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公开(公告)号:CN101135852B
公开(公告)日:2012-02-08
申请号:CN200710148578.1
申请日:2007-08-29
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 高岛正伸
Abstract: 本发明的目的在于提供一种可以形成高灵敏度及高析像度、粘附性及灵敏度的经时稳定性出色、显影残渣少、高精细的图案的图案形成材料及使用该图案形成材料的图案形成方法。本发明是一种在支撑体上具有由至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂的感光性组合物构成的感光层而成、所述粘合剂含有I/O值为O.300~O.650的聚合物、所述光聚合引发剂含有具有亲水性基的六芳基联二咪唑化合物的图案形成材料和使用所述图案形成材料的图案形成方法。
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公开(公告)号:CN101401037A
公开(公告)日:2009-04-01
申请号:CN200680053793.7
申请日:2006-11-24
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供可以高效形成高精度的永久图案(保护膜、层间绝缘膜及抗焊剂图案等)的感光性组合物、感光性薄膜、感光性层叠体、使用上述感光性层叠体的永久图案形成方法、以及通过上述永久图案形成方法形成图案的印刷电路板。为此,感光性组合物、感光性薄膜和感光性层叠体中含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂和热交联剂,上述粘合剂含有侧链具有酸性基团和乙烯性不饱和键的高分子化合物,而且聚合性化合物和热交联剂的至少任何一种含有两种以上的化合物。另外,提供使用该感光性层叠体的永久图案形成方法以及通过上述永久图案形成方法形成永久图案的印刷电路板。
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公开(公告)号:CN101107565A
公开(公告)日:2008-01-16
申请号:CN200680002513.X
申请日:2006-01-11
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 高岛正伸
CPC classification number: G03F7/11 , G03F7/029 , G03F7/033 , H05K3/0023 , H05K3/0082 , H05K3/28
Abstract: 本发明的目的在于提供一种图案形成材料,其是一种以形成阻焊剂之类的永久图案为目的、通过将高透明的物质用作支撑体并规定总厚度而可以形成高灵敏度而且更高精细的图案的图案形成材料。所以,本发明的图案形成材料至少具有支撑体和在该支撑体上的感光层及保护薄膜,该感光层至少含有粘合剂、聚合性化合物及光聚合引发剂及热交联剂,同时支撑体、感光层以及保护薄膜的总厚度为30~200μm,而且对感光层进行曝光、显影时,使感光层的曝光部分的厚度在曝光及显影后不发生变化的、曝光中使用的光的最小能量为0.1~200mJ/cm2。
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公开(公告)号:CN1950750A
公开(公告)日:2007-04-18
申请号:CN200580014721.7
申请日:2005-05-09
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/004
CPC classification number: G03F7/2008 , G03F7/0007 , G03F7/001 , G03F7/029 , G03F7/0295 , G03F7/031 , G03F7/033 , G03F7/09
Abstract: 本发明的目的是提供能有效地抑制光敏层的感光度下降和能形成高度精细精确图案的图案形成材料、配备该图案形成材料的图案形成设备和使用所述图案形成材料的图案形成方法。为了达到该目的,提供一种图案形成材料,包含载体和载体上的光敏层,其中光敏层包含阻聚剂、粘合剂、可聚合化合物和光聚合引发剂,光敏层利用激光束曝光,利用显影剂显影,形成图案,显影后产生厚度与曝光前的光敏层厚度基本相同的光敏层所需的最小激光束能量为0.1~10mJ/cm2。
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公开(公告)号:CN1573545A
公开(公告)日:2005-02-02
申请号:CN200410046271.7
申请日:2004-06-08
