一种电喷雾原子层气相沉积制膜装置

    公开(公告)号:CN117702086A

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202311610980.2

    申请日:2023-11-29

    Inventor: 刘忠伟 桑利军

    Abstract: 本发明为一种电喷雾原子层气相沉积制膜装置,装置包括从左至右依次设置的:带外套筒的电喷雾毛细管构成的电喷雾电极、中心带有方形通孔的电极板、由相对设置的高压电极与地电极构成的离子筛选区、相对设置的离子偏转/检测板和沉积板;于电极板与离子筛选区之间相间隔的间隙外侧设置有辐射加热源,用于为电极板与离子筛选区之间的区域加热;位于离子筛选区远离电极板一侧的沉积板可沿X轴方向往复运动或平行于Z轴的转轴转动。本发明是将高场非对称波形离子迁移谱在常压下对不同尺寸离子的分类筛选功能,解决不同粒径金属离子共沉积、难以获得单一性能金属膜的问题。

    一种镍基负载型催化剂及其制备方法和应用、二氧化碳甲烷化的方法

    公开(公告)号:CN119746898A

    公开(公告)日:2025-04-04

    申请号:CN202510087968.0

    申请日:2025-01-21

    Abstract: 本发明提供了一种镍基负载型催化剂及其制备方法和应用、二氧化碳甲烷化的方法,属于催化剂技术领域。本发明提供的镍基负载型催化剂,包括载体和负载在所述载体表面及孔道内的氧化镍;所述载体包括碳酸盐和/或柠檬酸盐。本发明以碳酸盐和/或柠檬酸盐作为载体,采用溶液燃烧法合成镍基负载型催化剂,具有更大的比表面积、更小的颗粒尺寸,以及氧化镍和载体之间具有更强的相互结合作用,具有优异的稳定性,能够实现长期在低温条件下催化CO2甲烷化。本发明通过将镍基负载型催化剂和低温等离子体结合,能够实现常温常压下催化CO2甲烷化,且具有较高的CO2转化率和CH4选择性。

    具有磁场增强旋转阵列电极的等离子体装置

    公开(公告)号:CN103643221A

    公开(公告)日:2014-03-19

    申请号:CN201310418810.4

    申请日:2013-09-14

    Abstract: 具有磁场增强旋转阵列电极的等离子体装置属于等离子体物理基础和应用领域。其特征在于包括:真空室、放电系统、卷绕系统;其中放电系统、卷绕系统均装在真空室内;放电系统包括旋转阵列电极(2-1)、射频或高频电源(2-2)、绝缘块和等离子体(2-4);射频或高频电源(2-2)的两输出端分别连接到旋转阵列电极端部,绝缘块(2-3)使旋转阵列电极(2-1)和真空室(1-1)电隔离;外磁体位于旋转电极辊上方或下方,和内磁体构成一个闭合磁回路,约束放电产生的等离子体。本发明实现对电极阵列放电,阵列电极同时也是柔性基体旋转辊,提高等离子体的密度、增加放电稳定性、排除旋转阵列电极之间放电干扰、减少沉积薄膜对真空室的污染。

    一种高附着力镀铝膜
    14.
    实用新型

    公开(公告)号:CN206188874U

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201621265699.5

    申请日:2016-11-22

    Abstract: 本实用新型公开了一种高附着力镀铝膜,属于柔性包装薄膜材料制备技术领域。一种高附着力镀铝膜,包括镀膜基材和最外层的镀铝层,在镀膜基材和最外层的镀铝层之间有金属缓冲层,金属缓冲层的厚度为5‑50nm,镀铝层的厚度为10‑200nm。镀膜基材选自聚酯、聚乙烯、聚丙烯、双向拉伸聚丙烯,金属缓冲层选自铝、铜、铬、钛、铁或这些金属的合金。金属缓冲层通过磁控溅射制备;镀铝层可以通过电阻法蒸发、电子束法蒸发、高频感应蒸发或磁控溅射制备,采用磁控溅射制备时可以和金属缓冲层在同一套装置中完成。本实用新型可极大地增强镀铝膜的附着性能,可获得附着力在10N/15mm以上的高附着性能镀铝膜,产品附加值高。

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