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公开(公告)号：CN103415134A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201310303182.5
申请日：2013-07-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: H05H1/46
Abstract: 双源ECR等离子体源装置，从而为空间等离子体探测器提供准确可靠的数据，保证量值传递的准确，保证探测器在型号上的成功应用。其特征在于，包括真空容器，沿所述真空容器的壳体边部对称设置两个微波放电等离子体源，所述微波放电等离子体源为基于微波电子回旋共振技术ECR的微波ECR等离子体源。
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公开(公告)号：CN103175634A
公开(公告)日：2013-06-26
申请号：CN201310048162.8
申请日：2013-02-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01K15/00
Abstract: TDLAS温度校准系统，用于实现对TDLAS温度测量的校准，其特征在于，包括标准传感器温度测量系统和被校准的在真空环境下测量气体温度的TDLAS温度测量系统，所述TDLAS温度测量系统中的光学系统位于恒温槽中，所述光学系统的壳体与所述恒温槽周壁之间具有恒温液，所述标准传感器温度测量系统中的标准传感器位于所述恒温液内。
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公开(公告)号：CN103134773A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201310048774.7
申请日：2013-02-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N21/39
Abstract: TDLAS温度测量与校准用真空腔，其特征在于，包括通过透射镜片隔开的上真空室和下真空室，所述下真空室的底部设置有反射镜片，所述下真空室的侧壁分别设置有试验气体充气口和真空获得系统接口，所述试验气体充气口连接第二充气阀，所述真空获得系统接口连接第二隔断阀，所述上真空室分别内设有准直器安装架和光电探测器安装架，所述上真空室的侧壁分别设置有光纤引入口、抽真空口和氩气充气口。
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公开(公告)号：CN103090995A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201310047501.0
申请日：2013-02-06
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01K15/00
Abstract: 真空环境下温度比对试验系统，所述计量系统有利于通过真空环境下的标准温度传感器对被检的真空环境下温度传感器进行计量，其特征在于，包括均温真空室，所述均温真空室分别连接缓冲真空室和稳压配气室，所述缓冲真空室通过过渡真空室连接分子泵，所述缓冲真空室、所述稳压配气室和所述分子泵各自通过预抽管路连接机械泵。
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公开(公告)号：CN102539019A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210001769.6
申请日：2012-01-05
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01K15/00
Abstract: 空间真空环境下的温度测量与校准平台，有利于实现接触式测温与非接触式测温的同时校准，从而服务于卫星、飞船等航天器的热真空、热平衡试验包括恒温槽，所述恒温槽内设置有双子真空腔，所述双子真空腔包括第1真空腔体和第2真空腔体，所述第1真空腔体和第2真空腔体通过三通连接真空抽取装置，所述第1真空腔体的外壁上和所述第2真空腔体的外壁上均设置有标准温度计传感器，所述标准温度计传感器连接温度二次仪表；所述第1真空腔体的真空腔中设置有激光光路反射装置，用于校准基于可调谐二极管激光吸收光谱技术的非接触式测温系统；所述第2真空腔体的真空腔用于容纳温度传感器，以校准采用所述温度传感器的接触式测温系统。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118647122A
公开(公告)日：2024-09-13
申请号：CN202410877287.X
申请日：2024-07-02
