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公开(公告)号：CN112009728A
公开(公告)日：2020-12-01
申请号：CN201910453005.2
申请日：2019-05-28
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: B64G1/28
Abstract: 本发明提供一种感应式磁悬浮动量球装置，包括：球形转子；布置在球形转子外的多个转矩组件，用于产生旋转磁场；连接于多个转矩组件之间的多个悬浮组件，悬浮组件与转矩组件相互间隔设置，并形成两个或两个以上的相交的闭合回路；以及控制器。上述感应式磁悬浮动量球装置，由转矩组件和悬浮组件形成两个或两个以上的相交的闭合回路，该结构简单可靠；且每一闭合回路，使得各转矩组件的边缘位置也能产生有效转矩，且更充分的利用了球形转子表面产生的感应涡流，能增大输出转矩；转矩组件和悬浮组件间隔设置，转矩磁场和磁悬浮磁场作用于不同位置，减小了磁饱和的风险；转矩组件和悬浮组件相对独立，在出现故障时，更易进行维修和更换。
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公开(公告)号：CN111044196A
公开(公告)日：2020-04-21
申请号：CN201911401833.8
申请日：2019-12-30
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明提供直线电机推力测量装置及测量方法。该装置包括直线电机与测试平台；直线电机包含定子与动子，动子固定在第一滑块上，可随第一滑块在第一轨道上相对于定子进行直线运动；测试平台上设置第二轨道，定子固定在第二滑块上，可随第二滑片沿第二轨道滑动；定子两端分别固定设置挡板，挡板与定子端之间设置力传感器，定子被夹在两个力传感器之间，通过两个力传感器探测反作用力，从而获得直线电机的电磁推力。该测量装置结构简单，测量过程中力传感器静止，无需额外的拖链理线、力传感器损耗小，不仅可用于无负载的直线电机电磁推力测量，而且可用于动子上载有负载时的电磁推力测量。
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公开(公告)号：CN106541418B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201510591514.3
申请日：2015-09-16
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: B25J19/00
Abstract: 本发明公开了一种末端执行器和工业机器人。该末端执行器包括气动装置、底板、联动件和至少一台直线电机，直线电机和气动装置安装于底板上，联动件与直线电机和气动装置固定连接，从而联动件能够在气动装置和/或直线电机的带动下运动。该工业机器人包括末端执行器、机械臂、卡盘、切削工具以及传感器，切削工具安装于卡盘上，卡盘与联动件固定连接，传感器设置于切削工具上，以及底板与机械臂的末端固定连接。本发明的末端执行器有效克服了气动系统动态响应差及控制精度低的缺点，提高了整个连续接触性加工过程的稳定性、精确性和可靠性。
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公开(公告)号：CN102936986A
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：CN201210245637.8
申请日：2012-07-17
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种磁浮式门机装置，包括与竖直的墙面固定连接的固定支撑模块、与固定支撑模块滑动连接的移动模块、以及连接在移动模块下侧的移动门，所述固定支撑模块具有一个水平设置朝下的第一移动面，所述移动模块具有一个和第一移动面相向设置的第二移动面，第一移动面上沿移动门的移动方向设有平板式直线电机定子，并在平板式直线电机定子的两侧设有导轨，第二移动面上设有平板式直线电机动子，并在平板式直线电机动子的两侧设有若干滑块，所述滑块可滑动地悬挂于导轨上。本发明机构简单，启动速度快、可抵消移动门的载荷，降低磨损、延长使用寿命，安装精度高。
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公开(公告)号：CN102780314A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201210239288.9
申请日：2012-07-11
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明提供了一种直驱式外转子回转驱动装置，包括支撑体、与支撑体固定连接的绕组定子，以及同轴套接在绕组定子外部、并且相对绕组定子作旋转运动的永磁转子，被驱动转台连接永磁转子并随永磁转子同步旋转。该直驱式回转驱动装置结构简单、成本低，能够提高被驱动台面的平稳性，大大减小被驱动台面的外边缘跳动，而且具有散热好、无磨损、安装调整方便等特点，适用于各类工业自动化设备中。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101944819B
