公开(公告)号：CN115274636A

公开(公告)日：2022-11-01

申请号：CN202210839127.7

申请日：2017-06-15

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 朱明伟 ,  斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 ,  付博义 ,  胡·T·额 ,  奈格·B·帕蒂班德拉

IPC: H01L25/075 ,  H01L21/677

Abstract: 一种用于在基板上定位微装置的设备包括：一个或更多个支撑件，所述一个或更多个支撑件用于保持供体基板和目标基板；粘合剂分配器，所述粘合剂分配器用于输送粘合剂于供体基板上的微装置上；传送装置，所述传送装置包括传送表面以从供体基板传送微装置至目标基板；和控制器。控制器被配置为操作粘合剂分配器，以基于目标基板上的选择的微装置的所需间隔，选择性地分配粘合剂至供体基板上的所选择的微装置上。控制器被配置为操作传送装置，使得传送表面在供体基板上接合粘合剂，造成所选择的微装置粘附至传送表面，且接着传送表面从供体基板传送所选择的微装置至目标基板。

公开(公告)号：CN114630853A

公开(公告)日：2022-06-14

申请号：CN202080074378.X

申请日：2020-09-10

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿图尔·巴斯卡尔·乔达里 ,  斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 ,  斯罗博纳·森

IPC: C08G18/76 ,  C08G18/75 ,  C08G18/73 ,  C08G18/67 ,  C08G18/48 ,  C08G18/44 ,  C08G18/42 ,  C08G18/38 ,  C08F290/06 ,  C08F220/18 ,  B24B37/24 ,  B33Y70/00 ,  B33Y70/10

Abstract: 一种用于抛光垫的抛光层的增材制造的系统、配方和方法。所述配方包括基于双官能多元醇或双官能多硫醇的聚氨酯丙烯酸酯低聚物。所述技术包括选择所述双官能多元醇或所述双官能多硫醇以影响所述抛光层的性质。所述配方还包括单体和光敏引发剂。所述配方的黏度适用于所述抛光层的3D打印。

公开(公告)号：CN113853393A

公开(公告)日：2021-12-28

申请号：CN202080037795.7

申请日：2020-05-20

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 ,  骆英东 ,  张代化 ,  胡·T·额 ,  朱明伟 ,  奈格·B·帕蒂班德拉

IPC: C08F20/10 ,  C08F2/44 ,  C08K3/22 ,  H01L33/50

Abstract: 光可固化组合物包括纳米材料、一种或多种(甲基)丙烯酸酯单体和光引发剂，该纳米材料被选择为响应于在紫外或可见光范围内的第二波长带中的辐射的吸收而发射在可见光范围内的第一波长带中的辐射，该光引发剂响应于第二波长带中的辐射的吸收而引发一种或多种(甲基)丙烯酸酯单体的聚合。第二波长带不同于第一波长带。发光装置包括多个发光二极管和与表面接触的固化的光可固化组合物，通过该表面从每个发光二极管发射在紫外或可见光范围内的第一波长带中的辐射。

公开(公告)号：CN112654655A

公开(公告)日：2021-04-13

申请号：CN201980058001.2

申请日：2019-08-01

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 ,  安基特·沃拉 ,  付博义 ,  文卡特·哈里哈兰 ,  马尤·山村 ,  马里奥·科内乔 ,  伊戈尔·艾布拉姆森 ,  杨莫 ,  丹尼尔·雷德菲尔德 ,  拉杰夫·巴贾 ,  奈格·B·帕蒂班德拉

IPC: C08F265/06 ,  B24B37/24 ,  B24D3/32 ,  C08F220/34 ,  C08F220/36 ,  C08F220/10 ,  C08F2/48 ,  C08J9/14

Abstract: 提供了制造在抛光工艺中使用的抛光制品的方法及配方。在一个实现方式中，提供一种UV可固化树脂前驱物组合物。UV可固化树脂前驱物包含前驱物配方。前驱物配方包含第一树脂前驱物成分，该第一树脂前驱物成分包含半结晶辐射可固化寡聚材料，其中半结晶辐射可固化寡聚材料选自半结晶脂肪族聚酯氨基甲酸酯丙烯酸酯、半结晶脂肪族聚碳酸酯氨基甲酸酯丙烯酸酯、半结晶脂肪族聚醚氨基甲酸酯丙烯酸酯、或上述的组合。前驱物配方进一步包含第二树脂前驱物成分，该第二树脂前驱物成分包含单官能或多官能丙烯酸酯单体。树脂前驱物配方进一步包含光引发剂，其中前驱物配方具有一黏度，该黏度赋能分配前驱物配方以通过增材制造工艺形成抛光制品的一部分。

公开(公告)号：CN115996958B

公开(公告)日：2025-05-16

申请号：CN202180052993.5

申请日：2021-08-26

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 骆英东 ,  徐立松 ,  斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 ,  胡·T·额 ,  郭炳成 ,  朱明伟 ,  奈格·B·帕蒂班德拉

