III族氮化物半导体激光元件

    公开(公告)号:CN103620895A

    公开(公告)日:2014-03-05

    申请号:CN201280029797.7

    申请日:2012-07-18

    Abstract: 在具有在包含开口的电流限制层上再生长有p型包覆层的结构的III族氮化物半导体激光元件中,减小由存在于半极性的再生长界面的n型杂质引起的影响。半导体激光元件(10)具有n型半导体区域(14)、活性层(16)、第一p型半导体区域(18)、电流限制层(20)以及第二p型半导体区域(22)。第二p型半导体区域(22)是在形成电流限制层(20)的开口(20a)之后再生长在第一p型半导体区域(18)上和电流限制层(20)上的区域。第一p型半导体区域(18)中的与第二p型半导体区域(22)的界面包含III族氮化物半导体的半极性面。第一p型半导体区域(18)具有构成第一p型半导体区域(18)与第二p型半导体区域(22)之间的界面且具有1×1020cm-3以上的p型杂质浓度的高浓度p型半导体层(18c)。

    化合物半导体器件
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102687293A

    公开(公告)日:2012-09-19

    申请号:CN201080050469.6

    申请日:2010-10-25

    CPC classification number: H01L33/40 H01L33/32 H01L33/34

    Abstract: 提供了与电极的接触电阻下降的化合物半导体器件。所述化合物半导体器件包含:包含六方晶系化合物半导体GaN且具有表面S1和S2的n衬底3;形成在所述n衬底3的所述表面S1上的n电极13;具有形成在所述n衬底3的所述表面S2上的n覆盖层5、有源层7、p覆盖层9和接触层11的层叠体;和形成在所述p覆盖层9上的p电极15。在所述n衬底3的所述表面S1上包含的N原子的数目大于在所述表面S1上包含的Ga原子的数目。在所述表面S1上形成的电极为n电极13。所述表面S1的氧浓度为5原子%以下。在所述接触层11的所述表面S3上包含的Ga原子的数目大于在所述表面S3上包含的N原子的数目。在所述表面S3上形成的电极为p电极15。所述表面S3的氧浓度为5原子%以下。

    制作半导体发光元件的方法

    公开(公告)号:CN102549781A

    公开(公告)日:2012-07-04

    申请号:CN201080043799.2

    申请日:2010-09-22

    Abstract: 本发明提供一种可将活性层的压电极化的朝向选择为适宜方向的制作半导体发光元件的方法。在步骤S104中,一面对基板产物施加偏压,一面进行基板产物的光致发光的测定,而获得基板产物的光致发光的偏压依赖性,该基板产物通过以所选择的一个或多个倾斜角生长用于发光层的量子阱构造、p型及n型氮化镓系半导体层而形成。在步骤S105中,根据偏压依赖性进行基板主面的所选择的各倾斜角各自在发光层的压电极化的朝向的预测。在步骤S106中,基于预测而判断应使用与基板主面对应的倾斜角及与基板主面的背面对应的倾斜角的哪一个,从而选择用以制作半导体发光元件的生长基板的面取向。将用于半导体发光元件的半导体叠层形成于生长基板的主面上。

    半导体元件及制作半导体元件的方法

    公开(公告)号:CN102414848A

    公开(公告)日:2012-04-11

    申请号:CN201080018398.1

    申请日:2010-11-15

    CPC classification number: H01L33/40 H01L33/16 H01L33/32

    Abstract: 本发明提供半导体元件,在相对c面倾斜的p型主面中具有良好的欧姆接触。p型半导体区域(13)的主面(13a)沿相对于该六方晶系III族氮化物的c轴( 轴)倾斜的平面延伸。金属层(15)设置于p型半导体区域(13)的主面(13a)上。金属层(15)与p型半导体区域(13)以形成界面(17)的方式层积而构成非合金电极。六方晶系III族氮化物含有镓作为III族构成元素,因此由六方晶系III族氮化物构成的主面(13a)比六方晶系III族氮化物的c面更易被氧化。金属层(15)与p型半导体区域(13)以形成界面(17)的方式层积而构成非合金电极。避免形成用作电极的金属层(15)后的合金化引起的氧化物增加。

    光模块
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119171175A

    公开(公告)日:2024-12-20

    申请号:CN202410752134.2

    申请日:2024-06-12

    Abstract: 本公开提供一种能以低电力消耗将光半导体元件的温度保持于规定的范围内的光模块。一种光模块,具备:温度缓冲构件,具有第一面和与所述第一面相对的第二面;光半导体元件,连接于所述第一面,该光半导体元件自发热;以及散热构件,连接于所述第二面,所述温度缓冲构件由导热系数以相变温度为界发生变化的相变材料构成。

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