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201010288588.7
申请日：2010-09-16
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: H02K33/18
Abstract: 本发明公开了一种永磁直线往复运动机构，采用固定的运动通道，使相对定子作直线往复运动时，运动轨迹的端部位置保持不变；另一方面，本发明只需适时对上线圈和下线圈施加短时正、负大电流，就能够产生比永磁吸力大得多的电磁推力，因此是一种适用于小行程的大推力永磁直线往复运动机构；另外，本发明结构简单易行，系统的可靠性高，作为本发明的优选，采用弹性部件支撑动子，能够实现无磨损往复直线运动，进一步提高系统寿命与可靠性。
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公开(公告)号：CN101944819A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN201010288588.7
申请日：2010-09-16
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: H02K33/18
Abstract: 本发明公开了一种永磁直线往复运动机构，采用固定的运动通道，使相对定子作直线往复运动时，运动轨迹的端部位置保持不变；另一方面，本发明只需适时对上线圈和下线圈施加短时正、负大电流，就能够产生比永磁吸力大得多的电磁推力，因此是一种适用于小行程的大推力永磁直线往复运动机构；另外，本发明结构简单易行，系统的可靠性高，作为本发明的优选，采用弹性部件支撑动子，能够实现无磨损往复直线运动，进一步提高系统寿命与可靠性。
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公开(公告)号：CN118507413B
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202410949016.0
申请日：2024-07-16
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: H01L21/68 , H01L21/687
Abstract: 本发明提供了一种用于晶圆精密定位的三自由度平面柔性机构及微动台，属于半导体制造装备技术领域，包括：动子，动子包括转动部以及平动部，转动部的内部设置有第一中空区域，平动部的内部设置有第二中空区域，平动部设置于第一中空区域内；定子设置于第二中空区域内；平动驱动单元设置于定子的外缘并与平动部的内缘连接，平动驱动单元的数量为四个并且呈中心对称设置；转动驱动单元，转动驱动单元设置于平动部并与转动部连接，转动驱动单元的数量为两个并且呈对称设置；本发明的有益效果为：提供了一种三轴运动解耦的平面柔性机构，且本机构采用了外动子设计可以承载大尺寸晶圆进行定位作业。
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公开(公告)号：CN118952067A
公开(公告)日：2024-11-15
申请号：CN202410889076.8
申请日：2024-07-04
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
IPC: B25B11/00
Abstract: 本发明提供了一种扁平式六自由度微动装置，属于纳米定位技术领域，包括：上运动平台，其上设置有与上运动平台呈一体设置的第一柔性组件；第一压电陶瓷堆叠致动器，与第一柔性组件的输入端对应相连；下运动平台，其上设置有与下运动平台呈一体设置的第二柔性组件第二柔性组件的输出端通过紧固件与上运动平台相连；第二压电陶瓷堆叠致动器，与第二柔性组件的输入端对应相连；第一传感组件，一端连接于下运动平台上，另一端朝向上运动平台的边缘；第二传感组件，一端连接于下运动平台上，另一端朝向上运动平台。本发明实现全柔性检测，无需装配，且结构紧凑，体积小。
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公开(公告)号：CN115864774B
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202211587451.0
申请日：2022-12-07
Applicant: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
Abstract: 本发明公开了一种低定位力双边悬浮直线电机及自动平移门驱动组件。所述电机两个动子模块和定子模块，该两个动子模块沿第一方向设置于定子模块两侧，且该两个动子模块均包括沿第二方向分布的多个动子单元电机以及相配合的电枢绕组；每个动子模块中的多个动子单元电机分为多个部分，每个部分包括两个动子单元电机，该两个动子单元电机之间沿第二方向偏置设置；该两个动子模块之间也沿第二方向偏置设置；该第一方向垂直于第二方向，该第二方向为两个动子模块的运动方向。较之现有技术，本申请的电机具有更低定位力和更低制作成本，推力密度更大，能有效减小机械系统的损耗，并能以单电机实现自动平移门门板的开合运动。
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