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公开(公告)号：CN120008659A
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202311528077.1
申请日：2023-11-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种增强钻石激发效率的超表面结构、制作方法与量子传感器，该增强钻石激发效率的超表面结构包括钻石基底和超表面层，其中，钻石基底具有NV色心，超表面层位于钻石基底上表面，超表面层包括周期排布的纳米柱阵列，垂直的入射光照射入超表面层时能够发生衍射偏转，衍射偏转的偏转角度大小包含于钻石基底的全内反射角范围内。本发明中入射光经超表面层衍射偏转后，以全内反射角偏转耦合至钻石基底，在钻石基底中发生全内反射以提高光路传输路径，使得激发光能够与大量NV色心相互作用提高钻石荧光激发效率，提高钻石NV色心磁探测灵敏度，可应用于近场高灵敏度磁传感、生物分子传感、纳米级热传感及电流传感等领域。
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公开(公告)号：CN114442007B
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202210110472.7
申请日：2022-01-29
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G01R33/02
Abstract: 本发明提供一种高速大动态范围磁场测量系统，包括：捷变射频源，基于频率控制字产生中频信号；混频器连接中频信号及本振信号，输出射频信号；磁场检测模块，对磁场进行检测产生荧光信号及对应的数字电信号；锁相解调模块，输出荧光解调信号；闭环锁频模块，基于荧光解调信号跟踪计算当前周期相对于上一周期的微波频率移动量及磁场大小变化量，得到当前周期的微波中心频率及磁场大小，并将微波频率移动量转换为频率控制字以更新中频信号的频率。本发明将顺磁共振传感器从传统的小磁场测量拓展到大的动态范围；通过快速反馈跟踪，提高了磁测量速度，增强了在不同场强下磁测量的适应性。
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公开(公告)号：CN119191686A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202411307983.3
申请日：2024-09-19
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种球形玻璃结构的制备方法，通过在浅凹槽中添加呈片状的固体释气剂薄片，利用该固体释气剂薄片在升温时释放出的气体驱动玻璃片热成型，形成了晶圆级的球形玻璃结构。该方法工艺流程简单，操作便捷，可精确定量，确保了球形玻璃结构的一致性，特别适合于大规模工业化生产。同时，本发明不仅可以精确控制固体释气剂薄片的质量，灵活调整其中释气剂粉末的含量，制备出所需尺寸的球形玻璃结构，而且能够获得与原始抛光的玻璃片相近或者更低粗糙度的球形玻璃结构。此外，本发明的球形玻璃结构的制备方法具有生产成本低，可靠性高，环境污染小等优点，符合当前大规模生产对于高效、低耗、环保的严格要求，以及超净室的高清洁度标准。
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公开(公告)号：CN111724894B
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN201911076779.4
申请日：2019-11-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及医疗器械的技术领域，特别涉及一种数据采集方法、装置、终端及存储介质。所述数据采集方法应用于舌像采集装置，其中，所述舌像采集装置包括：暗箱，所述暗箱上设有第一连接结构和第二连接结构，所述第一成像装置与所述第一连接结构连接，所述第二成像装置与所述第二连接结构连接；所述暗箱内设有光源和反射镜，所述光源用于为所述第一成像装置和所述第二成像装置提供光照；所述反射镜通过驱动装置与所述暗箱连接，所述驱动装置用于驱动所述反射镜在所述暗箱内移动。通过采集目标对象的可见光波长范围内的彩色图像和高光谱图像，彩色图像与高光谱图像相结合，使诊断结果更准确，有利于推广中医诊断的定量化分析。
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公开(公告)号：CN113425259A
公开(公告)日：2021-09-24
申请号：CN202110704048.0
申请日：2021-06-24
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: A61B5/00
Abstract: 本发明涉及一种高空间分辨率的多光谱舌象采集系统，包括舌像采集装置和终端设备，所述舌像采集装置和终端设备相连，所述舌像采集装置包括至少一个暗箱，所述暗箱内部设置有RGB图像采集模块、多光谱图像采集模块、光源辐射机构和光学分光机构，所述暗箱开设有与采集者舌头位置相对应的采集端口；所述终端设备控制光源辐射机构照射采集者的舌头，舌头的反射光在光学分光机构处分为反射光和透射光，分别传递给RGB图像采集模块和多光谱图像采集模块，RGB图像采集模块和多光谱图像采集模块将获采集到的图像数据发送至终端设备，终端设备根据将接收到的图像数据进行处理后得到高空间分辨率的多光谱图像。本发明可得到高空间分辨率多光谱舌象。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113281898A
