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公开(公告)号：CN118603070A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410812556.4
申请日：2024-06-22
Applicant: 中北大学 , 北京理工大学重庆微电子研究院 , 赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
IPC: G01C19/5656
Abstract: 本发明涉及三轴陀螺仪，具体是一种高灵敏度嵌套轮环单片三轴MEMS陀螺芯片。本发明解决了现有三轴陀螺仪灵敏度低、测量精度低的问题。高灵敏度嵌套轮环单片三轴MEMS陀螺芯片，包括谐振子部分和电极部分；所述谐振子部分包括轮结构和环结构；所述轮结构包括圆盘形质量块；圆盘形质量块的外侧面开设有两个呈左右对称分布的豁槽；所述环结构包括圆环形质量块B；圆环形质量块B同轴套设于圆环形质量块A的外侧；所述电极部分包括正方形基座；正方形基座与圆盘形质量块同轴设置。本发明适用于军事导航、深空探测等高精尖领域。
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公开(公告)号：CN117214508A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311410368.0
申请日：2023-10-27
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的一种悬臂梁式霍尔电流传感器及其制作方法，属于传感器领域。本发明在悬臂梁式电流传感器设计的基础上，分别提供基于CMOS‑MEMS技术实现和基于MEMS技术实现的两种悬臂梁式霍尔电流传感器，并提供相应的传感器制作工艺步骤。本发明采用霍尔元件、悬臂梁、磁性物质三层结构，使具有强磁场的磁性物质通过与电流产生的弱磁场之间的相互作用而产生运动，磁性结构的被动运动在物理上导致强磁场的变化，因此，弱磁场被转化放大为强磁场。霍尔器件放置在悬臂梁下方，悬臂梁的变形导致磁性物质的移动，霍尔器件检测到磁场变化，从而反映电流变化。本发明不仅能够测量双线电缆，也能够实现连续有效信号输出。本发明具有检测灵敏度高、稳定输出和适用范围广的优点。
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公开(公告)号：CN116337143A
公开(公告)日：2023-06-27
申请号：CN202310106202.3
申请日：2023-01-31
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种CMOS‑MEMS单片集成流量、压力传感器，属于传感器领域。本发明的传感器包括硅衬底层及二氧化硅结构层，所述二氧化硅结构层包括设置于两端的PAD区域和设置于中央的气体流量传感器区域及气体压力传感器区域；所述PAD区域中二氧化硅材料与金属材料交叠排布，金属via贯穿第一层金属至第五层金属；所述气体流量传感器区域包括加热电阻及分布在加热电阻两侧的第一热敏电阻和第二热敏电阻；本发明采用无需掩模版(MASK)操作的Post‑CMOS工艺，有效降低了整个器件的后处理复杂程度，大大提高了整个Post‑CMOS后处理的效率。传感部分需要悬空处理，使其具有低热量耗散，快响应速度的特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN116119601A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202310106055.X
申请日：2023-02-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种适用于高湿度环境检测的气体传感器及其制备工艺，属于传感器技术领域。所述气体传感器包括：硅衬底层及二氧化硅结构层，所述二氧化硅结构层设置于所述硅衬底层上方；所述二氧化硅结构层包括设置于两端的PAD区域和设置于中央的气体传感器区域；所述气体传感器区域包括加热电阻、传感电极、via金属柱和气敏材料，两侧固定，整体悬浮在空腔上方；所述via金属柱密集分布在传感电极上方，从而使气体传感器具有超疏水特性。本发明通过设计金属层和金属via图案，使传感电极上方分布大量的via金属柱，从而具有超疏水特性，可以降低气体传感器在工作时对环境湿度变化敏感程度，一体化且连续的工艺极大地降低了传感器的成本。
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公开(公告)号：CN119971435A
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202510286050.9
申请日：2025-03-11
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及医疗辅助仪器技术领域，公开一种呼吸强度指示装置及呼吸训练器，包括主通道、旁通道、气阻结构以及传感器，所述旁通道与所述主通道并列设置，所述旁通道的进口和出口分别连通所述主通道；所述气阻结构设置在所述主通道内，且位于所述旁通道对应的范围内，所述气阻结构用于将所述主通道的部分气流进入所述旁通道；所述传感器设置在所述旁通道内，用于监测气流的流量和/或压力。本发明将传感器设置在旁通道上，通过监测旁通道的流量和/或压力来判断主通道的流量和/或压力，降低直接将传感器设置在主通道内因灰尘、水汽造成的影响，能够实时、准确地监测患者在呼吸训练过程中的呼吸强度，为训练者提供详细的训练数据反馈。
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公开(公告)号：CN118310607A
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202410404656.3
申请日：2024-04-03
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01G3/142
Abstract: 本发明提供一种基于压阻效应的微型天平，涉及微物体称重设备技术领域，包括称重平台、支撑组件、悬臂梁和压敏电阻，称重平台用于放置待称重物；支撑组件具备多个支撑部，多个支撑部围绕称重平台所在的柱形区域设置；悬臂梁具有弹性变形能力，悬臂梁设置有多个，悬臂梁的一端和称重平台连接，另一端和支撑部连接；压敏电阻设置于悬臂梁与支撑部连接处。本发明提供的微型天平无严格的测量环境要求，可在各种环境下进行质量测量，应用范围广泛，适用于大范围的微观尺度测量，能够实现将质量信号转变为线性电压信号输出，便于信号处理。
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公开(公告)号：CN116499517A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310104450.4
申请日：2023-02-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种CMOS MEMS集成流量、气体/湿度传感器，具体涉及一种CMOS MEMS集成流量、气体/湿度传感器及其制作方法；属于传感器领域。本发明的目的是为了克服现有技术的不足，填补领域的空白，实现单芯片同时检测气体流量与气体/湿度的功能，提供一种CMOS MEMS集成流量、气体/湿度传感器及其制作方法；该传感器充分利用了流量传感部分加热电阻的热量，极大地提高了能量的利用率，并且具有低功耗、高响应速度、低滞回的优势；采用无需掩模版操作的Post‑CMOS工艺，避免了复杂的光刻步骤，有效降低了整个器件的后处理复杂程度，大大提高了整个Post‑CMOS后处理的效率。
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公开(公告)号：CN115597671A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211329624.9
申请日：2022-10-27
Applicant: 北京理工大学(CN)
Abstract: 本发明属于传感器技术领域，具体涉及一种基于剪纸结构的双模柔性量热式流量传感器及其制备方法。本发明通过在硅片上依次形成第一柔性基底层、第二柔性基底层、第一热敏电阻、第二热敏电阻和第三热敏电阻。与硅基加工工艺不同，本发明首创性的提出了一种柔性基底的悬浮结构一体式加工工艺。先在空腔处构建牺牲层，在传感层构建完成之后，与硅基直接刻蚀基底不同，本发明采用丙酮洗去牺牲层厚胶的工艺形成悬浮结构。之后剥离硅基底从而形成带有悬浮结构的柔性量热式流速传感器。由于本发明采用一体式加工工艺和双模柔性基底制作传感器及它的悬空和剪纸结构，传感器具有稳定性高，热耗散低，灵敏度高，具有复杂曲面保型贴合的特点。
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