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公开(公告)号：CN111129140A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201911418784.9
申请日：2019-12-31
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H01L29/778 , H01L21/335
Abstract: 基于多层氮化硅钝化且包含氧化铝栅极电介质的高电子迁移率晶体管及其制备方法，本发明涉及一种高电子迁移率晶体管，它为了解决现有GaN高电子迁移率晶体管由于陷阱效应导致的电流崩塌对器件影响，工作寿命较低的问题。本发明高电子迁移率晶体管由下至上依次为基底，过渡层，缓冲层，半导体i-GaN层，半导体i-Al0.25Ga0.75N层，i-GaN帽层，双SiNx层，Al2O3栅极介电层以及顶层厚Si3N4层。本发明在AlGaN/GaN上产生了高鲁棒性及高稳定性的界面，且AlGaN表面得到有效的保护，该AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管减少了泄漏电流，提高击穿电压，且具有极高的工作寿命。
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公开(公告)号：CN119375256A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411663102.1
申请日：2024-11-20
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N22/00
Abstract: 用于葡萄糖检测的基片集成波导微波传感器，本发明是要解决现有非侵入式葡萄糖传感器的灵敏度较低的问题。本发明用于葡萄糖检测的基片集成波导微波传感器包括输入馈线、集成波导和分裂环谐振器，所述集成波导为扇形微带线，在扇形微带线的中部设置有分裂环谐振器，输入馈线位于集成波导的中轴线上，输入馈线的一端位于集成波导的圆弧外侧，输入馈线的另一端伸入集成波导的内部，沿着集成波导的圆弧周向设置有金属化通孔阵列。本发明将SIW结构与SRR结构相结合用于葡萄糖检测，实现了高效的空间利用和优良的电磁特性，显著提高了传感器的性能和灵敏度，该传感器在葡萄糖浓度为0‑1000mg/dL范围内展现出优良的灵敏度和线性响应。
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公开(公告)号：CN118595654A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410702518.3
申请日：2024-06-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及传感器焊接技术，用于解决传感器板放置不便，易造成电子元件损伤和焊接熔化物量不易控制的问题，具体为一种氢气传感器生产用焊接装置，包括焊接箱；本发明通过夹持框架对传感器板的四个侧面进行夹持操作，通过夹持滑块对传感器板上下方向上进行夹持操作，不会因按压对下表面的电子元件造成损伤的情况，且放置错位的传感器板可在夹持框架和夹持滑块的作用下进行位置的纠正，通过转动框架在驱动组件的作用下围绕滑动轨进行转动，使焊接过程中熔化物可滴落在电子元件四周，且通过驱动组件控制调节滚轮的转动角度，使调节滚轮向外推送的焊接条长度受到控制，不会发生过多焊接条融化滴落在传感器板上，影响电子元件之间的信号传输。
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公开(公告)号：CN109295451B
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN201811189778.6
申请日：2018-10-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C24/04
Abstract: 等离子体辅助气溶胶沉积成膜方法及气溶胶沉积装置，本发明要解决现有技术高音速原始颗粒对基板碰撞而产生锚合层的局限性，增大沉积膜与基板接触表面的粗糙度的问题。成膜方法：原料气体在气溶胶生成室内与原始颗粒充分混合形成气溶胶，气溶胶通过连接管路经过分子筛过滤器输送到电晕放电器中，电晕放电器内气溶胶粒子与等离子体结合而带正电，沉积室中设置有带负电的基板，气溶胶通过喷嘴以亚音速碰撞在基板的表面实现沉积。本发明气溶胶沉积装置中连接管路的一端与气溶胶生成室相连通，连接管路的另一端与喷嘴相连，喷嘴位于沉积室中，在连接管路上依次设置有分子筛过滤器和电晕放电器。本发明有效改善了沉积膜界面和表面的粗糙度。
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公开(公告)号：CN112244848A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011051491.4
申请日：2020-09-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于皮层脑电图的多通道MEAs的制备方法，本发明属于先进的微加工技术领域，它要解决柔性MEAs在高时空分辨率下操作，生产效率较低的问题。制备方法：一、对硅衬底进行等离子体清洗；二、在硅衬底表面沉积铝牺牲层；三、将非光敏聚酰亚胺MEAs基材多次旋涂在铝牺牲层上；四、光刻聚酰亚胺层图案化定型，电感耦合等离子体刻蚀处理；五、通过光刻工艺形成微电极网络和互连板；六、将非光敏聚酰亚胺MEAs基材旋涂在底层聚酰亚胺上，使用光致抗蚀剂掩蔽晶片，以限定互连线和焊盘；七、去除铝牺牲层。本发明中以6英寸高阻硅片为基片，结合柔性聚酰亚胺可以在单片上大批量生产25个MEAs。记录位置以高时空分辨率紧凑排列。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109295451A
