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公开(公告)号：CN118259538A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202410504185.3
申请日：2024-04-25
Applicant: 南京工业大学
IPC: G03F7/00
Abstract: 本发明属于掩膜光刻技术领域，特别是涉及一种用于回转体表面微结构的掩膜曝光装置，包括台面，台面的顶面设置有夹紧模块、位置确定模块和光源移动模块；夹紧模块包括设置在台面顶面的驱动组件，驱动组件传动连接有夹紧组件，夹紧组件用于夹紧工件，工件与位置确定模块抵接；光源移动模块包括设置在台面顶面的横向移动组件，横向移动组件的顶端设置有纵向驱动组件，纵向驱动组件上设置有光源，光源与工件对应设置。本发明在使用时，通过设置横向移动组件实现了光源的横向移动；位置确定模块能够横向移动，因此可以对不同长度的工件进行位置固定。通过设置纵向驱动组件实现了光源在纵向的往复运动，对于不同直径的工件可以调节至合适的照射距离。
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公开(公告)号：CN114700568B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202210394040.3
申请日：2022-04-14
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种带式电极电火花电解复合切割沟槽结构的方法及装置，利用截面为所需沟槽形状的带式电极作为工具电极进行电火花电解复合线切割加工，中性盐溶液高速喷射于两极之间，控制电压幅值在高于或低于电火花放电临界电压范围内变化，进而改变材料去除方式的占比，实现电火花电解复合切割；切割过程结合了带式电极沿走丝回路的回转往复运动、单向走丝运动以及待加工的工件的轴向进给运动，实现异形槽高效、多种结构一次成形跨尺度制造，同时有效避免非加工区域的电解杂散腐蚀，实现跨尺度异形槽高效、高精密、无重铸层的制造目标。
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公开(公告)号：CN114367711B
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210144848.6
申请日：2022-02-17
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种用于掩膜电解加工的自吸式冲液加工装置，包括掩模板、夹具体、旋转轮以及孔板式阴极。夹具体设有进液口和出液口；所述的掩模板与夹具体形成相对密闭的电解液流道腔；所述电解液流道腔被孔板式阴极隔成排液腔和反应腔，所述排液腔包括一个以上的独立封闭的泵室，泵室内设有旋转轮，泵室设有出液口，所述出液口位于旋转轮背离孔板式阴极的一侧；所述进液口连通反应腔且只能够使电解液单向进入，所述旋转轮只能够使电解液单向流出出液口；所述旋转轮转动时，电解液从反应腔透过孔板式阴极吸入泵室。本发明通过在排液腔内通过旋转轮和隔板形成自吸泵抽取电解液，实现自吸式冲液掩膜电解加工，提高电解液传质速率。
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公开(公告)号：CN114453689A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202210136672.X
申请日：2022-02-15
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种用于掩膜电解加工的柱塞式冲液加工装置，包括柱塞式阴极和阴极推杆，柱塞式阴极和阴极推杆组成阴极，在夹具体中的柱塞腔中进行直线往复运动。凸轮推动阴极推杆使得柱塞式阴极向靠近掩膜板的方向运动，多数电解液由出液单向阀回流。柱塞式阴极在回复弹簧的作用力下向远离掩膜板的方向运动，电解液由进液单向阀进入反应区。本发明通过柱塞式阴极在柱塞腔内的往复运动和单向阀实现电解液的吸入和电解产物的排出，自主实现了电解液的更新和电解产物的排除。当阴极与掩膜接触时，可以实现连续的零间隙掩膜电解加工，提高加工精度和加工效率。
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公开(公告)号：CN112170994A
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN202011030601.9
申请日：2020-09-27
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明提供了基于掩膜电场约束电化学沉积‑电解组合加工方法，所述方法包括在工件表面的膜上制作与掩膜板的结构相对应的阵列孔；将夹具外接电源使工具电极作为阳极，将传动滚轮外接电源使工件作为阴极，进行微结构电化学沉积；当电源沉积工作时间结束后，将夹具外接电源使工具电极作为阴极，将传动滚轮外接电源使工件作为阳极进行电解光整，去除工件表面沉积的冗余金属；当电源电解工作时间结束后，取出工件，将工件置于无水乙醇中，利用超声清洗工件表面的膜。本发明将电化学沉积和电解光整组合在一起进行加工，将电化学沉积后表面冗余金属层去除，保证了电沉积微结构的加工精度，满足了各种微小零件的加工要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110899876B
