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公开(公告)号：CN101058481A
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN200710001928.1
申请日：2003-07-07
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明的装置可将含有有机EL材料的涂敷液，从喷嘴稳定地吐出至基板上。构成喷嘴(4a)的喷嘴本体(41)的内部空间(SP)具有作为使有机EL材料(10a)流通的流路的功能。在该流路上与作在喷嘴前端的小孔(45a)离开的内部位置上，安装着过滤器(43)。过滤器(43)的过滤精度为10微米，可以收集异物和凝胶化的溶解物等，阻止它们到达小孔(45a)。因此可以可靠地防止异物等堵塞小孔(45a)。
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公开(公告)号：CN101028617A
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN200710084320.X
申请日：2007-02-27
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 一种涂布装置以及涂布方法，该涂布装置具有载物台、喷嘴、以及局部环境生成机构。载物台将基板装载于其上表面。喷嘴在载物台上的空间中从其前端部喷出涂布液。局部环境生成机构对包含喷嘴喷出涂布液的空间和涂布了涂布液的基板的涂布部位的涂布空间局部地供给规定气体，在规定的环境中进行涂布液的涂布。
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公开(公告)号：CN100336241C
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN03146547.1
申请日：2003-07-07
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明的装置可将含有有机EL材料的涂敷液，从喷嘴稳定地吐出至基板上。构成喷嘴(4a)的喷嘴本体(41)的内部空间(SP)具有作为使有机EL材料(10a)流通的流路的功能。在该流路上与作在喷嘴前端的小孔(45a)离开的内部位置上，安装着过滤器(43)。过滤器(43)的过滤精度为10微米，可以收集异物和凝胶化的溶解物等，阻止它们到达小孔(45a)。因此可以可靠地防止异物等堵塞小孔(45a)。
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公开(公告)号：CN1485145A
公开(公告)日：2004-03-31
申请号：CN03153921.1
申请日：2003-08-20
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够以良好的精度将液体涂敷于涂敷区域的涂敷装置和涂敷方法。在使掩模(4)位于试涂位置的状态下，一边使喷嘴沿X方向作往复移动一边将有机EL材料朝向掩模(4)喷出，在掩模(4)的内周面上形成涂敷轨迹(CL)。接着，利用CCD照相机对该涂敷轨迹(CL)的光学像(Ic1)进行拍摄，将表示该涂敷轨迹(CL)的图像数据暂时地存储于控制部的存储器中。另外，在使掩模(4)位于涂敷位置的状态下，利用CCD照相机对基板(1)的槽(11)的光学像(I11)进行拍摄，将表示该槽(11)的图像数据暂时地存储控制部的存储器中。然后，根据这些图像数据，以涂敷轨迹(CL)与槽(11)相一致的方式，使基板(1)定位。然后，进行涂敷处理。
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公开(公告)号：CN101310870B
公开(公告)日：2012-11-21
申请号：CN200810004929.6
申请日：2008-01-29
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明涉及一种涂敷装置，喷嘴从其前端部以液柱状态喷出涂敷液；载物台将基板装载在其上表面上；喷嘴移动机构在载物台上的空间中，在横穿该载物台面的方向上使喷嘴进行往复移动；液体接受部，其包括有倾斜面，在喷嘴移动机构使喷嘴沿着横穿的方向移动并由该喷嘴向着从载物台上偏离的位置喷出涂敷液时，接受从该喷嘴向载物台外喷出的涂敷液。倾斜面在配置于从载物台上偏离的位置处的喷嘴的前端部的垂直下方的位置，向着横穿的方向延伸设置，并相对于与该横穿的方向相垂直的水平方向而倾斜。液体接受部使配置于从载物台上偏离的位置处的喷嘴所喷出的涂敷液以液柱状态涂敷附着于倾斜面上进行回收。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101058481B
公开(公告)日：2011-02-09
