公开(公告)号：CN114217509B

公开(公告)日：2022-10-04

申请号：CN202111542248.7

申请日：2021-12-16

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 赵鹏越 ,  晏祯卓 ,  郑健 ,  潘健生 ,  李一帆

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提出了一种基于拉线式机构的机械复眼旋转驱动装置，属于精密仪器及机械技术领域。解决了现有机械复眼集成度低，难以对光路精准导向的问题。它包括机架、水平致动器、垂直致动器、张紧装置、球铰和光学元件，所述光学元件通过球铰与机架上端铰接相连，所述水平致动器设置在机架的底部中心位置，所述水平致动器与拉线相连，所述水平致动器带动拉线运动，所述拉线两侧分别穿过张紧装置后，拉线的两端与光学元件长度方向的两端相连，所述垂直致动器固定在机架的中部，所述垂直致动器两侧分别与两个拉杆相连，通过垂直致动器驱动两个拉杆运动，所述两个拉杆的上端与光学元件宽度方向的两侧相连。它主要用于机械复眼旋转驱动。

公开(公告)号：CN113820924B

公开(公告)日：2022-06-28

申请号：CN202111110624.5

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  刘海朝 ,  赵鹏越 ,  郑健 ,  王继尧 ,  潘健生 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供了一种光刻机的微动平台，涉及微动台领域。光刻机的微动平台包括底座、驱动机构和运动座，运动座间隔设于底座上侧，驱动机构安装于底座和运动座之间；驱动机构包括至少三个周向间隔布置的驱动件，驱动件的驱动方向垂直于运动座的支撑平面，且驱动件的驱动端与运动座柔性连接；底座与运动座之间设有至少三个高度传感器和至少三个平面传感器，至少三个高度传感器和平面传感器分布于运动座的边角位置，高度传感器检测运动座的高度位移，平面传感器检测运动座的平面位移，且至少三个平面传感器的检测方向呈相交布置。本专利实现了运动座的Z向、RX向和RY向运动，提高了微动平台六自由度运动的控制精度，提高了微动平台的运动平稳性和精度。