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公开(公告)号：CN106705881A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201611142561.0
申请日：2016-12-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/24
Abstract: 基于共聚焦显微原理的大口径光学元件母线轮廓测量方法，属于光学精密测量技术领域，解决了现有大口径光学元件的共聚焦轮廓测量方法的效率低的问题。本发明所述的方法基于大口径光学元件母线轮廓测量装置实现，其包括建立三维直角坐标系、使激光入射至母线的一端并形成聚焦光斑、使所述聚焦光斑沿着所述母线连续移动至所述母线的另一端、激光器自其初始位置沿Z轴方向以预设的位移朝向待测大口径光学元件做周期性的往返运动、复合轴向包络响应曲线生成模块根据光电探测器发来的电信号生成复合轴向包络响应曲线、动态复合运动模型模块根据该曲线计算得到待测大口径光学元件的母线轮廓的步骤。本发明所述方法用于测量大口径光学元件的母线轮廓。
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公开(公告)号：CN106403843A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201611129169.2
申请日：2016-12-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/24
Abstract: 基于共焦显微技术的大口径高曲率光学元件的轮廓扫描测量装置及方法，涉及光学精密测量技术领域，为了解决现有测量大口径高曲率光学元件的方法检测难度大、测量速度慢、误差大的问题。激光器发出的激光经依次经过准直镜、光阑、二向色镜和物镜，物镜将激光聚焦至待测样品，待测样品表面激发出的荧光依次经物镜、二向色镜、滤光片转换器、汇聚透镜和针孔，最终入射至光电探测器。本发明适用于测量大口径高曲率光学元件及微结构光学元件。
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公开(公告)号：CN118914204A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411018180.6
申请日：2024-07-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开一种基于差分分数阶涡旋光束的暗场共焦显微测量装置与方法，涉及光学精密测量领域，该装置包括：分数阶涡旋光模块，用于生成第一分数阶涡旋光和第二分数阶涡旋光；光学扫描模块，用于将第一分数阶涡旋光和第二分数阶涡旋光分别对样品进行扫描，得到第一信号回光和第二信号回光；暗场探测模块，用于分别对第一信号回光和第二信号回光进行暗场探测，得到第一分数阶散射暗场图像和第二分数阶散射暗场图像；差分暗场散射图像确定模块，用于将第一分数阶散射暗场图像和第二分数阶散射暗场图像进行差分，得到差分暗场散射图像；缺陷确定模块，用于对差分暗场散射图像进行处理，得到样品缺陷。本发明可提升成像信噪比，提高缺陷检测的灵敏度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118914202A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411010409.1
申请日：2024-07-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本申请公开了一种基于涡旋光孔径扫描的暗场共焦显微测量装置及其方法，涉及光学精密测量技术领域，其中装置包括：涡旋光生成模块、涡旋光孔径扫描模块、样品扫描模块和暗场锁放探测模块；一方面利用涡旋光孔径扫描模块实现聚焦至样品的聚焦光斑在样品上小范围内扫描，产生振荡信号凸显出样品纳米级缺陷的散射信号。另一方面，利用暗场锁放探测模块实现高灵敏度振荡信号探测。本发明中，涡旋光孔径小范围扫描与暗场锁放探测功能的相结合，实现小于50纳米级缺陷的高灵敏度检测。
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公开(公告)号：CN109445081A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811494437.X
申请日：2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种高速追踪扫描共焦显微测量装置和数据处理方法，属于光学精密测量技术领域，为了解决共焦显微技术测量大口径光学元件测量效率低的问题。激光器发出平行光经过偏振分光棱镜(PBS)和四分之一波片后，经高速谐振镜反射，依次通过扫描透镜、管镜和物镜后汇聚至待测样品表面，载有待测样品信息的反射光依次经过物镜、管镜、扫描透镜、高速谐振镜、四分之一波片、偏振分光棱镜、收集透镜汇聚至针孔，最终入射至光电探测器。位移执行器带动物镜做轴向扫描，同时运动平台带动样品做横向运动，高速谐振镜使光束横向偏转追踪被测点，然后利用测量得到的数组数据解算轴向包络，同时得到多个测量点位置信息。本发明适用于测量大口径光学元件表面轮廓。
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公开(公告)号：CN109443711A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811494413.4
申请日：2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 一种基于针孔随动高速扫描共焦显微技术的大口径光学元件测量装置和方法，属于光学精密测量技术领域，为了解决共焦显微技术测量大口径光学元件测量效率低的问题。激光器发出的p光(s光)通过耦合光纤输出，依次经过物镜、四分之一波片和物镜，物镜将激光汇聚至待测样品，载有待测样品信息的反射光依次经过物镜、四分之一波片变为s光(p光)、物镜，回到耦合光纤，最终入射至光电探测器，高速微位移执行器带动耦合光纤扫描，从而完成对被测点的测量。本发明适用于测量大口径光学元件表面轮廓。
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公开(公告)号：CN109443241A
公开(公告)日：2019-03-08
申请号：CN201811500278.X
申请日：2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种基于音叉驱动的高速轴向扫描共焦显微测量装置和方法，属于光学精密测量技术领域，为了解决共焦显微技术测量大口径光学元件测量效率低的问题。激光器发出的激光通过固定在音叉上的耦合光纤输出，依次经过高倍物镜和低倍物镜，低倍物镜将激光汇聚至待测样品，载有待测样品信息的反射光依次经过低倍物镜和高倍物镜，回到耦合光纤，最终入射至光电探测器，音叉带动耦合光纤扫描，从而完成对被测点的测量。本发明适用于测量大口径光学元件表面轮廓。
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公开(公告)号：CN106767512A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611251406.2
申请日：2016-12-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 基于实时监测运动误差的光学元件高精度测量装置，属于光学精密测量领域，为解决现有运动误差监测手段不能满足对大口径光学元件轮廓检测精度需求的问题。本发明X向激光干涉仪用于监测Y向导轨运动的实时位移、Y向导轨运动过程中X向的直线度误差和Y向导轨运动过程中X向的角度偏摆；Y向双路激光干涉仪用于监测X向导轨的实时位移、X向导轨运动过程中Y向的直线度误差和X向导轨运动过程中Y向的角度偏摆；Z向共焦测头激光干涉仪用于监测Z向共焦测头运动过程中的实时位移；激光共焦测头Z向的角度偏摆通过双路电容传感器实时测量的X向位移差来获得，电容传感器用于实时测量激光共焦测头的X向直线度误差。本发明用于对光学元件的检测。
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