IPC: C08F265/06 ,  H10H20/851 ,  C08K5/00 ,  C08F220/14 ,  C08F2/50 ,  C08F2/44

Abstract: 一种光可固化组成物包括蓝色光致发光材料、一种或多种单体、和光引发剂，该光引发剂响应于吸收紫外光而引发一种或多种单体的聚合。蓝色光致发光材料被选择为吸收具有在约300nm至约430nm的范围中的最大波长的紫外光并且发射蓝光。蓝色光致发光材料亦具有在约420nm至约480nm的范围中的发射峰。发射峰的半峰全宽(full width at half maximum)小于100nm，并且光致发光量子产率在5％至100％的范围中。

公开(公告)号：CN114502324B

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202080069546.6

申请日：2020-08-18

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 骆英东 ,  斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 ,  阿什温·穆鲁加潘·乔卡林加姆 ,  张代化 ,  乌马·斯利德哈尔 ,  丹尼尔·雷德菲尔德 ,  拉杰夫·巴贾 ,  奈格·B·帕蒂班德拉 ,  胡·T·额 ,  苏达卡尔·马杜苏达南

IPC: B24B37/24 ,  B29C64/112 ,  B33Y10/00 ,  B33Y40/10 ,  B33Y70/10 ,  B33Y80/00 ,  C09D11/101 ,  C09D11/104 ,  C09D11/107 ,  C09D11/322 ,  C09K3/14 ,  B29K33/00 ,  B29K509/02 ,  B29L31/00

Abstract: 用于抛光垫的增材制造的配方、系统与方法。配方包括单体、分散剂与纳米颗粒。制备配方的方法包括以下步骤：将是聚酯衍生物的分散剂添加至单体、将金属‑氧化物纳米颗粒添加至单体并使具有纳米颗粒与分散剂的单体接受声波处理以将纳米颗粒分散在单体中。

公开(公告)号：CN113056496B

公开(公告)日：2023-09-08

申请号：CN201980075757.8

申请日：2019-11-13

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 ,  安基特·沃拉 ,  付博义

IPC: C08F265/06 ,  C08F283/00 ,  C08F222/14 ,  C08F220/18 ,  C08F220/14 ,  C08F220/56 ,  C08F226/10 ,  C08F2/48 ,  B24D3/28 ,  B33Y70/00

Abstract: 一种用于在增材制造工艺中分配的液体前驱物材料包括甲基(丙烯酸酯)功能性寡聚物、活性稀释剂、甲基(丙烯酰胺)单体和含N‑乙烯基的单体。

公开(公告)号：CN115884992A

公开(公告)日：2023-03-31

申请号：CN202180051644.1

申请日：2021-08-25

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 骆英东 ,  张代华 ,  胡•T•额 ,  斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 ,  奈格•B•帕蒂班德拉

IPC: C08F2/44

Abstract: 一种光可固化组成物包括量子点、量子点前驱物材料、螯合剂、一种或多种单体、及光引发剂。量子点经选择为回应于吸收在UV或可见光范围的第二波长频带的辐射而发射在可见光范围的第一波长频带的辐射。第二波长频带不同于第一波长频带。量子点前驱物材料包括对应于在量子点中存在的金属成分的金属原子或金属离子。螯合剂经构造为螯合量子点前驱物材料。光引发剂回应于吸收第二波长频带的辐射而引发一种或多种单体的聚合。

公开(公告)号：CN114846403A

公开(公告)日：2022-08-02

申请号：CN202080088002.4

申请日：2020-12-07

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 阿弥陀·乔希 ,  伊恩·马修·麦克马金 ,  拉米·胡拉尼 ,  骆英东 ,  斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 ,  卢多维克·戈代

IPC: G03F7/004 ,  C08F20/10 ,  C08F2/48 ,  C08F2/44 ,  C08L83/04 ,  C08K3/22 ,  C08K3/04 ,  C08K9/10 ,  G03F9/00

Abstract: 本发明的多个实施方式一般涉及对于纳米压印平板印刷术(NIL)有用的压印组成物与材料和相关工艺。在一个或多个实施方式中，压印组成物含有一种或多种的纳米粒子、一个或多个表面配体、一个或多个溶剂、一个或多个添加剂、和一个或多个丙烯酸酯。

公开(公告)号：CN109314106B

公开(公告)日：2022-08-02

申请号：CN201780037396.9

申请日：2017-06-15

Applicant: 应用材料公司

Inventor： 朱明伟 ,  斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘 ,  付博义 ,  胡·T·额 ,  奈格·B·帕蒂班德拉

IPC: H01L25/075 ,  H01L21/677

Abstract: 一种用于在基板上定位微装置的设备包括：一个或更多个支撑件，所述一个或更多个支撑件用于保持供体基板和目标基板；粘合剂分配器，所述粘合剂分配器用于输送粘合剂于供体基板上的微装置上；传送装置，所述传送装置包括传送表面以从供体基板传送微装置至目标基板；和控制器。控制器被配置为操作粘合剂分配器，以基于目标基板上的选择的微装置的所需间隔，选择性地分配粘合剂至供体基板上的所选择的微装置上。控制器被配置为操作传送装置，使得传送表面在供体基板上接合粘合剂，造成所选择的微装置粘附至传送表面，且接着传送表面从供体基板传送所选择的微装置至目标基板。