公开(公告)日：2020-09-25
申请号：CN201911201139.1
申请日：2019-11-29
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种用于模板电解加工的装置，包括夹具和模板，夹具和模板之间形成电解液流道腔，电解液流道腔内设有一组与电源负极连接的金属柱，每一个金属柱的外壁均设有一圈凸齿。金属柱上的凸齿均向同一方向倾斜。所述电解液流道腔内分别设有进液口和出液口，金属柱转动方向与电解液流通方向一致，凸齿倾斜方向与金属柱转动方向一致。本发明通过机械运动直接搅动阴阳极之间的电解产物，从而增强电解产物在电解液流场中的传质效率。
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公开(公告)号：CN110899876A
公开(公告)日：2020-03-24
申请号：CN201911201139.1
申请日：2019-11-29
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种用于模板电解加工的装置，包括夹具和模板，夹具和模板之间形成电解液流道腔，电解液流道腔内设有一组与电源负极连接的金属柱，每一个金属柱的外壁均设有一圈凸齿。金属柱上的凸齿均向同一方向倾斜。所述电解液流道腔内分别设有进液口和出液口，金属柱转动方向与电解液流通方向一致，凸齿倾斜方向与金属柱转动方向一致。本发明通过机械运动直接搅动阴阳极之间的电解产物，从而增强电解产物在电解液流场中的传质效率。
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公开(公告)号：CN117265972A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202311243603.X
申请日：2023-09-25
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于水力驱动的路面养护喷射装置，该装置包括可固定在高速路桥中间隔离护栏上的安装平台、喷头、出液通道以及固定在安装平台上的设有进液口和出液口的叶轮机与往复摆动结构；进液口用于通入有压力的养护液体以使叶轮机将液体动能转化为旋转机械能；出液通道连通出液口与喷头；叶轮机的旋转输出轴传动连接往复摆动结构，往复摆动结构连接喷头，往复摆动结构在叶轮机驱动下带动喷头180°往复摆动；还公开了一种系统，该系统中，各装置的进液口分别设置有一供液支路，各供液支路连通对应的装置与供液主路；供液主路上设置有泵站，用于将养护液体从供液源沿供液主路、供液支路泵送至装置，通过控制泵站启停可远程控制养护液体的喷洒。
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公开(公告)号：CN114457404B
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202111588052.1
申请日：2021-12-23
Applicant: 南京工业大学
Abstract: 本发明提供了一种基于辊式电极的表面微织构大面积加工方法及装置，利用金属辊子作为工具电极，将具有所需要加工的镂空结构的掩膜板包裹在电极表面，在工具电极与工件之间施加脉冲电源，利用电沉积原理，从而实现微纳阵列结构在工件表面的快速沉积成型。该方法采用了随动式高压外冲液方式，喷嘴与辊轮随动运动，利用高压喷嘴装置时刻保持对电沉积区域高速冲液。同时，通过控制辊轮以一定轨迹进行运动，实现电极辊对工件表面的完全扫掠，从而实现仿生功能表面微纳结构的大面积、跨尺度高效制备。本发明既是一种快速、简捷、适用性强的功能表面制备方法，又可以自适应任意曲面，实现柔性加工。同时，多辊加工还可以弥补单辊电极加工效率低、微结构成型高度小、尺寸精度差等问题。
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公开(公告)号：CN116991042A
公开(公告)日：2023-11-03
申请号：CN202310792457.X
申请日：2023-06-30
Applicant: 南京工业大学
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明公开了一种用于超长微细结构曝光的移动式光刻装置，包括x轴丝杠导轨运动模块、y轴同步带运动模块、z轴精密调节模块、光源对焦模块、控制机构和支撑机构，支撑机构包括台面、立柱、梁和L型连接板，立柱竖直设置于台面上，立柱与梁固定连接；x轴丝杠导轨运动模块固定设置于台面上，y轴同步带运动模块固定于梁上，与L型连接板的一端连接；L型连接板的另一端与z轴精密调节模块固定连接，z轴精密调节模块与光源对焦模块在竖直方向上滑动连接；x轴丝杠导轨运动模块和y轴同步带运动模块均与控制机构电连接。该装置实现了跨尺度微细结构的精准光刻，提高加工效率且所述移动式曝光装置成本较低，易于实现。
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