基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习控制系统及方法

    公开(公告)号:CN118068656A

    公开(公告)日:2024-05-24

    申请号:CN202410208941.8

    申请日:2024-02-26

    Abstract: 本发明公开了一种基于不确定性补偿的超精密光刻装备学习控制系统及方法,所述系统包括运动轨迹生成部分、学习控制部分、反馈控制部分和不确定性补偿部分,运动轨迹生成部分包括运动轨迹生成器Cr,运动轨迹生成器Cr产生参考运动轨迹yd(t),yd(t)减去位置测量信号yε,k(t)得到位置误差信号ek(t),ek(t)输入给学习控制部分,学习控制部分产生前馈信号eff,k(t),eff,k(t)与ek(t)相加得到修正误差信号efb,k(t),efb,k(t)输入给反馈控制部分,反馈控制部分包括反馈控制器Cfb,反馈控制器Cfb产生反馈控制量ufb,k(t),ufb,k(t)输入给不确定性补偿部分,不确定性补偿部分产生位置测量信号yε,k(t)。本发明能够有效减少模型不确定性对学习性能的影响,同时可有效补偿外部随机扰动,设计简单,具有较强实际应用价值。

    一种纳米精度运动台学习控制系统及方法

    公开(公告)号:CN116774585B

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202310751744.6

    申请日:2023-06-25

    Abstract: 一种纳米精度运动台学习控制系统及方法,涉及一种运动台控制系统及方法。闭环反馈部分包括运动轨迹生成器、反馈控制器、运动台及傅里叶变换器一,前馈部分包括傅里叶变换器二、学习控制器、迭代后移算子及傅里叶逆变换器。迭代实验次数j赋初值为j=1,第j次频域前馈信号赋初值为0;运行系统采集频域误差信号和频域位置测量信号;更新第j+1次频域前馈信号;迭代实验次数j值加1,跳转至步骤二。能够有效抑制外部噪声和扰动的影响,提高收敛性能,而且计算量较少,学习增益确定简单,鲁棒性强,便于工程应用。

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