220/06 , C08F257/02 , C08F265/06 , C09D4/06 , G03F7/027 , G03F7/105 , C08F222/1006
Abstract: 本发明涉及感光性树脂组合物、以及感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法和印刷线路板的制造方法。本发明涉及一种感光性树脂组合物，其是含有(A)粘合剂聚合物、(B)光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂和(D)敏化色素的感光性树脂组合物，所述(A)粘合剂聚合物具有基于(甲基)丙烯酸的结构单元、以及基于(甲基)丙烯酸苄酯或(甲基)丙烯酸苄酯衍生物的结构单元，所述(B)光聚合性化合物包含分别以下述通式(2)或下述通式(3)表示的化合物，所述(D)敏化色素包含下述通式(1)所示的化合物。
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