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公开(公告)号:CN110174054B
公开(公告)日:2020-12-11
申请号:CN201910479875.7
申请日:2019-06-04
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明公开的一种高稳定性四光程激光干涉测量系统,属于几何量计量技术领域。本发明主要包括稳频激光器、第一λ/2波片、小偏振分光镜、直角棱镜、第二λ/2波片、第一大偏振分光镜、第一λ/4波片、试样、第二λ/4波片、第二大偏振分光镜、大角锥棱镜、第一平面反射镜、第二平面反射镜、小角锥棱镜、偏振片和光电接收器。光束在干涉仪的测量臂中往返四次,使测量系统的光学分辨力由通常单光程干涉测量系统的λ/2提高到λ/8,同时,所述测量系统还具有准共光路式光学系统结构,即测量光束与参考光束的传播路径相似,光程差主要由被测试样的长度引起,因此,测量系统具有良好的抗干扰能力。本发明能够用于低膨胀材料线膨胀系数测量等微小尺寸变化的高精度测量。
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公开(公告)号:CN108007392A
公开(公告)日:2018-05-08
申请号:CN201711306080.3
申请日:2017-12-11
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种动态光电显微镜瞄准信号光调制校准方法及装置,属于光电测量技术领域。方法为:可调控的钟形波电信号加载于发光电子器件之上产生信号光;信号光分为相同的两路,一路信号光经转换变成电信号并传输给上位机;另一路信号光传输给动态光电显微镜,动态光电显微镜输出电信号传输给上位机;两路电信号进行对比,即实现校准。装置包括控制及信息处理模块,调频控制模块,光学输出模块,光学接收模块,动态光电显微镜(校准对象)。用于解决现有动态光电显微镜的瞄准触发动态校准问题,具有较好的适应性和同步测量瞄准测量的评价能力,可以在稳定位置结构的条件下,完成动态光电显微镜瞄准触发信号的动态特性校准。
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公开(公告)号:CN104697427A
公开(公告)日:2015-06-10
申请号:CN201510003647.4
申请日:2015-01-05
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01B7/02
Abstract: 本发明属于精密测量领域,具体涉及一种由多个线圈组成的差动变压器式电感位移传感器。由线圈组(1)、移动磁芯(2)、磁套(3)、非导磁输出杆(4)和位移粗测系统组成。线圈组(1)由多个参数完全一致的漆包线圈组成;位移粗测系统的作用是对移动磁芯(2)的位置进行粗测,作为切换线圈组(1)中相应线圈的依据。位移粗测系统得到移动磁芯(2)所处的大致位置,选择临近的线圈作为主线圈和副线圈,形成一个电感位移传感器。改变主线圈与副线圈的位置,在不同的位置形成差动变压器式电感位移传感器,就可以延长电感位移传感器的测量范围。这种结构即保留电感传感器的高精度优点,也克服了其工作范围较小的缺点。
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公开(公告)号:CN104266593A
公开(公告)日:2015-01-07
申请号:CN201410569205.1
申请日:2014-10-22
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01B11/02
Abstract: 本发明涉及一种采用双可调激光源法布里-珀罗干涉仪的微位移测量系统,属于几何量计量技术领域。本发明采用两套以波长可调激光为光源的法布里-珀罗干涉仪对被测目标的位移进行测量,通过用两个可调光源对法布里-珀罗腔不同谐振模态的频率进行交替跟踪,在保持法布里-珀罗干涉仪高测量分辨力的同时,实现了位移测量范围的扩大。该系统有效地解决了提高干涉仪测量分辨力和扩大测量范围之间的矛盾,可以应用于纳米级准确度微位移测量。
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公开(公告)号:CN103676725A
公开(公告)日:2014-03-26
申请号:CN201310590542.4
申请日:2013-11-20
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G05B19/042
Abstract: 本发明涉及一种防上电冲击的高压压电陶瓷控制器,属于运动控制领域。本发明包括通讯接口、中央处理器、数模转换器、高压放大器、防上电冲击电路、高压输出端。中央处理器通过通讯接口实现与上位机通讯;数模转换器输出指定的控制电压,经高压放大器放大后进入防上电冲击电路,在高压输出端驱动压电陶瓷致动器;防上电冲击电路的核心是耐高压单刀双掷继电器,常闭触点连接电源地,常开触点连接高压放大器输出,静触点连接高压输出端;中央处理器通过驱动继电器的线圈切换触点,从而控制高压输出。防上电冲击电路能够滤除控制器上电过程中的误动作信号,可以避免对被控对象的冲击,从而提高系统的安全性和可靠性。
