公开(公告)号：CN117129738A

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202311095115.9

申请日：2023-08-28

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 陈浩 ,  刘启慧 ,  谢非 ,  彭霄 ,  程建功 ,  武震宇

IPC: G01R19/00 ,  G01R15/24

Abstract: 本发明提供一种量子电流传感器及电流测量方法，包括：钻石NV传感芯片、聚磁环、激光源、光电转换模块、微波调制解调模块以及磁通调控模块；聚磁环带有一开口用以感应被测导线的磁通；钻石NV传感芯片用以检测开口处的磁通；激光源用于产生预设波长的激光信号并输出到钻石NV传感芯片；光电转换模块接收反射的荧光信号，并将荧光信号转为电信号传输至微波调制解调模块最终得到解调电压；磁通调控模块基于解调电压得到加载到磁通检测模块的反向磁通，用以维持开口处的磁通。本发明提供了反向磁通从而使得NV色心处感应的磁场一直处于较小的范围内，避免了钻石NV色心难以在大电流磁场下进行检测这一问题，有效拓宽了钻石NV色心测量电流的动态范围。

公开(公告)号：CN119677202A

公开(公告)日：2025-03-21

申请号：CN202411851736.X

申请日：2024-12-16

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 武震宇 ,  陈浩 ,  彭霄

IPC: H10F55/20 ,  H10F77/42 ,  H10F77/50 ,  H10F77/00 ,  H10F71/00 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明提供一种半导体器件及其制备方法，半导体器件中，第一衬底包括贯穿第一表面和第二表面的第一通孔，第二衬底包括贯穿第三表面和第四表面的第二通孔；微波传输线在第三表面，带有NV色心的钻石底面的微波天线架设在第二通孔上，微波天线与微波传输线耦合；激光源元件在第四表面下方，光电探测器在第一表面上。本发明设计激光源与钻石芯片集成的半导体器件，用MEMS技术实现集成磁场传感器，可批量低成本生产；同时对准激光源与微波天线的通孔，提高磁场传感器的使用灵活性和可靠性；另外第一通孔侧壁倾斜的设计，提高光电探测器的荧光收集效率，提高磁场传感器的灵敏度；最后长通滤光片和反射金属层进一步提高同体积下量子磁场传感器的灵敏度。