公开(公告)号：CN1687816A

公开(公告)日：2005-10-26

申请号：CN200510076827.1

申请日：2005-06-17

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 谭久彬 ,  刘俭 ,  杨文国 ,  金国良 ,  邱丽蓉 ,  邹丽敏 ,  赵晨光

IPC: G02B27/42 ,  G01B11/00

Abstract: 本发明公开了一种超精密回转轴与激光直写机直写光轴空间对准方法，该方法利用极坐标直写机系统的差动像散离焦检测装置、调焦伺服系统、精密定位机构以及位相光栅，实现回转轴与直写光轴的对准，所述方法包括以下步骤：把测量范围划分成精确测量区和定位测量区，并使定位测量区的分辨率极限值小于精确测量区的范围；借助差动像散离焦检测装置的检焦功能，使光斑处于准焦状态；产生光斑离焦产生轴对准偏离量测量信号；根据对准偏离量测量信号，使直写光轴进入所述定位测量区；测量对准偏离量，借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能使光轴移动到所述精确测量区；再次测量对准偏离量，并借助直写机系统精密定位机构的精密定位功能实现最终对准。

公开(公告)号：CN1651786A

公开(公告)日：2005-08-10

申请号：CN200510009746.X

申请日：2005-02-17

Applicant: 哈尔滨工业大学 ,  姚绍明

Inventor： 谭久彬 ,  姚绍明 ,  马洪文 ,  邱丽蓉 ,  邹丽敏

IPC: F16C32/06

Abstract: 本发明“复合节流静压气体圆锥轴承”涉及一种高刚度、大载荷超精密静压气体圆锥轴承，在轴承工作面上，沿静压气浮供气点分布圆法线方向加工有表面截流沟槽，以静压气浮供气点为中心，沿静压气浮供气点分布圆的圆周方向加工有不相通的均压槽，均压槽与邻近表面截流沟槽相通。轴承承载能力比传统静压气浮圆锥轴承提高30％以上，轴承刚度比传统静压气浮圆锥轴承提高15％以上。