-
公开(公告)号：CN116897289A
公开(公告)日：2023-10-17
申请号：CN202180094650.5
申请日：2021-08-31
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: G01R31/26
Abstract: 在经排列的多个半导体发光元件中与各电极的配置偏移无关地一并进行通电检查并分选通电不良的半导体发光元件。一种通电检查装置，其特征在于，具备：保持板，与多个半导体发光元件在厚度方向上对向设置；接合层，沿着保持板的对向面设置且在厚度方向上可弹性变形；多个半导体发光元件，经由接合层装卸自如地保持于保持板的对向面；通电夹具，与多个半导体发光元件的电极在厚度方向上对向设置；驱动部，使保持板或通电夹具中的任一者或两者向厚度方向相对地靠近移动；及控制部，对通电夹具及驱动部进行动作控制，通电夹具具有：多个导电部，朝向多个半导体发光元件的电极向厚度方向突出；及通电检查电路部，与多个导电部电连接，控制部通过驱动部的靠近移动，朝向多个半导体发光元件的电极，在厚度方向上对多个导电部进行加压，将多个半导体发光元件的电极与多个导电部接合，通过通电夹具的多个导电部及通电检查电路部的动作，从多个导电部对电极进行通电。
-
公开(公告)号：CN102649336B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201110305214.6
申请日：2011-09-30
Applicant: 信越工程株式会社
Inventor： 大谷义和
Abstract: 本发明提供一种工件粘附卡盘装置及工件贴合机，其容易构成粘附部件与剥离部件的单元化的同时，提高剥离性能。本发明中，将剥离部件(2)的安装凸部(2c)以无法向变形部(2a)的变形方向移动的方式夹入支承部件(3)的侧面(3b)与环状部件(4)的卡止凹部(4a)之间，并且将粘附部件(1)与变形部(2a)的外边邻接而安装于环状部件(4)的安装面(4b)，从而通过环状部件(4)被一体地组装剥离部件(2)、支承部件(3)及粘附部件(1)。而且，由于变形部(2a)和粘附面(1a)相互邻接而非常靠近地配置，因此在通过变形部(2a)的变形来剥离被粘附保持于粘附面(1a)的板状工件(W)时，可以得到较大的剥离力，且剥离时在板状工件(W)中产生的挠曲被抑制到最小限度。
-
公开(公告)号：CN104937652A
公开(公告)日：2015-09-23
申请号：CN201380070869.7
申请日：2013-12-04
Applicant: 信越工程株式会社
Inventor： 大谷义和
IPC: G09F9/00 , H01L21/02 , H01L21/677
CPC classification number: H01L21/67092 , H01L21/67126
Abstract: 本发明提供一种在变压室或贯穿孔与交接部件之间不使用密封部件就能够使交接部件无接触且无限制地移动的密封结构。本发明中，向变压室(1)搬入工件时，通过控制部(7)使闭锁部件(6)进行打开移动，从而使变压室(1)的贯穿孔(12)开口，由此交接部件(5)变得能够移动，以交接部件(5)接收第一工件(W1)或第二工件(W2)中的任意一方或双方，并且从交接部件(5)交接到第一保持部件(2)或第二保持部件(3)中的任意一方或双方。之后，通过控制部(7)从变压室(1)的贯穿孔(12)拔出交接部件(5)之后，闭锁部件(6)进行关闭移动而使贯穿孔(12)以气密状闭锁，由此能够将变压室(1)减压至成为高度真空状态，第一工件(W1)与第二工件(W2)被贴合。
-
公开(公告)号：CN104919189A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201280077979.1
申请日：2012-12-25
CPC classification number: F15B15/10 , F15B15/149 , G02F1/1303
Abstract: 本发明提供一种以非接触状态无径向振摆地驱动可动件的驱动器及粘附卡盘装置。本发明的驱动器中，向内外以同心状配置具有蛇纹部(11a、11a′)的多个金属波纹管(11、11′)作为伸缩部(10)，通过使金属波纹管(11、11′)伸缩变形，从而金属波纹管(11、11′)的蛇纹部(11a、11a′)将各自的内周端(11b、11b′)及外周端(11c、11c′)相互交替固定而伸缩部(10)整体全然不会向伸缩变形方向即Z方向以外的XYθ方向变形，因此可动件(40)经由遍及金属波纹管(11、11′)的一端而设置的升降部(20)在伸缩部(10)的中心空间(12)及底座部(30)的通孔(31)内向伸缩变形方向即Z方向以外的XYθ方向无径向振摆地往复移动。
-
公开(公告)号：CN103623972A
公开(公告)日：2014-03-12
申请号：CN201310368612.1
申请日：2013-08-22
Applicant: 信越工程株式会社
Inventor： 大谷义和
Abstract: 本发明提供一种流体涂布装置，其能够相对于第一分割头及第二分割头轻松地装卸垫片且高精度地进行对位而安装。本发明的流体涂布装置在第一分割头（1）和第二分割头（2）分离移动以便插入空间（S）比垫片（3）的厚度更宽的状态下，朝向插入空间（S）插入垫片（3），由此垫片（3）的表背两面（3a、3b）不与第一分割头（1）及第二分割头（2）的对置面（1a、2a）接触而被夹入。与此同时，使被设置于垫片（3）上的第一限位器（5）与第一分割头（1）或第二分割头（2）中的任意一方或者双方接触，由此凹部（3c）向垫片（3）的插入方向被定位。并且插入垫片（3）之后，使第一分割头（1）及第二分割头（2）接近移动以便插入空间（S）与垫片（3）的厚度成为相同尺寸，由此使第一分割头（1）及第二分割头（2）的对置面（1a、2a）分别与垫片（3）的表背两面（3a、3b）密接，垫片（3）向其厚度方向被定位。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102649336A
