一种铌靶材的制备方法
    11.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103757596B

    公开(公告)日:2016-09-14

    申请号:CN201410031940.7

    申请日:2014-01-23

    Abstract: 本发明提供了一种铌靶材的制备方法,包括以下步骤:a)将铌锭进行退火处理,将退火后的铌锭进行钻孔;b)将步骤a)得到的铌锭进行预热,在预热后的铌锭表面涂覆玻璃粉;c)将步骤b)得到的铌锭进行加热,将加热后的铌锭表面再次涂覆玻璃粉;d)将步骤c)得到的铌锭进行扩孔;将热扩孔后的铌管进行加热,将加热后的铌管进行挤压。本发明在铌靶材的制备过程中,通过采用钻孔与扩孔相结合的方式对铌靶材进行制孔,避免了长时间钻孔原料浪费的问题,同时缩短了铌靶材的制孔周期。

    一种铌合金靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN103866245B

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201210551195.X

    申请日:2012-12-18

    CPC classification number: C23C14/3414

    Abstract: 本发明提供了一种铌合金靶材的制备方法,首先将铌合金管坯进行热挤压,然后将热挤压后的铌合金管坯进行内孔的加工,从而得到铌合金靶材。本发明在制备铌合金靶材的过程中,首先在铌合金管坯表面涂抹了玻璃粉,由于铌合金管坯表面喷涂有玻璃粉,使其在热挤压过程中具有较好的润滑效果,从而使铌合金管坯的表面质量较好;随后的热挤压加工与热处理有助于铌合金管坯晶粒的细化与均匀化;最后将热挤压后的铌合金管坯进行机加工,通过选用特殊刀具对铌合金管坯的内孔进行镗铣,使断屑能够连续自内孔排出,避免了断屑积聚于内孔而影响内孔表面加工的问题,从而得到了内部晶粒均匀细小和表面粗糙度值较低的铌合金靶材。本发明还提供了一种铌合金靶材。

    一种制备铌靶材的方法
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103757592A

    公开(公告)日:2014-04-30

    申请号:CN201410054777.6

    申请日:2014-02-19

    Abstract: 本发明提供了一种制备铌靶材的方法,包括以下步骤:a)将铌锭进行热处理,将热处理后的铌锭钻孔;b)将步骤a)得到的铌锭的内表面与外表面包覆第一金属材料,将得到的铌锭抽真空;c)将步骤b)得到的铌锭的内表面和外表面包覆第二金属材料;d)将步骤c)得到的铌锭进行热挤压。本申请在制备铌靶材的过程中,通过在铌锭的内表面与外表面依次包覆第一金属材料于第二金属材料,有效地避免了铌靶材在制备过程中的吸氢吸氧,并且易于铌靶材的加工。

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