飞线的键合方法
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1988027A

    公开(公告)日:2007-06-27

    申请号:CN200610071802.7

    申请日:2006-03-16

    CPC classification number: H01L21/4853

    Abstract: 一种飞线的键合方法,能够有效地将飞线超声键合至基板焊盘,并且提高两者间的键合可靠性。该方法包括如下步骤:机械处理基板,以在焊盘的键合面上形成用作变形余量的凸点,其中在每一个键合面上将键合飞线;将飞线定位,以使其与焊盘相对应;以及对键合工具施加超声振动,以使凸点变形并将其压平,从而使飞线分别键合至焊盘。

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