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公开(公告)号：CN117214508A
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202311410368.0
申请日：2023-10-27
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的一种悬臂梁式霍尔电流传感器及其制作方法，属于传感器领域。本发明在悬臂梁式电流传感器设计的基础上，分别提供基于CMOS‑MEMS技术实现和基于MEMS技术实现的两种悬臂梁式霍尔电流传感器，并提供相应的传感器制作工艺步骤。本发明采用霍尔元件、悬臂梁、磁性物质三层结构，使具有强磁场的磁性物质通过与电流产生的弱磁场之间的相互作用而产生运动，磁性结构的被动运动在物理上导致强磁场的变化，因此，弱磁场被转化放大为强磁场。霍尔器件放置在悬臂梁下方，悬臂梁的变形导致磁性物质的移动，霍尔器件检测到磁场变化，从而反映电流变化。本发明不仅能够测量双线电缆，也能够实现连续有效信号输出。本发明具有检测灵敏度高、稳定输出和适用范围广的优点。
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