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公开(公告)号：CN110783281A
公开(公告)日：2020-02-11
申请号：CN201911003784.2
申请日：2019-10-22
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L23/29 , H01L23/31 , H01L23/373 , H01L21/56
Abstract: 本发明属于电子器件封装领域，并公开了一种可拉伸电子器件的薄膜封装组件及其制备方法。该组件自下而上包括待封装电子器件、阻隔层、光热传导层和疏水防护层，其中，疏水防护层用于阻隔外界的水汽与光热传导层直接接触并进行腐蚀，光热传导层用于增强器件整体透光和散热能力，阻隔层用于进一步阻隔空气中的水和氧气，避免水和氧气进入待封装电子器件，其中，阻隔层包括有机涂层和无机-有机复合层；光热传导层依次包括两个封装层和设置在两个封装层之间的金属散热层。本申请还相应公开了上述封装组件的制备方法。通过本发明所获取的封装组件具备良好的水汽阻隔能力，且兼顾良好的透光性、传热性和拉伸性能，可实现对可拉伸电子器件的长效保护。
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公开(公告)号：CN110144215A
公开(公告)日：2019-08-20
申请号：CN201910355689.2
申请日：2019-04-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于纳米晶制备相关技术领域，并公开了一种基于原子层沉积的纳米晶表面定向钝化方法，包括：采用热注入法合成纳米晶胶体；采用水解法将纳米晶颗粒均匀嵌入二氧化硅微球上；采用原子层沉积技术，在均匀嵌入有纳米晶颗粒的二氧化硅微球表面上继续沉积金属氧化物薄膜，由此完成整体的表面定向钝化处理过程。本发明还公开了相应的产品。通过本发明，能够有效解决量子点易受水氧侵蚀的问题，具有制备工艺简单，制备成本低等优点。
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公开(公告)号：CN108715998B
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201810614134.0
申请日：2018-06-14
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455
Abstract: 本发明属于原子层沉积制备仪器相关领域，并公开了一种用于大批量微纳米颗粒包裹的原子层沉积装置，该装置包括颗粒容器和反应腔体，其中反应腔体的下端设置有进源口，进源口中密封设置有用于输入前驱体和载气的进气管；反应腔体的上端开设有腔门，颗粒容器可以自由放置于反应腔体中，或从中取出；颗粒容器下端设有进气孔，进气管通过进气孔进入颗粒容器的内腔。通过本发明，能够有效将气流内循环与外循环的方法相结合，显著增大颗粒间的碰撞及与气体分子的接触概率，提升反应速率和前驱体利用率，实现大批量微纳米颗粒的高质高效包覆。
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公开(公告)号：CN110112313A
公开(公告)日：2019-08-09
申请号：CN201910413501.5
申请日：2019-05-17
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明属于薄膜封装技术领域，并公开了一种柔性器件的超薄复合封装薄膜结构及制备方法。所述封装薄膜结构包括基底、设于基底上的器件、封装于所述器件表面的第一无机隔离层以及设于该无机隔离层表面的第一复合阻隔层；第一复合阻隔层包括设于第一无机隔离层上的至少两层第一无机阻隔层以及设于相邻两层第一无机阻隔层之间的至少一层第一有机阻隔层。本发明还公开了相应结构的制备方法。本发明封装薄膜结构中存在不同无机结构之间和有机结构与无机结构之间相互掺杂、相互交联的界面特征，极大地改善了薄膜应力集中的缺点，隔离了无机层之间的缺陷，大幅度延长了水氧透过薄膜的时间和路径、提高薄膜阻隔水氧的能力，能够有效地保护柔性器件。
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公开(公告)号：CN108754456A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810503730.1
申请日：2018-05-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455 , C23C16/52
CPC classification number: C23C16/45548 , C23C16/45519 , C23C16/45568 , C23C16/52