公开(公告)日：2021-08-20
申请号：CN202110571642.7
申请日：2021-05-25
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种MEMS微镜单元，所述MEMS微镜单元包括：镜面层，包括镜面以及设置于所述镜面背部的多个柔性力学结构；致动器层，包括交叉排列的三个致动器，每一致动器与所述镜面层的每一柔性力学结构成对设置并且通过耦合柱与相应的柔性力学结构耦合，所述致动器用于通过所述耦合柱与所述柔性力学结构以为所述镜面层提供动力；以及引线层。本发明还提供了一种MEMS微镜阵列，所述MEMS微镜阵列包含以密堆方式排列的多个所述的MEMS微镜单元。本发明提供的MEMS微镜单元可以实现三个自由度的精确可调，控制方式灵活；包含所述MEMS微镜单元的微镜阵列，具有高占空比，以及高一致性的镜面性能。
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公开(公告)号：CN111724894A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201911076779.4
申请日：2019-11-06
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明涉及医疗器械的技术领域，特别涉及一种数据采集方法、装置、终端及存储介质。所述数据采集方法应用于舌像采集装置，其中，所述舌像采集装置包括：暗箱，所述暗箱上设有第一连接结构和第二连接结构，所述第一成像装置与所述第一连接结构连接，所述第二成像装置与所述第二连接结构连接；所述暗箱内设有光源和反射镜，所述光源用于为所述第一成像装置和所述第二成像装置提供光照；所述反射镜通过驱动装置与所述暗箱连接，所述驱动装置用于驱动所述反射镜在所述暗箱内移动。通过采集目标对象的可见光波长范围内的彩色图像和高光谱图像，彩色图像与高光谱图像相结合，使诊断结果更准确，有利于推广中医诊断的定量化分析。
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公开(公告)号：CN111722387A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201911128975.1
申请日：2019-11-18
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02B21/00
Abstract: 本发明涉及显微物镜光学检测技术领域，特别涉及一种光学反射镜及激光扫描共聚焦显微镜。包括：支架、第一转动框、第二转动框和镜面，所述支架为框架结构，所述第一转动框设在所述支架内，所述第一转动框与所述支架转动连接，所述第一转动框在所述支架内转动具有第一转动轴线；所述第二转动框设在所述第一转动框内，所述第二转动框与所述第一转动框转动连接，所述第二转动框在所述第一转动框内转动具有第二转动轴线；所述第一转动轴线与所述第二转动轴线具有预设角度的夹角；所述镜面设在所述第二转动框内。双轴转动的反射镜使扫描光路简单、结构紧凑、图像畸变小和光毒性小，可实现高采集图像帧频和无视场衰减的共聚焦图像采集。
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公开(公告)号：CN119804944A
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202411289863.5
申请日：2024-09-14
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本申请属于电流检测技术领域，提供一种量子电流传感器及电流测量方法，包括无源探头、激光源、光电检测模块、微波调制模块和微波处理模块；无源探头包括具有自旋色心的钻石结构，激光源产生激光信号，微波调制模块产生微波信号并调制生成微波调制信号，激光信号和微波调制信号传输至无源探头以产生荧光信号，光电检测模块将荧光信号转换为电信号，微波处理模块对电信号进行解调生成解调信号并对微波调制模块进行调控，使微波信号频率与钻石结构自旋色心的共振频率相匹配。本申请通过调制解调过程以及微波信号的远程发送和频率调控，提高了噪声过滤效果和电流动态测量范围，实现了高压侧信号无电功耗传输以及高压侧的无源测量。
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公开(公告)号：CN119677202A
公开(公告)日：2025-03-21
申请号：CN202411851736.X
申请日：2024-12-16
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
Abstract: 本发明提供一种半导体器件及其制备方法，半导体器件中，第一衬底包括贯穿第一表面和第二表面的第一通孔，第二衬底包括贯穿第三表面和第四表面的第二通孔；微波传输线在第三表面，带有NV色心的钻石底面的微波天线架设在第二通孔上，微波天线与微波传输线耦合；激光源元件在第四表面下方，光电探测器在第一表面上。本发明设计激光源与钻石芯片集成的半导体器件，用MEMS技术实现集成磁场传感器，可批量低成本生产；同时对准激光源与微波天线的通孔，提高磁场传感器的使用灵活性和可靠性；另外第一通孔侧壁倾斜的设计，提高光电探测器的荧光收集效率，提高磁场传感器的灵敏度；最后长通滤光片和反射金属层进一步提高同体积下量子磁场传感器的灵敏度。
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