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公开(公告)号:CN103166500A
公开(公告)日:2013-06-19
申请号:CN201110421723.5
申请日:2011-12-16
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: H02N2/06
Abstract: 本发明涉及一种基于仿生原理的二维精密运动驱动机构,属于几何量计量技术领域。其连接关系为:X向压电陶瓷微位移驱动器与Y向压电陶瓷微位移驱动器通过连接支点连接;X向压电陶瓷微位移驱动器与Y向压电陶瓷微位移驱动器的伸缩方向相互垂直,分别负责X向和Y向的运动;X向压电陶瓷微位移驱动器的另一端与前吸盘连接,Y向压电陶瓷微位移驱动器的另一端与后吸盘连接;运动输出支点固连在后吸盘上;其中,所述磁性吸盘的连接关系为:在吸盘磁路中布置永久磁铁及电磁线圈,电磁线圈缠绕在永久磁铁周围;本发明通过前后两个吸盘将X向压电陶瓷微位移驱动器、Y向压电陶瓷微位移驱动器的运动进行矢量叠加,实现了大范围的二维精确运动。
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公开(公告)号:CN102176139A
公开(公告)日:2011-09-07
申请号:CN201110058421.6
申请日:2011-03-11
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G05B19/414
Abstract: 本发明涉及一种多轴同步运行控制系统,属于几何量计量技术领域。包括光电角度编码器信号处理电路、限位零位信号接收电路、数字信号处理器、USB通信接口电路、控制输出继电器和控制输出电路,其外围设备为多轴支撑的一维变姿态精密运动平台。本发明的一种多轴同步运动控制系统,通过与一维变姿态精密运动平台配合,实现了工作台的高精度、大范围运行,并能够根据指令调整工作台的空间姿态,使运动平台具有几十毫米的平动范围、纳米级的运动分辨率、并具有空间滚动姿态调整功能,具备秒级的姿态调整精度;本发明可以控制一维变姿态精密运动平台恢复到一个事先设定的“零姿态”;解决了上电过程中控制输出电路的输出失控问题。
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公开(公告)号:CN105334611A
公开(公告)日:2016-02-17
申请号:CN201510689245.4
申请日:2015-10-21
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及一种用于二维光电显微镜的H形狭缝,属于精密测量领域,涉及对精密测量装备的改进。H形狭缝由光学玻璃加工而成,遮光区域由不透光材料在光学玻璃上蒸镀形成,通光区域则是将蒸镀材料去除后得到。通光区域由处于同一直线的2个宽度相同的长方形通光孔组成;并且2个长方形通光孔之间的间距大于长方形通光孔的宽度。本发明提出的一种用于二维光电显微镜的H形狭缝的优点是可以屏蔽二维线纹刻线交叉点附近的制造瑕疵对测量结果的干扰,从而提高二维线纹测量精度。
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公开(公告)号:CN103308149B
公开(公告)日:2016-01-13
申请号:CN201310252759.4
申请日:2013-06-24
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
Abstract: 本发明涉及机器视觉同步对焦扫描式激光测振装置,属于冲击与振动的精密测量技术领域。装置由机器视觉测量单元、位置解算及控制单元、扫描调焦控制单元、扫描激光测振光学组件、干涉信号解调单元、控制及信息处理单元组成;该装置同步对焦由机器视觉测量单元完成,实现测量空间坐标与扫描式激光测振仪的焦距信息关联管理。本发明结构简单,操作方便,便于测量及控制,能够有效提高冲击振动测量精度,通过机器视觉测量单元实现同步对焦,提高了扫描测振的测量速度与准确度。
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公开(公告)号:CN103308151B
公开(公告)日:2015-01-07
申请号:CN201310253022.4
申请日:2013-06-24
Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
IPC: G01H9/00
Abstract: 本发明涉及一种外差式激光测振装置及方法,属于光电测量技术领域。使用本发明的装置获得频率已经平移到无线电频率范围的振动激光多普勒信号波形;使用波形数据采集系统采集振动激光多普勒信号波形数据序列;在波形采集序列前缘截取一个载波周期的波形段;对该波形段进行正弦拟合,获得拟合正弦波的瞬时频率将波形段平移滑动一个采样点,进行正弦拟合,获得拟合正弦波的瞬时频率重复执行该滑动拟合过程,直至数据序列终点。
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