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 课题:提供能够很容易地形成在图像内具有不同厚度的所需花样的感光性转印片和感光性层合体。解决手段:在载体上依次层合由含有粘结剂、聚合性化合物和光聚合引发剂的感光性树脂组合物组成的第一感光层和由含有粘结剂、聚合性化合物和光聚合引发剂的感光性树脂组合物组成的,而且其感光度相对高于第一感光层的第二感光层,如此形成感光性转印片,以及包括上述第一感光层和第二感光层的感光性层合体。
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公开(公告)号:CN101688812B
公开(公告)日:2011-11-09
申请号:CN200880023779.1
申请日:2008-06-27
Applicant: 富士胶片株式会社
Inventor: 高岛正伸
IPC: G01L5/00
CPC classification number: G01L1/247 , H05K1/0269 , H05K3/1233 , Y10T428/254
Abstract: 本发明提供一种压力测定用材料,其具有塑料制的基材、含有供电子性无色染料前体的成色剂层和含有受电子性化合物的显色剂层,并利用供电子性无色染料前体与受电子性化合物的成色反应来进行成色,上述供电子性无色染料前体被内包在含尿烷键的微胶囊中,上述受电子性化合物中的至少1种为具有取代基的水杨酸金属盐,上述微胶囊满足δ/D=1.0×10-3~2.0×10-2[δ:微胶囊的数均壁厚(μm)、D:微胶囊的体积标准的中位直径(μm)]的关系。
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公开(公告)号:CN101401038A
公开(公告)日:2009-04-01
申请号:CN200680053815.X
申请日:2006-11-22
Applicant: 富士胶片株式会社
CPC classification number: G03F7/033 , G03F7/0388
Abstract: 本发明的目的在于提供能够高效地形成没有边缘粗糙(端面熔融)、且胶粘性和经时的性能稳定性优异、易于膜化、高精细的永久图案(保护膜、层间绝缘膜和阻焊剂图案等)的感光性组合物、感光性膜、感光性层叠体、使用上述感光性层叠体的永久图案形成方法以及通过上述永久图案形成方法形成永久图案的印制电路板。因此,本发明提供一种感光性组合物,其至少含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、弹性体和热交联剂,其特征在于,所述粘合剂含有在侧链具有酸性基团和乙烯性不饱和键的高分子化合物。
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公开(公告)号:CN101228480A
公开(公告)日:2008-07-23
申请号:CN200680026721.3
申请日:2006-07-06
Applicant: 富士胶片株式会社
IPC: G03F7/20
CPC classification number: G03F7/70358 , G03F7/70275 , G03F7/70291
Abstract: 本发明提供一种图案形成方法,其是进行使光调制机构倾斜来描绘的曝光的图案形成方法,不降低曝光速度,在感光层的被曝光面上形成锯齿的产生被抑制的希望的描绘图案,由此高精细且效率良好地形成配线图案等。因此,以使由再现利用描绘部形成的描绘像素而产生的锯齿的锯齿间距及锯齿振幅的至少任一个成为规定值的方式,设定描绘像素的排列间距(a)、倾斜角度(b)、描绘间距(c)、及相位差(d)的至少任一个,基于所述图案信息以规定的时刻调制控制所述描绘部来进行。
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公开(公告)号:CN101149562A
公开(公告)日:2008-03-26
申请号:CN200710161853.3
申请日:2007-09-24
Applicant: 富士胶片株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种可以有效地形成灵敏度、显影性及粘附性良好且为高精细的永久图案的感光性组合物、感光性薄膜、使用所述感光性组合物的永久图案形成方法及利用所述永久图案形成方法形成图案的印刷电路板。本发明是一种含有粘合剂、聚合性化合物、光聚合引发剂、热交联剂及无机颜料,所述光聚合引发剂含有肟衍生物,利用硅烷偶合剂表面处理所述无机颜料的感光性组合物。所述硅烷偶合剂优选具有从烷氧基甲硅烷基、氯甲硅烷基及乙酰氧基甲硅烷基中选择的至少一种官能团和从乙烯基、氨基、巯基、环氧基及(甲基)丙烯酰基中选择的至少一种官能团的方式等。
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