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公开(公告)号:CN105264651B
公开(公告)日:2017-10-03
申请号:CN201480030391.X
申请日:2014-05-16
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H01L21/338 , H01L21/336 , H01L29/778 , H01L29/78 , H01L29/812
CPC classification number: H01L29/7787 , H01L29/1029 , H01L29/1079 , H01L29/2003 , H01L29/205 , H01L29/207 , H01L29/41766 , H01L29/518 , H01L29/7786
Abstract: 本发明提供一种场效应晶体管,缓冲层(2)的高电阻层(3)侧的碳浓度为0.8×1019/cm3以上且为1.0×1021/cm3以下,高电阻层(3)的缓冲层(2)侧的碳浓度为3.7×1018/cm3以上且为1.0×1021/cm3以下,高电阻层(3)的沟道层(4)侧的碳浓度为1.4×1019/cm3以上且为1.0×1021/cm3以下。
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公开(公告)号:CN107004605A
公开(公告)日:2017-08-01
申请号:CN201580068298.2
申请日:2015-08-24
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H01L21/338 , H01L21/336 , H01L21/337 , H01L27/095 , H01L29/06 , H01L29/417 , H01L29/778 , H01L29/78 , H01L29/808 , H01L29/812
Abstract: 一种场效应晶体管,具备:氮化物半导体层,含有异质结;源极电极(5)及漏极电极(6),于所述氮化物半导体层上互相隔开间隔而配置;第一栅极电极(7),位于所述源极电极(5)与所述漏极电极(6)之间,并且以常导通运作;第二栅极电极(9),位于所述第一栅极电极(7)与所述源极电极(5)之间,并且以常关断运作,所述第一栅极电极(7)以于俯视时包围所述漏极电极(6)的方式配置,所述第二栅极电极(9)以于俯视时包围所述源极电极(5)的方式配置。
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公开(公告)号:CN107112240A
公开(公告)日:2017-08-29
申请号:CN201580068067.1
申请日:2015-08-21
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H01L21/338 , H01L21/336 , H01L21/337 , H01L29/06 , H01L29/41 , H01L29/778 , H01L29/78 , H01L29/808 , H01L29/812
Abstract: 一种场效应晶体管,具备:氮化物半导体层,含有异质结;源极电极(5)及漏极电极(6);第一栅极电极(7),于俯视时以包围所述漏极电极(6)的方式配置而常导通运作;第二栅极电极(9),于俯视时以包围所述第一栅极电极(7)的方式配置而常关断运作,所述第一栅极电极(7)及所述第二栅极电极(9)包含于俯视时,所述第一栅极电极(7)的外缘及所述第二栅极电极(9)的外缘皆形成大致直线的直线部与形成曲线或弯曲的角部的端部,所述第一栅极电极(7)、所述第二栅极电极(9)以及所述源极电极(5)中的任一者的间隔、长度或曲率半径是以缓和在所述端部的电场的集中的方式设定。
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公开(公告)号:CN103229284A
公开(公告)日:2013-07-31
申请号:CN201180057500.3
申请日:2011-09-21
Applicant: 夏普株式会社
IPC: H01L21/338 , H01L21/28 , H01L29/41 , H01L29/778 , H01L29/812
CPC classification number: H01L29/7787 , H01L29/2003 , H01L29/41758 , H01L2224/4847 , H01L2224/4903
Abstract: 在层间绝缘膜上的与第一电极(1)中包含第一直线形基部(1a)及第一梳形电极部(1b,1c)的第一直线形基部(1a)侧的区域对应的区域形成第一电极板(11),该第一电极板(11)通过通孔与第一电极(1)连接。在层间绝缘膜上的与第二电极(2)中包含第二梳形电极部(2b)的第二直线形基部(2a)侧的区域对应的区域形成第二电极板(12),该第二电极板(12)通过通孔与第二电极(2)连接。在层间绝缘膜上的与第三电极(3)中包含第三梳形电极部(3b)的第三直线形基部(3a)侧的区域对应的区域形成第三电极板(13),该第三电极板(13)通过通孔与第三电极(3)连接。由此,提供一种减小导通电阻以应对大电流且实现小型化的氮化物半导体装置。
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