公开(公告)号：CN111413757B

公开(公告)日：2022-02-25

申请号：CN202010137109.5

申请日：2020-03-02

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 黄永清 ,  武刚 ,  刘凯 ,  段晓峰 ,  任晓敏 ,  蔡世伟 ,  王欢欢 ,  杨丹 ,  牛慧娟 ,  杜嘉薇

IPC: G02B5/18 ,  G02B27/10 ,  H01L31/105 ,  H01L31/107

公开(公告)号：CN111413757A

公开(公告)日：2020-07-14

申请号：CN202010137109.5

申请日：2020-03-02

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 黄永清 ,  武刚 ,  刘凯 ,  段晓峰 ,  任晓敏 ,  蔡世伟 ,  王欢欢 ,  杨丹 ,  牛慧娟 ,  杜嘉薇

IPC: G02B5/18 ,  G02B27/10 ,  H01L31/105 ,  H01L31/107

Abstract: 本发明实施例提供一种柱状透镜、柱状分束透镜、光探测器及光探测器阵列，该柱状透镜包括：包括底层、氧化层和光栅层，所述柱状透镜为SOI结构，其中：所述氧化层设置在所述底层和所述光栅层之间；所述光栅层，用于对入射平行光进行相位调制，以使得透射光会聚成一条线状光斑；所述光栅层是由多种预设规格的方形光栅块按照预设排列顺序组成的，其中，每个方形光栅块的周期相同，相同预设规格的方形光栅块的长度和宽度相同，且每个方形光栅块的高度相同本发明实施例克服了传统柱状透镜体积大、不易制备及难于集成的缺点，具有易设计、体积小、易集成以及与CMOS工艺相兼容等优点，广泛应用于光显示和光通信系统，光探测器阵列实现大功率特性。

公开(公告)号：CN111223955B

公开(公告)日：2021-11-26

申请号：CN201911050883.6

申请日：2019-10-31

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 黄永清 ,  牛慧娟 ,  刘凯 ,  李献杰 ,  段晓峰 ,  杨一粟 ,  任晓敏 ,  蔡世伟 ,  王琦 ,  王俊 ,  位祺 ,  王欢欢 ,  支华云

IPC: H01L31/105 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/0352

Abstract: 本发明涉及光电子技术领域，提供了一种具有微孔的波导耦合结构的光探测器，包括柱状的衬底以及在衬底的顶面沿轴向设置的多个外延层，多个外延层包括吸收层，沿衬底的轴向方向贯穿吸收层开设若干锥形孔；至少在一个锥形孔的外侧壁与吸收层的顶面和/或底面的接触处布置低折射率材料，用于与吸收层形成强耦合波导结构。本发明提供的具有微孔耦合结构的光探测器，通过设置若干锥形孔，减小了吸收层中有源区的面积，降低了充电时间常数，提高了光探测器的响应速率；另外，形成的强耦合波导结构，可以使得进入锥形孔的入射光经其内侧壁折射后进入吸收层，并在吸收层中横向传输，增加了光程，提高了量子效率。

公开(公告)号：CN111223955A

公开(公告)日：2020-06-02

申请号：CN201911050883.6

申请日：2019-10-31

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 黄永清 ,  牛慧娟 ,  刘凯 ,  李献杰 ,  段晓峰 ,  杨一粟 ,  任晓敏 ,  蔡世伟 ,  王琦 ,  王俊 ,  位祺 ,  王欢欢 ,  支华云

IPC: H01L31/105 ,  H01L31/0216 ,  H01L31/0352

Abstract: 本发明涉及光电子技术领域，提供了一种具有微孔的波导耦合结构的光探测器，包括柱状的衬底以及在衬底的顶面沿轴向设置的多个外延层，多个外延层包括吸收层，沿衬底的轴向方向贯穿吸收层开设若干锥形孔；至少在一个锥形孔的外侧壁与吸收层的顶面和/或底面的接触处布置低折射率材料，用于与吸收层形成强耦合波导结构。本发明提供的具有微孔耦合结构的光探测器，通过设置若干锥形孔，减小了吸收层中有源区的面积，降低了充电时间常数，提高了光探测器的响应速率；另外，形成的强耦合波导结构，可以使得进入锥形孔的入射光经其内侧壁折射后进入吸收层，并在吸收层中横向传输，增加了光程，提高了量子效率。