-
公开(公告)号:CN114660091B
公开(公告)日:2023-04-25
申请号:CN202210277608.3
申请日:2022-03-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/958 , G01N21/01 , G02B27/10
Abstract: 集束装置终端光学组件成像系统及方法,涉及大口径光学元件在线成像系统设计领域,本发明的目的是为了解决目前对单束终端光学组件的成像检测速度慢的问题。光学组件由8个子束按口字型排列组成,成像物镜采集光学组件的像,将采集到的像输出至分光棱镜,第一组子束的像经过分光棱镜透射到对应的4块探测芯片上,同时第二组子束的像或者第三组子束的像经过分光棱镜反射到另外所述2块探测芯片上,将成像物镜、分光棱镜和图像探测器一同绕光轴顺时针线旋转90°后,第三组子束的像或者第二组子束的像经过分光棱镜反射到所述另外2块探测芯片上,图像探测器完成对8个子束图像的全部采集。它用于对光学组件成像进行采集。
-
公开(公告)号:CN115235603A
公开(公告)日:2022-10-25
申请号:CN202210832505.9
申请日:2022-07-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H9/00
Abstract: 一种校正激光多普勒测振仪中动态非线性误差的方法,属于激光振动测试领域。本发明针对现有对于时变的多径干扰采用分段Heydemann校正方法消除非线性误差,测量结果准确性差的问题。包括:对多径干扰下的原始测量信号和参考信号进行正交解调,获得正交信号表达式;对多径干扰项进行泰勒展开,去除泰勒展开余项得到多径干扰项的简化表达式;再对正交信号表达式进行变形,根据变形后的正交信号表达式得到李萨如曲线表达式;利用最小二乘法进行螺旋校正拟合,获得李萨如曲线表达式中6个设定变量计算结果;再计算得到消除多径干扰后的解调相位计算结果,计算获得测量目标振动引起的距离变化,实现非线性校正。本发明实现了测量结果中的非线性误差校正。
-
公开(公告)号:CN113237888B
公开(公告)日:2022-06-14
申请号:CN202110559458.0
申请日:2021-05-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种大口径光学元件损伤点在线与离线暗场图像匹配方法,属于光学元件损伤检测领域。本发明针对现有光学元件的在线损伤图像与离线损伤图像之间通过损伤点匹配确定伪损伤点,匹配难度大并且效率低的问题。它采用近邻损伤多点主动定位方法找到损伤的位置,相对于传统的三角形匹配方法,不需要将损伤两两之间的距离、角度信息提前计算存储,极大地减少了计算量,加快了匹配速度;同时,利用待匹配损伤近邻已匹配损伤的相对位置关系,更加精准的找到待匹配损伤的位置,减少远距离损伤匹配带来的误差,提高匹配精度。本发明在强干扰损伤的情况下可正确匹配离线损伤所对应的在线损伤。
-
公开(公告)号:CN112051583B
公开(公告)日:2022-06-14
申请号:CN202010875823.4
申请日:2020-08-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种FMCW距离测量系统中拍频信号非线性校正方法,解决了现有借助辅助干涉仪比相的非线性校正受调频非线性的影响导致信噪比低的问题,属于信号处理技术领域。本发明包括:S1、对辅助干涉仪的信号进行希尔伯特变换,获得辅助干涉仪信号的相位信息,利用该相位信息获取用于非线性校正的正交基,该正交基包含调频非线性信息;S2、对测量干涉仪信号进行采样,利用S1中的正交基对测量干涉仪信号进行变换,完成非线性校正。本发明采用辅助干涉仪对光源信号进行采样,利用辅助干涉仪的信号作为谱分析方法中使用的正交基,代替原有的线性相位正交基对测量路信号进行谱分析,可以有效的消除调频非线性以及光源跳模带来的影响。
-
公开(公告)号:CN112964197B
公开(公告)日:2022-04-29
申请号:CN202110307642.6
申请日:2021-03-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明的基于负反馈锁相振动抑制的微小球体表面形貌检测装置,涉及一种光学小球表面检测装置,目的是为了克服现有时域移相点衍射干涉测量方法对于环境振动引入的随机误差较为敏感,存在一定量的残余误差的问题,包括第一激光器、第二激光器、第一λ/2波片、第二λ/2波片、第三λ/2波片、直角反射镜、偏振分光棱镜、第一角锥棱镜、第二角锥棱镜、第三角锥棱镜、锁相移相器、平面反射镜、第一二向色镜、4f系统、第一显微物镜、针孔反射镜、D形反射镜、第一准直透镜、λ/4波片、第二显微物镜、被测微球、第二准直透镜、检偏器、第二二向色镜、第一单色滤光片、面阵相机、第二单色滤光片和随机移相量检测装置。