Applicant: 北京东方计量测试研究所 , 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种基于通道壁面温度的霍尔推进器在轨推力调节装置及方法，属于航天等离子体推进技术领域，于在地和在轨条件分别为霍尔推进器搭建通道壁面温度调节装置；在地实验阶段，调节不同工况的参数，获得霍尔推进器通道外壁的壁面温度、羽流区域的电子温度和电子密度；并建立映射数据库，在轨实验阶段，星载霍尔推进器运行稳定时，在不同工况下，获得星载霍尔推进器通道外壁的壁面温度、羽流区域的电子温度和电子密度；通过改变星载霍尔推进器的电压、励磁电流与气流，进行推力的在轨调节；结合的电子温度和电子密度计算推力进行验证，保证推力的准确性。
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公开(公告)号：CN118130375A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410220231.7
申请日：2024-02-28
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明属于等离子体光谱诊断测试领域，具体涉及沉积反应基团的多光谱综合监测装置及方法。将光谱监测装置进行组装与调试；开启机械泵，对PECVD腔室进行抽真空处理；通过气路向PECVD腔室内供入沉积气体SiH4/He,并开启射频电源，电子获得能量，与沉积气体发生碰撞产生活性粒子，沉积到硅基样片表面完镀膜；关闭射频电源；硅基样片在等离子体作用下已经在PECVD腔室完成镀膜沉积后，将其转移至成分监测腔室，以进行薄膜成分分析；空心阴极发射电子轰击已沉积的硅基样片，使用光纤探头监测硅基样品表面发光区域；将监测到的进入光谱仪分光后由探测器成像，由工控机读出数据。实现光谱监测方法对等离子增强化学气相沉积工艺中非晶氢化硅薄膜组分的监测。
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公开(公告)号：CN117423600B
公开(公告)日：2024-04-23
申请号：CN202311743393.0
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 一种氟碳化合物等离子体基团空间分布监测装置及方法，涉及半导体工业等离子体光谱诊断测试技术领域，装置包括：包括真空腔室、光纤阵列、凸透镜、凹透镜、分光棱镜、两个反应镜、三个滤波片以及三个工业相机；所述光纤阵列、凸透镜、凹透镜以及分光棱镜同轴设置，所述光纤阵列的探测方向垂直于所述真空腔室内的等离子区域；两个所述反应镜分别设置于所述分光棱镜的两侧，第一反应镜、第一滤波片、第一工业相机同轴设置，所述分光棱镜、第二滤波片、第二工业相机同轴设置，第二反应镜、第三滤波片、第三工业相机同轴设置；该装置及方法可以同时获得氟碳化合物等离子体基团在等离子体区域空间位置的绝对浓度，具有原位、同时性、无侵扰的特点。
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公开(公告)号：CN117451238B
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202311743364.4
申请日：2023-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 一种基于神经网络的推进器推力波动在轨光学检测方法及装置，涉及电推进技术领域，方法包括：将所述原子光与各价离子光数据和所述基于推力架获得的推进器推力输入发散角修正系数循环神经网络，得到羽流发散角修正系数；根据所述羽流发散角修正系数构建推力循环神经网络，将预先测得的电压电流噪声特性和所述在轨电压和在轨电流输入所述推力循环神经网络，得到未修正推力；将预先测得的响应时间间隔内的卫星动量差以及所述未修正推力输入天地修正循环神经网络，得到天地修正系数，并根据所述天地修正系数对所述未修正推力进行修正得到实时推力；该方法结合循环神经网络计算得出实时推力变化，具有实时性高、高精度、对推力器羽流没有影响的优势。
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公开(公告)号：CN117664792A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202410128868.3
申请日：2024-01-31
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及电推进技术领域，具体涉及一种三维密度分布的断层成像重建装置及方法；该成像重建装置包括真空罐，真空罐内设有滑道；固定板，设于滑道上，且在固定板上设有推力器，推力器用于提供定向羽流等离子体；羽流数据采集装置，设于移动机构上，羽流数据采集装置用于采集定向羽流等离子体信息，羽流数据采集装置包括壳体和支撑结构、相机放置槽、以及遮挡结构，支撑结构设于壳体内，支撑结构上设有拍摄口，拍摄口内设有滤波片，相机放置槽对应拍摄口设置，拍摄口与壳体上的通孔对应设置，且相机放置槽朝向推力器设置，遮挡结构设于支撑结构上，并用于遮挡拍摄口。该成像重建装置，记录形式直观、直接获得羽流二维图像数据。
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