用于微纳光称的MEMS生物传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN118443918A

    公开(公告)日:2024-08-06

    申请号:CN202410538990.8

    申请日:2024-04-30

    Abstract: 用于微纳光称的MEMS生物传感器及其制备方法,本发明针对现有商用微悬臂梁形态固定、特异型修饰操作难度大、无法实现定制末端形变范围的问题。本发明MEMS生物传感器中从介质基底的端面延伸设置有第一参考臂、第二参考臂和两个支撑介质,两个支撑介质对称设置并位于第一参考臂和第二参考臂之间,称头位于两个支撑介质之间,每个蛇形梁的一端与支撑介质相连,每个蛇形梁的另一端与称头相连,四个蛇形梁呈X形,称头和四个蛇形梁共同组成了修饰臂,在修饰臂上镀有金,第一参考臂、第二参考臂和修饰臂位于同一平面上。本发明通过修饰臂的平动设计,解决了现有单端固支梁受力之后会弯曲,末端呈斜面,只计算末端位移不严谨的问题。

    适用于太赫兹频段的非对称传输多焦点汇聚超表面透镜及其制备方法

    公开(公告)号:CN118399089A

    公开(公告)日:2024-07-26

    申请号:CN202410582125.3

    申请日:2024-05-11

    Abstract: 适用于太赫兹频段的非对称传输多焦点汇聚超表面透镜及其制备方法,本发明为了解决现有超表面透镜抗干扰能力弱,液晶超表面透镜不具有非对称传输特性等问题。本发明非对称传输多焦点汇聚超表面透镜,该超表面透镜整个阵列由超表面A类单元和超表面B类单元按棋盘结构排布构成,超表面A类单元和超表面B类单元均由三层金属层和两层介质层形成多层结构,金属层和介质层交替设置,每个超表面单元的顶层金属层和底层金属层为正交的光栅,中间层金属层为中心对称的开口圆环结构,双开口圆环相交叉。本发明设计了三层结构手性单元满足互易性,使用了棋盘结构排布,实现了非互易多焦点汇聚超表面透镜,使用方向复用技术增加对电磁波调控的自由度。

Patent Agency Ranking