单片硅基微型电容式麦克风及其制作方法

    公开(公告)号:CN1694577B

    公开(公告)日:2011-04-06

    申请号:CN200510026626.0

    申请日:2005-06-09

    Abstract: 本发明属电声技术领域,具体为一种结构新型的单片硅基微型电容式麦克风。其中,振膜采用弹性系数高的单晶硅膜制作,背极板采用聚酰亚胺厚膜制成,振膜电极和背电极均采用浓硼埋层电极引出,仅在热压脚上制作厚度大于1μm的金属层。在背极板上有微型声学孔。此外,在形成振膜的单晶硅衬底正面集成一个JFET源极跟随器,以达到阻抗变换的目的。单晶硅膜的释放采用HF汽相腐蚀工艺,在振膜与背极板之间不会产生粘连现象,使芯片成品率大大提高。本发明提出的单片硅基微型电容式麦克风,制作工艺简单,成品率高,生产成本低,适宜于大规模生产。

    背极式硅基微型驻极体电容话筒

    公开(公告)号:CN1802037A

    公开(公告)日:2006-07-12

    申请号:CN200510030144.2

    申请日:2005-09-29

    Abstract: 本发明属传感器技术领域,具体为一种两片结构的背极式硅基微型驻极体电容话筒。其中,驻极体层位于带有背电极的固定背极板上,以单晶硅或多晶硅为振膜,振膜片上的振膜和硅框架以同种材料组成,以克服因应力不匹配导致的振膜高破损率;以二氯二甲基硅烷作为对氮氧化硅储电层的化学表面修正试剂,形成具有高抗湿能力的完善驻极体表面疏水层,通过调控栅控恒压或恒流电晕充电参数并组合热处理,以改善因包含大量声学孔的驻极体层所面临的电荷储存能力下降的问题。本发明大大提高了产品成品率。

    利用有机胶粘剂连接两片式硅微型话筒的方法

    公开(公告)号:CN1596036A

    公开(公告)日:2005-03-16

    申请号:CN200410025634.9

    申请日:2004-06-30

    Abstract: 本发明为一种利用有机胶粘剂连接两片式硅微型话筒的方法,具体是选择低聚合度、低交联度和具有合适熔融温区的固态有机胶粘剂,采用真空热蒸发技术在话筒的背极片,振膜片的设计接触区域沉积胶粘剂,再通过两片套准工艺,在受控温度下热压胶粘实现两片连接。本发明方法可使粘结工艺与驻极体工艺兼容,并可避免胶粘剂在振膜片的振膜区或者背极片的气孔内沉积,因而不影响器件的灵敏度及频响特性。此外,还可实现含有大量话筒结构单元的硅片的整片胶结,具有产业化前景。

    DSC2作为肥厚性心肌病生物标志物的应用

    公开(公告)号:CN116539898A

    公开(公告)日:2023-08-04

    申请号:CN202310549259.0

    申请日:2023-05-16

    Abstract: 本发明公开了DSC2作为肥厚性心肌病生物标志物的应用,属于生物医学领域。特别地,DSC2作为肥厚性心肌病生物标志物在制备诊断肥厚性心肌病的产品的应用,产品包括试剂盒、芯片或试纸条,通过检测受试者的血清样品中DSC2表达含量进行肥厚性心肌病的早期诊断或确定肥厚性心肌病的严重程度。本发明依据高血压或主动脉瓣狭窄病人血清中的DSC2表达变化情况评估患者心肌肥厚程度及预后,DSC2作为肥厚性心肌病生物标志物特异性和灵敏度高,检测迅速,只需抽取病人的微量外周静脉血即可检测,对实验条件和检测方式要求也不高,具有重要的临床价值。

    1-苯胺-2-吡咯烷酮类化合物及其制备方法和用途

    公开(公告)号:CN108264473A

    公开(公告)日:2018-07-10

    申请号:CN201611271185.5

    申请日:2016-12-30

    Applicant: 复旦大学

    Abstract: 本发明属于医药、生物技术领域,具体涉一类天然1-苯胺-2-吡咯烷酮类化合物或其药学上可接受的盐及其制备方法和用途,其结构如下式,本发明从一株青霉属(Penicillium decumbens)内生真菌马铃薯葡萄糖水(PD水)发酵产物中分离得到的1-苯胺-2-吡咯烷酮类化合物,体外抗肿瘤活性筛选实验表明,该类化合物具有明显的抑制肿瘤细胞增殖的作用,具有明显的抗肿瘤活性,可进一步制备抗肿瘤药物或先导化合物,用于制备治疗肝癌、肺癌和宫颈癌。

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