公开(公告)号：CN118443918A

公开(公告)日：2024-08-06

申请号：CN202410538990.8

申请日：2024-04-30

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 王琮 ,  李朝启 ,  高飞 ,  杜桂强 ,  魏杰 ,  李喆一 ,  翟雷应 ,  丁旭旻

IPC: G01N33/50 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

Abstract: 用于微纳光称的MEMS生物传感器及其制备方法，本发明针对现有商用微悬臂梁形态固定、特异型修饰操作难度大、无法实现定制末端形变范围的问题。本发明MEMS生物传感器中从介质基底的端面延伸设置有第一参考臂、第二参考臂和两个支撑介质，两个支撑介质对称设置并位于第一参考臂和第二参考臂之间，称头位于两个支撑介质之间，每个蛇形梁的一端与支撑介质相连，每个蛇形梁的另一端与称头相连，四个蛇形梁呈X形，称头和四个蛇形梁共同组成了修饰臂，在修饰臂上镀有金，第一参考臂、第二参考臂和修饰臂位于同一平面上。本发明通过修饰臂的平动设计，解决了现有单端固支梁受力之后会弯曲，末端呈斜面，只计算末端位移不严谨的问题。