感光性元件、光阻图型的形成方法及印刷电路板制造方法

    公开(公告)号:CN1856742B

    公开(公告)日:2010-11-24

    申请号:CN200480027571.9

    申请日:2004-09-17

    Abstract: 本发明涉及提供,尤其是相对于波长400~450nm的光所进行的曝光,感度及分辨率优异,显影后的光阻的剖面形状为矩形的感光性元件、光阻图型的形成方法及印刷电路板的制造方法。本发明是具备支持体与感光性树脂组合物层的感光性元件,所述感光性树脂组合物层由含有(A)粘合剂聚合物,(B)光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物所构成。所述感光性元件的特征为,感光性树脂组合物的(C)成分是含有下述式(I)所表示的噻吨酮系化合物;相对于(A)成分及(B)成分的总量100重量份以噻吨酮系化合物的重量份为P,感光性树脂组合物层的膜厚为Q(μm)时的P与Q的积R满足式(1)的条件。下述式(I)中,R1~R8表示氢原子、卤原子或烃基。25.5≤R≤79.0……(1)[化1]

    感光性元件、光阻图型的形成方法及印刷电路板制造方法

    公开(公告)号:CN1856742A

    公开(公告)日:2006-11-01

    申请号:CN200480027571.9

    申请日:2004-09-17

    Abstract: 本发明涉及提供,尤其是相对于波长400~450nm的光所进行的曝光,感度及分辨率优异,显影后的光阻的剖面形状为矩形的感光性元件、光阻图型的形成方法及印刷电路板的制造方法。本发明是具备支持体与感光性树脂组合物层的感光性元件,所述感光性树脂组合物层由含有(A)粘合剂聚合物,(B)光聚合性化合物及(C)光聚合引发剂的感光性树脂组合物所构成。所述感光性元件的特征为,感光性树脂组合物的(C)成分是含有下述式(I)所表示的噻吨酮系化合物;相对于(A)成分及(B)成分的总量100重量份以噻吨酮系化合物的重量份为P,感光性树脂组合物层的膜厚为Q(μm)时的P与Q的积R满足式(1)的条件。上述式(I)中,R1~R8表示氢原子、卤原子或烃基。25.5≤R≤79.0……(1)

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