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN201110305214.6
申请日：2011-09-30
Applicant: 信越工程株式会社
Inventor： 大谷义和
Abstract: 本发明提供一种工作粘附卡盘装置及工件贴合机，其容易构成粘附部件与剥离部件的单元化的同时，提高剥离性能。本发明中，将剥离部件(2)的安装凸部(2c)以无法向变形部(2a)的变形方向移动的方式夹入支承部件(3)的侧面(3b)与环状部件(4)的卡止凹部(4a)之间，并且将粘附部件(1)与变形部(2a)的外边邻接而安装于环状部件(4)的安装面(4b)，从而通过环状部件(4)被一体地组装剥离部件(2)、支承部件(3)及粘附部件(1)。而且，由于变形部(2a)和粘附面(1a)相互邻接而非常靠近地配置，因此在通过变形部(2a)的变形来剥离被粘附保持于粘附面(1a)的板状工件(W)时，可以得到较大的剥离力，且剥离时在板状工件(W)中产生的挠曲被抑制到最小限度。
-
公开(公告)号：CN101379606B
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN200780000138.X
申请日：2007-01-31
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: H01L21/683 , B65G49/06
CPC classification number: B65G49/069 , B65G2249/045 , G02F1/1303 , H01L21/67092 , H01L21/67132
Abstract: 通过配置粘接部件(2)使得每单位面积的粘接力向伴随剥离装置(3)的工作的工件(A)相对粘接部件(2)的剥离进行方向增加，从而伴随剥离装置(3)的工作以较小的剥离力从粘接部件(2)开始剥离工件(A)，其剥离顺利进行，并向与该剥离进行方向不同的方向进行剥离时，需要比由该剥离装置(3)的工作的剥离力远远大的力。因此，可以向由剥离装置的剥离进行方向容易剥离工件。
-
公开(公告)号：CN100533513C
公开(公告)日：2009-08-26
申请号：CN200580023347.7
申请日：2005-09-28
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: G09F9/00 , G02F1/1333
CPC classification number: H01L21/6875 , G02F1/136277 , H01J2209/00 , H01L21/68757
Abstract: 本发明提供一种基板保持结构，即使作为弹性材料使用橡胶时也能够达到所要求的保持面侧的平面度。在保持面(1)上分散地凹入设置多个空隙部(2)，将这些空隙部(2)的开口分别用固定板(3)覆盖，在各固定板(3)的大致中央，朝向基板(D)突出而安装比上述空隙部(2)的开口还小的由弹性材料构成的平面承接板(4)，使这些两者成为一体，通过使如此分散配置的平面承接板(4)分别抵接在基板(D)上以平坦状进行平面承接并进行保持，从而，在由弹性材料构成的平面承接板(4)的厚度尺寸上发生偏差时，随着厚度尺寸大的平面承接板(4′)与基板(D)接触，其固定板(3)或该平面承接板(4′)朝向空隙部(2)弹性变形，使该弹性变形逃脱到空隙部(2)，由此，厚度尺寸大的平面承接板(4′)沉入到空隙部(2)侧，从而与其他的平面承接板(4)形成平坦化。
-
公开(公告)号：CN101379606A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200780000138.X
申请日：2007-01-31
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: H01L21/683 , B65G49/06
CPC classification number: B65G49/069 , B65G2249/045 , G02F1/1303 , H01L21/67092 , H01L21/67132
Abstract: 通过配置粘接部件(2)使得每单位面积的粘接力向伴随剥离装置(3)的作动的工件(A)相对粘接部件(2)的剥离进行方向增加，从而伴随剥离装置(3)的作动以较小的剥离力从粘接部件(2)开始剥离工件(A)，其剥离顺利进行，并向与该剥离进行方向不同的方向进行剥离时，需要比由该剥离装置(3)的作动的剥离力远远大的力。因此，可以向由剥离装置的剥离进行方向容易剥离工件。
-
公开(公告)号：CN100447622C
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：CN200580023277.5
申请日：2005-09-28
Applicant: 信越工程株式会社
IPC: G02F1/1333 , G09F9/00
CPC classification number: G02F1/1333
Abstract: 一种粘结卡盘装置，通过简单结构的气动机构确实地装卸基板。在保持板(1)的基板侧设有可动膜(3)和粘结部件(4)，该可动膜(3)在开设于该基板侧面(1a)的开口部(1b)内可向与该基板侧面(1a)交叉的方向变形，该粘结构部件(4)与基板(A)相向地进行粘结保持，通过上述可动膜(3)的一次侧空间(5)和二次侧空间(S)的压力差使该可动膜(3)往复移动，由此粘结部件(4)的粘结表面(4a)和基板(A)抵接而粘结保持，同时，通过强制拉开这两者，可不费力地将基板(A)从粘结部件(4)的粘结表面(4a)剥离。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
62
records
(took 0.039 seconds)