-
公开(公告)号:CN112902833B
公开(公告)日:2022-02-18
申请号:CN202110240950.1
申请日:2021-03-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/02
Abstract: 抗振式短相干时空混合移相斐索干涉仪,涉及光学检测空间物体表面三维信息的技术领域。本发明解决了时域移相式斐索干涉仪受环境振动等随机误差源影响严重的问题。本发明包括短相干激光器、第一λ/2波片、偏振分光棱镜、第一角锥棱镜、移相器、第二角锥棱镜、延迟平台、显微物镜、微小针孔、分光平片、第一准直镜、标准参考镜、第二准直镜、第一分光棱镜、4f系统、第三角锥棱镜、第四角锥棱镜、第二λ/2波片、分光棱镜组、波片组、检偏器和面阵相机;采用短相干光路结构结合时空混合移相方式,充分发挥时域移相和空域移相的优势,大幅度提高其在振动环境下的检测性能。本发明的主要用于采集被测样品的干涉图样。
-
公开(公告)号:CN106226775A
公开(公告)日:2016-12-14
申请号:CN201610560747.1
申请日:2016-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: G01S17/32 , G01S7/4814 , G01S17/50
Abstract: 一种基于扫频干涉仪的绝对距离动态测量系统及其测量方法,属于绝对距离动态测量领域。为了解决现有的测量系统在振动影响下测量精度低的问题。本发明的测量系统包括两个部分,一部分进行FSI绝对距离测量,另一部分利用单频激光器加上声光调制器构成额外的一个外差干涉仪对目标的位移进行实时监测,消除了测量路光程变化引入的多普勒效应带来的影响。所述测量方法为利用所述测量系统中1号探测器、2号探测器和平衡探测器探测到的信号,获得的绝对距离: 本发明利用2号探测器得到的信号用来校正声光调制器调制频率不稳定引入的误差。
-
公开(公告)号:CN105954735A
公开(公告)日:2016-09-21
申请号:CN201610560748.6
申请日:2016-07-15
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种用于FMCW绝对距离测量技术中改进的高速色散失配校正方法,属于绝对距离测量领域。为了解决现有绝对距离测量高速色散失配校正方法测量效率低的问题。所述方法包括:采用光纤搭建辅助干涉仪,得到存在色散的辅助干涉仪信号,并将该信号作为数据采集卡采样时钟对测量路的信号进行采样,获得距离测量信号Im(m);对距离测量信号Im(m)进行处理后,获得测量信号的距离谱;对测量信号Im(m)进行倍数为d的降采样,得到的测量信号DIm,距离谱为:当P(k)最大时,从Im(m)中获得对应的高速色散失配校正后的距离。
-
公开(公告)号:CN103151704B
公开(公告)日:2014-12-03
申请号:CN201310050543.X
申请日:2013-02-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 结合空间光调制器与声光调制器的Littman外腔激光器及其调谐方法,属于激光调谐技术领域。它解决了现有Littman结构外腔式激光器的调谐连续性差、调谐速度慢、受环境震动影响大的问题。激光器包括半导体激光器、液晶空间光调制器、声光调制器、闪耀光栅以及平面反射镜;方法为使半导体激光器发射的激光束入射至液晶空间光调制器及声光调制器,声光调制器的一级衍射光入射至闪耀光栅,闪耀光栅的衍射光中原路返回的光在激光器的内腔和外腔之间形成谐振;改变声光调制器加载的超声波频率,在液晶空间光调制器的折射率随声光调制器的一级衍射角变化的过程中,实现所述Littman外腔激光器的调谐。本发明适用于激光器的调谐。
-
公开(公告)号:CN103151705A
公开(公告)日:2013-06-12
申请号:CN201310051730.X
申请日:2013-02-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 结合液晶空间光调制器与声光调制器的Littrow外腔式激光器及其调谐方法,属于激光调谐技术领域。它解决了现有Littrow结构外腔式激光器由于采用了对光栅的机械转动,存在调谐连续性差的问题。激光器包括半导体激光器、液晶空间光调制器、声光调制器和闪耀光栅;方法为使半导体激光器发射的激光束经液晶空间光调制器后入射至声光调制器,声光调制器的一级衍射光入射至闪耀光栅,并使一级衍射光原路返回,在激光器的内腔和外腔之间形成谐振,形成谐振的激光束最后从声光调制器的零级出射;改变声光调制器加载的超声波频率,在折射率随一级衍射角变化的过程中,实现所述Littrow外腔式激光器的调谐。本发明适用于激光调谐。
-
-
-
-
-
-
-
-
-