一种具有纳米间隙层的超透镜及超分辨成像系统

    公开(公告)号:CN111751909A

    公开(公告)日:2020-10-09

    申请号:CN202010502084.4

    申请日:2020-06-04

    Abstract: 本发明实施例提供一种具有纳米间隙层的超透镜及超分辨成像系统,该超透镜包括周期性薄膜结构和至少一层纳米间隙层,其中:所述周期性薄膜结构是由金属层和介质层堆叠构成的,所述纳米间隙层的两侧为所述介质层。本发明实施例通过引入纳米间隙层,使得坡音廷矢量在纳米间隙层与介质层的交界面处发生传播方向的偏折,从而导致物像的主瓣和旁瓣的对数比增大,大幅改善两个及两个以上物体成像时,多个像点的旁瓣与旁瓣之间以及旁瓣与主瓣之间互相重叠导致的干扰问题,并能对静止的物体和/或移动的物体进行突破衍射极限的纳米级超高分辨率三维成像,在纳米材料实时成像、生物医学成像和超精密纳米光刻等领域具有重要应用前景。

    一种管壁内嵌化学合成量子点的管状微腔及其制备方法

    公开(公告)号:CN109817788A

    公开(公告)日:2019-05-28

    申请号:CN201811556261.6

    申请日:2018-12-19

    Abstract: 本发明提供了一种管壁内嵌化学合成量子点的管状微腔及其制备方法。该管状微腔为内嵌化学合成量子点的无源介质薄膜通过释放应力自卷曲形成的中空管状结构;所述化学合成量子点完全被所述无源介质薄膜包裹。本发明将化学合成量子点嵌设在自卷曲微米管的管壁中,相对于外延生长量子点方式,化学合成量子点的尺寸和分布的可控性和均匀性良好,发光特性优异,制作成本很低且适合大规模制备;特别是,本发明相对于将化学合成量子点包覆在自卷曲微米管管壁表面方式,不仅大幅度提高了量子点发光与微腔谐振模式之间的耦合效率,还避免了化学合成量子点因受到外界气体或液体环境影响而导致微腔光学性能恶化甚至失效的情况。

    单片硅基光电集成芯片的制备方法

    公开(公告)号:CN109459817A

    公开(公告)日:2019-03-12

    申请号:CN201811453417.8

    申请日:2018-11-30

    Abstract: 本发明实施例提供了一种单片硅基光电集成芯片的制备方法,通过在SOI衬底上刻蚀图形窗口来生长激光器结构,通过在SOI衬底中的硅波导层上生长探测器结构,激光器和探测器通过刻蚀出的硅波导结构连接,从而实现了片上激光器、探测器以及硅波导结构的集成。本发明实施例中提供的单片硅基光电集成芯片的制备方法,通过直接刻蚀图形窗口来生长激光器结构,具有高重复性和可靠性,能够大规模的制备,大大降低了成本,具有很好的应用前景,弥补了目前无法通过直接选区外延的方式实现可实用的片上光电集成的空白,特别是弥补了激光器与其他器件的片上集成问题。

    一种亚波长分束光栅混合集成光电探测器阵列

    公开(公告)号:CN106784028A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201611249948.6

    申请日:2016-12-29

    CPC classification number: H01L31/02 H01L27/146 H01L31/02325

    Abstract: 本发明提供一种光电探测器阵列,包括具有光束分束功能的亚波长光栅,以及位于亚波长光栅上方的光电探测器组;所述亚波长光栅与光电探测器组间设有键合介质层。在处理大功率、高速、高动态范围的入射光信号时,其包含的高性能亚波长分束光栅将该光信号分为多束功率较小、动态范围较小的光信号并分别由光电探测器阵列中的各分布式光电探测器进行光电转换,各光电探测器产生的电信号在大电极处叠加从而还原原注入信号。本方案克服了单个光电探测器无法处理过大功率及过大动态范围的光信号的弊端,也克服了传统光电探测器阵列耦合方式及制备工艺复杂的缺点,相较于前两者具有工艺简单易于制备、饱和功率大、动态范围大、响应度高的特点。

    一种单片集成收发一体光电芯片及集成芯片阵列

    公开(公告)号:CN106772797A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201611184920.9

    申请日:2016-12-20

    CPC classification number: G02B6/122

    Abstract: 本发明提供一种单片集成收发一体光电芯片及集成芯片阵列,所述光电芯片包括衬底、光吸收单元和光发射单元;所述光发射单元的光激射波长为光电芯片的发射光谱区,所述光吸收单元吸收波长为光电芯片的吸收光谱区,所述吸收光谱区和所述发射光谱区不重叠;所述光吸收单元包括依次层叠于衬底上的第一半导体材料层、第二半导体材料层和第三半导体材料层,所述第三半导体材料上设有绝缘层,所述光吸收单元和光发射单元通过绝缘层电隔离;光发射单元包括第一反射镜、光学腔和第二反射镜,所述光学腔位于第一反射镜上,所述第二反射镜位于光学腔上。只应用一个光学腔,同时起到光发射上的谐振增强与光吸收上的高透滤波功能,实现光信号的发射与接收。

    具有汇聚增强功能的蘑菇型高速光探测器及其制备方法

    公开(公告)号:CN105185862B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201510319023.3

    申请日:2015-06-11

    CPC classification number: Y02P70/521

    Abstract: 本发明公开了一种具有汇聚增强功能的蘑菇型高速光探测器及其制备方法,涉及光电子技术领域。所述蘑菇型高速光探测器包括由下至上依次形成的硅衬底层、氧化硅衬底层、非周期亚波长光栅层、树脂层、n型外延层、本征层、p型外延层,以及n型接触电极和p型接触电极。所述制备方法包括刻蚀形成非周期亚波长光栅;外延生长Ⅲ-Ⅴ族PIN光探测器外延片;采用键合工艺混合集成光探测器外延片和非周期亚波长光栅;最后通过选择性刻蚀工艺实现蘑菇型台面结构。本发明能够广泛用于光通信及光信号处理等领域,具有易于集成、高量子效率、高频率响应带宽等特点;同时相关工艺具有低成本、工艺简单、易于实现等优点。

    借助金属纳米颗粒减小自卷曲微米管直径的方法

    公开(公告)号:CN104555899A

    公开(公告)日:2015-04-29

    申请号:CN201410795565.3

    申请日:2014-12-18

    Abstract: 本发明提出一种借助金属纳米颗粒缩小自卷曲微米管直径的方法,包括步骤:在衬底上,或在虚拟衬底上沉积缓冲层;在缓冲层上沉积牺牲层;在牺牲层上沉积应变薄膜;进行第一次光刻和腐蚀,使应变薄膜形成台面,使牺牲层暴露出来;进行第二次光刻,利用光刻胶形成图形窗口;沉积金属薄膜,高温退火使得金属薄膜形成金属纳米颗粒;对牺牲层进行侧向腐蚀,使得表面覆盖有金属纳米颗粒的应变薄膜自卷曲成管。本发明可在不改变薄膜厚度和应变下,仅借助金属纳米颗粒就能显著缩小自卷曲微米管的直径,可以容易地制备出直径在1微米附近的自卷曲微米管,甚至直径低至几百纳米的纳米管及其规则阵列,同时可保证微米管或纳米管具有优良的机械特性和结构特性。

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