公开(公告)号：CN108292613A

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201680064804.5

申请日：2016-10-28

Applicant: 应用材料公司

Inventor： D·J·本韦格努 ,  R·D·托勒斯 ,  B·A·斯韦德克 ,  A·拉维德

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/304 ,  H01L21/306

CPC classification number: G06T7/0006 ,  B24B37/013 ,  G06F3/04842 ,  G06F3/04847 ,  G06F3/0486 ,  G06T5/002 ,  G06T5/50 ,  G06T7/0004 ,  G06T2207/10024 ,  G06T2207/20024 ,  G06T2207/20216 ,  G06T2207/30148 ,  H04N9/04

Abstract: 一种抛光系统，包括：抛光站，包括用以支撑抛光垫的压板；支撑件，用以保持基板；直列计量站，用以在抛光站中抛光基板的表面之前或之后测量基板；及控制器。直列计量站包括彩色线扫描相机；白光源；框架，支撑光源和相机；及马达，用以沿垂直于第一轴线的第二轴线导致在相机和支撑件之间的相对运动，以导致光源和相机横跨基板扫描。控制器经配置以从相机接收颜色数据，从颜色数据产生二维彩色图像，并且基于该彩色图像控制在抛光站处的抛光。