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201811189778.6
申请日：2018-10-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C24/04
Abstract: 等离子体辅助气溶胶沉积成膜方法及气溶胶沉积装置，本发明要解决现有技术高音速原始颗粒对基板碰撞而产生锚合层的局限性，增大沉积膜与基板接触表面的粗糙度的问题。成膜方法：原料气体在气溶胶生成室内与原始颗粒充分混合形成气溶胶，气溶胶通过连接管路经过分子筛过滤器输送到电晕放电器中，电晕放电器内气溶胶粒子与等离子体结合而带正电，沉积室中设置有带负电的基板，气溶胶通过喷嘴以亚音速碰撞在基板的表面实现沉积。本发明气溶胶沉积装置中连接管路的一端与气溶胶生成室相连通，连接管路的另一端与喷嘴相连，喷嘴位于沉积室中，在连接管路上依次设置有分子筛过滤器和电晕放电器。本发明有效改善了沉积膜界面和表面的粗糙度。
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公开(公告)号：CN119586979A
公开(公告)日：2025-03-11
申请号：CN202411773754.0
申请日：2024-12-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及微波传感器技术领域，具体为一种可穿戴多模态柔性微波传感器。本发明通过对形变数据分析得到形变状态值，并对应力数据进行分析得到应力状态值，并且进一步分析得到元件连接状态信息，然后根据元件的连接状态进行相应的自适应调整，获取自适应调整后的结果得到自适应调整结果，可以对各内部元件的连接进行监测分析得到对应的连接状态，能够便于用户即时发现异常增加掌控性；还通过并对信号综合参数进行识别得到信号状态，生成对应的信号增益控制指令，根据信号增益控制指令进行信号增益执行，根据增益执行生成对应的信号异常信息，通过对信号增益的结果判断，对连接状态的二次确认，增加监测元件连接异常的准确性。
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公开(公告)号：CN119454017A
公开(公告)日：2025-02-18
申请号：CN202411896114.9
申请日：2024-12-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: A61B5/145 , A61B5/1455 , A61B5/00 , A61B5/0507 , A61B8/06
Abstract: 本发明公开了一种用于无创血糖监测的柔性微波气体传感器，涉及无创血糖监测技术领域。本发明包括体表检测单元、处理单元、气体流动模块和环境温湿度模块，体表检测单元包括血氧模块、微波模块、近红外模块、血液流速模块和体表温湿度模块，血氧模块、微波模块、近红外模块、血液流速模块和体表温湿度模块的输出端均与处理单元的输入端连接，环境温湿度模块的输出端与处理单元的输入端连接，本发明通过结合多种无创血糖检测技术提高佩戴者的血糖检测精度，避免了佩戴者之间身体差异造成的干扰，通过设置气体流动模块可以实现佩戴者体表不同的空气流速，避免了环境差异造成的干扰，间接提高血糖检测的准确度。
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公开(公告)号：CN118399089A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202410582125.3
申请日：2024-05-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 适用于太赫兹频段的非对称传输多焦点汇聚超表面透镜及其制备方法，本发明为了解决现有超表面透镜抗干扰能力弱，液晶超表面透镜不具有非对称传输特性等问题。本发明非对称传输多焦点汇聚超表面透镜，该超表面透镜整个阵列由超表面A类单元和超表面B类单元按棋盘结构排布构成，超表面A类单元和超表面B类单元均由三层金属层和两层介质层形成多层结构，金属层和介质层交替设置，每个超表面单元的顶层金属层和底层金属层为正交的光栅，中间层金属层为中心对称的开口圆环结构，双开口圆环相交叉。本发明设计了三层结构手性单元满足互易性，使用了棋盘结构排布，实现了非互易多焦点汇聚超表面透镜，使用方向复用技术增加对电磁波调控的自由度。
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公开(公告)号：CN112244848B
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202011051491.4
申请日：2020-09-29
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于皮层脑电图的多通道MEAs的制备方法，本发明属于先进的微加工技术领域，它要解决柔性MEAs在高时空分辨率下操作，生产效率较低的问题。制备方法：一、对硅衬底进行等离子体清洗；二、在硅衬底表面沉积铝牺牲层；三、将非光敏聚酰亚胺MEAs基材多次旋涂在铝牺牲层上；四、光刻聚酰亚胺层图案化定型，电感耦合等离子体刻蚀处理；五、通过光刻工艺形成微电极网络和互连板；六、将非光敏聚酰亚胺MEAs基材旋涂在底层聚酰亚胺上，使用光致抗蚀剂掩蔽晶片，以限定互连线和焊盘；七、去除铝牺牲层。本发明中以6英寸高阻硅片为基片，结合柔性聚酰亚胺可以在单片上大批量生产25个MEAs。记录位置以高时空分辨率紧凑排列。
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