Abstract: 本发明属于微纳制造相关设备领域，并公开了一种常压下曲面基底的原子层沉积薄膜制备设备，它包括喷头模块及对应配备的液压传动模块，其中该喷头模块用于对基底进行原子层沉积，具有空间隔离的作用，并且四周的气浮区可以帮助喷头在经过曲面时改变方向达到曲面沉积的作用；该液压传动模块通过转阀来实时获取喷头转动角度的信息，并通过改变进出油口的相对连接位置而使得喷头总体上升或者下降或者保持不动。通过本发明，能够可获得一种开放式、具有自调整功能的原子层沉积薄膜制备设备，其不仅可在常温常压下即可执行各类曲面沉积操作，而且喷头能够根据曲面曲率的不同而快速改变角度及升降运动，进而与现有设备相比可显著提高作业效率和适用性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108220917A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201810073257.8
申请日：2018-01-25
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/44
Abstract: 本发明属于原子层沉积设备领域，并具体公开了一种用于纳米颗粒表面包覆的连续原子层沉积设备，包括进料仓、第一反应室、第二反应室和出料仓，进料仓用于控制纳米颗粒进入第一反应室，纳米颗粒在第一反应室中利用超声振动网打散，与第一前驱体反应物发生反应；反应后的纳米颗粒经第一旋转给料装置进入第一清洗室，并通过气体吹扫清洗掉反应副产物；经过清洗后的纳米颗粒送入第二反应室中，并在第二反应室内部利用超声振动网打散，且与第二前驱体反应物发生反应；反应后的纳米颗粒经第二旋转给料装置进入第二清洗室，并通过气体吹扫清洗掉反应副产物，最后送入出料仓中。本发明可实现纳米颗粒表面薄膜的连续均匀沉积，且无团聚现象。
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公开(公告)号：CN105032385B
公开(公告)日：2017-09-12
申请号：CN201510398455.8
申请日：2015-07-08
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: Y02A50/2341
Abstract: 本发明公开了一种金属氧化物/铂纳米颗粒复合催化剂的制备方法，该方法包括：使用原子层沉积方法生长铂纳米催化剂颗粒和金属氧化物，通过改变原子层沉积循环次数，从而沉积所需厚度的氧化物复合层和所需粒径的纳米颗粒，两者结合形成复合催化剂。通过本发明，可以精确制备金属氧化物和铂纳米颗粒的复合催化剂，锚定金属催化颗粒从而提高铂催化剂在高温下的热稳定性，且由于氧化物薄膜与金属直接具有催化协同效应，能够在提高催化剂抗烧结性的同时，提高催化剂的活性。
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公开(公告)号：CN107099784A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201710336412.6
申请日：2017-05-13
Applicant: 华中科技大学
IPC: C23C16/455
CPC classification number: C23C16/45544 , C23C16/45563
Abstract: 本发明公开了一种用于空间隔离原子层沉积的模块化喷头及装置。模块化喷头包括：前驱体通道组件、密封组件；前驱体通道组件包括板状基体、前驱体通道、气体管路；前驱体通道布置于板状基体正面，自上而下延伸，前驱体通道的顶端连通气体管路；密封组件设于板状基体正面，用于对前驱体通道进行密封，防止前驱体泄露。本发明的模块化喷头，由多个部件构成整体模块，并且通过前躯体通道对喷入的气体进行分流和缓冲，实现沉积均匀，且可以根据实际需求选取任意数量进行组合。本发明的装置包括多个模块化喷头，以一定的间隔排列，分别通入氧化物前驱体源和金属前驱体源，使得基底在前驱体单元下运动一个来回沉积多层薄膜，大大提高了薄膜沉积效率。
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公开(公告)号：CN107017193A
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201710311755.7
申请日：2017-05-05
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L21/677 , H01L21/683
Abstract: 本发明公开了一种基片取放及转移装置，包括：第一取放组件、第二取放组件以及转移组件；第一取放组件的第一直线动子通过第一气缸带动第一真空吸盘，依次在初始位置、第一反应位置、第一取放位置之间往复运动；第二取放组件的第二直线动子通过第二气缸带动第二真空吸盘，依次在第二取放位置、第二反应位置之间往复运动，第二反应位置对应第二反应区设置；转移组件的基片支撑板设于第一取放位置和第二取放位置之间，转移组件的第三直线动子带动基片支撑板在第一取放位置和第二取放位置之间往复运动。本发明通过转移组件和第一、第二取放组件自动完成基片的转移及取放，避免了人工操作的低效率和危险性，可以实现基片安全、高效转移地转移及取放。
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