扫描激光投影仪以及光学模块

    公开(公告)号:CN219085224U

    公开(公告)日:2023-05-26

    申请号:CN202222493716.2

    申请日:2022-09-19

    Abstract: 本公开的实施例涉及扫描激光投影仪以及光学模块。扫描激光投影仪包括光学模块和投影引擎。所述光学模块包括输出激光束的激光发生器,以及以宽于出射窗口的扫描图案在穿过壳体限定的出射窗口上扫描激光束的可移动反射镜,使得激光束以小于扫描图案并在扫描图案内的投影图案被引导穿过出射窗口。第一光检测器围绕出射窗口的周边定位,使得当可移动反射镜以扫描图案扫描激光束时,以扫描图案将激光束跨壳体内部扫描而不穿过出射窗口的点处,使得激光束撞击第一光检测器。投影引擎基于来自第一光检测器的输出调整可移动反射镜的驱动。利用本公开的实施例有利地改善了反射镜驱动电子器件的可靠性。

    MEMS器件和电子器件
    15.
    实用新型

    公开(公告)号:CN218145865U

    公开(公告)日:2022-12-27

    申请号:CN202220875855.9

    申请日:2022-04-15

    Abstract: 本公开的实施例涉及MEMS器件和电子器件。一种MEMS器件,包括:半导体主体,其具有腔并且形成锚定部段;可倾斜结构,弹性地悬置在所述腔上方;第一支撑臂和第二支撑臂,支撑所述可倾斜结构;以及第一压电致动结构和第二压电致动结构,可偏置以机械地变形,从而产生所述可倾斜结构围绕旋转轴线的旋转。压电致动结构承载第一压电位移传感器和第二压电位移传感器。当可倾斜结构围绕旋转轴线旋转时,位移传感器受到相应的机械变形,并且产生彼此相位相反的相应感测信号,指示可倾斜结构的旋转。感测信号被配置成以差分方式获取。利用本公开的实施例有利地可以比使用现有技术更准确地控制可倾斜结构的运动。

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