公开(公告)号：CN217619898U

公开(公告)日：2022-10-21

申请号：CN202122469985.0

申请日：2021-10-13

Applicant: 应用材料公司

Inventor： S·M·苏尼加 ,  A·纳耿加斯特 ,  J·古鲁萨米

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/30 ,  B24B37/32 ,  B24B37/34 ,  H01L21/306 ,  H01L21/321 ,  H01L21/3105

Abstract: 本文描述了一种用于基板抛光的基板支撑载体。该基板支撑载体包括设置在扣环与卡紧隔膜之间的延伸件。延伸件从基板的边缘径向向外设置，并且被配置成在基板处理期间与扣环接触。延伸件提供在扣环与卡紧隔膜之间的可重复且受控的接触点。延伸件可具有多个配置，使得扣环与卡紧隔膜之间的接触点被设定在预定位置处，或者使得接触点可通过可调节止动件来移动。

公开(公告)号：CN219005640U

公开(公告)日：2023-05-12

申请号：CN202222717185.0

申请日：2022-10-14

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 吴政勋 ,  A·纳耿加斯特 ,  S·M·苏尼加 ,  E·L·劳 ,  H·P·拉金德兰 ,  S·拉达克里什南 ,  陈堃骧 ,  E·A·米克海利琴科

IPC: B24B29/02 ,  B24B41/00 ,  B24B1/00 ,  B24B41/06 ,  B24B57/02

Abstract: 本申请公开了用于化学机械抛光设备的内环和承载头。用于化学机械抛光设备的示例性承载头可包括载体主体。所述承载头可包括基板安装表面，所述基板安装表面与所述载体主体耦接。所述承载头可包括内环，所述内环的大小和形状被设定为周向地包围抵靠所述基板安装表面定位的基板的周边边缘。所述内环的特征可在于具有面对所述载体主体的第一表面的第一端部和具有与所述第一表面相对的第二表面的第二端部。所述内环的所述第二端部可径向地位移。所述承载头可包括外环，所述外环具有内表面，所述内表面抵靠所述内环的外表面设置。

公开(公告)号：CN217890625U

公开(公告)日：2022-11-25

申请号：CN202220339206.7

申请日：2022-02-18

Applicant: 应用材料公司

Inventor： S·M·苏尼加 ,  A·纳耿加斯特

IPC: B24B37/34 ,  B24B37/32 ,  B24B37/20

Abstract: 本申请公开了基板载体和包括基板载体的抛光系统。本文描述了一种基板载体，所述基板载体被配置为附接至用于抛光基板的抛光系统。所述基板载体包括：包括多个负载耦接件的壳体以及耦接到所述壳体的扣环。所述扣环可包括：具有中心轴的环形主体；面向环形主体的中心轴的内边缘，所述内边缘具有被配置为环绕基板的直径；以及与内边缘相对的外边缘，其中所述多个负载耦接件在从中心轴测量的不同径向距离处接触所述扣环，并且其中所述多个负载耦接件被配置为向所述扣环施加径向差分力。