申请号：CN200710001928.1
申请日：2003-07-07
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明的装置可将含有有机EL材料的涂敷液，从喷嘴稳定地吐出至基板上。构成喷嘴(4a)的喷嘴本体(41)的内部空间(SP)具有作为使有机EL材料(10a)流通的流路的功能。在该流路上与作在喷嘴前端的小孔(45a)离开的内部位置上，安装着过滤器(43)。过滤器(43)的过滤精度为10微米，可以收集异物和凝胶化的溶解物等，阻止它们到达小孔(45a)。因此可以可靠地防止异物等堵塞小孔(45a)。
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公开(公告)号：CN101085438B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200710102166.4
申请日：2007-04-29
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置以及涂布方法，喷嘴从其前端部喷出所述涂布液；载物台，在其上表面上装载基板；喷嘴移动机构，在载物台上的空间，在横贯载物台面的方向使喷嘴往复移动；箱体，其至少包围载物台而设置；第一供给口设置于箱体的一侧，向所述箱体的内部空间供给给定的气体；第一排气口设置于箱体的另一侧，排出该箱体的内部空间内的气体；循环机构至少使从第一排气口排出的气体循环，而向箱体内部供给；第二供给口设置于箱体的一侧，向该箱体空间内供给从循环机构供给的气体。
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公开(公告)号：CN101310870A
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：CN200810004929.6
申请日：2008-01-29
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明涉及一种涂敷装置，喷嘴从其前端部以液柱状态喷出涂敷液；载物台将基板装载在其上表面上；喷嘴移动机构在载物台上的空间中，在横穿该载物台面的方向上使喷嘴进行往复移动；液体接受部，其包括有倾斜面，在喷嘴移动机构使喷嘴沿着横穿的方向移动并由该喷嘴向着从载物台上偏离的位置喷出涂敷液时，接受从该喷嘴向载物台外喷出的涂敷液。倾斜面在配置于从载物台上偏离的位置处的喷嘴的前端部的垂直下方的位置，向着横穿的方向延伸设置，并相对于与该横穿的方向相垂直的水平方向而倾斜。液体接受部使配置于从载物台上偏离的位置处的喷嘴所喷出的涂敷液以液柱状态涂敷附着于倾斜面上进行回收。
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公开(公告)号：CN1939602A
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200610138986.4
申请日：2006-09-22
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 一种涂布系统(1)，具有处理单元组(2)、分度器(3)和多级搬送机械手(4)，处理单元组(2)包括有机EL胶带单元(26)、有机EL涂布单元(24)、和有机EL烘培单元(25)。在涂布系统(1)中，在处理单元组(2)，通过有机EL胶带单元(26)在基板的禁止涂布区域粘贴第二遮蔽胶带，通过有机EL涂布单元(24)在包括禁止涂布区域的基板上的区域涂布有机EL液。并且，通过由流动性材料除去单元即有机EL胶带单元(26)剥离第二遮蔽胶带，从而能容易地得到仅在涂布区域涂布了有机EL液的基板。然后，通过由有机EL烘培单元(25)进行对基板的加热处理，从而有机EL液固定在基板上，而形成了有机EL层。
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公开(公告)号：CN1796001A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：CN200510120262.2
申请日：2005-11-09
Applicant: 大日本网目版制造株式会社
Abstract: 本发明提供一种涂布装置，其具有喷嘴(521～523)、载物台(21)、喷嘴移动机构部(51)、及接液部(53)。喷嘴(521～523)将液柱状态的涂布液排出到基板上。载物台(21)将基板载置在其上面。喷嘴移动机构部(51)在载物台(21)上的空间，在横穿载物台面的方向使喷嘴(521～523)往复移动。接液部(53)在上面形成与上述横穿方向平行的狭缝状的开口，在喷嘴移动机构部(51)在从载物台(21)上偏离的位置使喷嘴(521～523)移动时，通过此开口回收排出的液柱状态的涂布液。
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