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公开(公告)号：CN108732868A
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201810340335.6
申请日：2018-04-17
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F7/023 , C08G8/28 , C23C18/1601 , C25D3/02 , G03F7/022 , G03F7/0233 , G03F7/0236 , G03F7/16 , G03F7/168 , G03F7/2004 , G03F7/322 , G03F7/38 , G03F7/40 , G03F7/0392 , G03F7/004
Abstract: 本发明为正型抗蚀剂膜层合体和图案形成方法。提供了包括热塑性膜和正型抗蚀剂膜的层合体，所述正型抗蚀剂膜包括(A)酚醛清漆树脂-萘醌二叠氮化物(NQD)系树脂组合物，(B)聚酯和(C)3-30重量％的有机溶剂。可以将所述抗蚀剂膜转印至有阶梯的支持体而不形成空隙。
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公开(公告)号：CN108459469A
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201810153834.4
申请日：2018-02-22
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: G03F7/039
Abstract: 本发明为图案形成方法。通过以下形成图案：(i)将包括(A)基础树脂、(B)光致产酸剂、(C)有机溶剂和(D)聚乙烯醇或聚乙烯基烷基醚的化学增幅正型抗蚀剂组合物施加至基板上以在其上形成抗蚀剂膜，(ii)将抗蚀剂膜曝光至辐射，和(iii)采用含氧气的气体干法蚀刻抗蚀剂膜以显影。使用所述化学增幅正型抗蚀剂组合物，经由干法显影形成正型图案而不需要硅烷化。
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公开(公告)号：CN115885217A
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202180040680.8
申请日：2021-05-14
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明提供负型抗蚀剂膜层叠体，其具备作为第一支承体的热塑性膜和负型抗蚀剂膜，其中，所述负型抗蚀剂膜包含：(A)具有酚羟基的碱可溶性树脂、(B)包含聚酯的增塑剂、(C)光致产酸剂、(D)在1分子中包含平均4个以上的环氧基的环氧化合物、和(E)苯并三唑化合物和/或咪唑化合物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114600045A
公开(公告)日：2022-06-07
申请号：CN202080073517.7
申请日：2020-09-24
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 提供感光性树脂组合物，其包含：(A)包含由下述式(A1)表示的重复单元、和选自由下述式(A2)表示的重复单元及由下述式(A3)表示的重复单元中的至少1种的聚合物、(B)在1分子中平均包含4个以上的环氧基的环氧化合物、(C)光致产酸剂、(D)苯并三唑化合物和/或咪唑化合物、和(E)有机溶剂。
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公开(公告)号：CN106444288B
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN201610632599.X
申请日：2016-08-04
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明为化学增幅型正型抗蚀剂组合物和图案形成方法，本发明提供了化学增幅型正型抗蚀剂组合物，其包括(A)在酸作用下适应于变得可溶于碱性水溶液中的聚合物，(B)光致产酸剂，(C)羧酸和(D)苯并三唑化合物和/或咪唑化合物。当将所述抗蚀剂组合物以5‑250μm厚的厚膜涂布至铜基材上并以光刻法加工成图案时，可获得高分辨率且所述图案具有矩形轮廓。
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公开(公告)号：CN105301905B
公开(公告)日：2020-11-20
申请号：CN201510321122.5
申请日：2015-06-09
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 提供化学放大正型抗蚀剂组合物，其包含在溶剂中的具有酸不稳定基团保护的酸性官能团的基本上碱不溶的聚合物、具有1,000‑500,000Mw的聚(甲基)丙烯酸酯聚合物、产酸剂。该组合物在基材上形成5‑100μm厚的抗蚀剂膜，其可短时显影而在高感光度并且高度的除去或溶解到底部下形成图案。
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公开(公告)号：CN106444288A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610632599.X
申请日：2016-08-04
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0395 , C23C18/1605 , C25D5/022 , G03F7/092 , G03F7/168 , G03F7/2037 , G03F7/32 , G03F7/38 , G03F7/405 , G03F7/039 , G03F7/004 , G03F7/40
Abstract: 本发明为化学增幅型正型抗蚀剂组合物和图案形成方法，本发明提供了化学增幅型正型抗蚀剂组合物，其包括(A)在酸作用下适应于变得可溶于碱性水溶液中的聚合物，(B)光致产酸剂，(C)羧酸和(D)苯并三唑化合物和/或咪唑化合物。当将所述抗蚀剂组合物以5-250μm厚的厚膜涂布至铜基材上并以光刻法加工成图案时，可获得高分辨率且所述图案具有矩形轮廓。
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公开(公告)号：CN105301905A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201510321122.5
申请日：2015-06-09
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 提供化学放大正型抗蚀剂组合物，其包含在溶剂中的具有酸不稳定基团保护的酸性官能团的基本上碱不溶的聚合物、具有1,000-500,000Mw的聚(甲基)丙烯酸酯聚合物、产酸剂。该组合物在基材上形成5-100μm厚的抗蚀剂膜，其可短时显影而在高感光度并且高度的除去或溶解到底部下形成图案。
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