公开(公告)号：CN119805732A

公开(公告)日：2025-04-11

申请号：CN202410018925.2

申请日：2024-01-05

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 武震宇 ,  陈浩 ,  王楠 ,  刘艺晨

IPC: G02B26/00 ,  G02B26/02 ,  G02B26/08

Abstract: 本发明提供一种光噪声抑制器、制作方法及应用，该光噪声抑制器包括基底、压电驱动结构和顶盖，基底中设置有垂向贯穿基底的避空空间，避空空间中设置有光栅结构，光栅结构与基底通过悬臂梁结构连接；压电驱动结构位于悬臂梁结构上方，压电驱动结构包括自下而上层叠的底电极金属层、压电薄膜层和顶电极金属层；顶盖位于基底上方与基底键合连接，顶盖的下表面设有反射层，反射层在基底上的投影覆盖光栅结构，其中，于压电驱动结构施加电压后能够带动悬臂梁结构发生形变，进而改变光栅结构与顶盖之间的距离。本发明中通过电压驱动能够精准调控光栅结构和反射层之间的间距，可对参考光强进行调控和实时监测，具有全自动化和高精度的优势。

公开(公告)号：CN120008659A

公开(公告)日：2025-05-16

申请号：CN202311528077.1

申请日：2023-11-16

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 武震宇 ,  陈浩 ,  王楠

IPC: G01D5/26 ,  G01D5/28 ,  G01D5/30 ,  G01D5/34 ,  G01D5/353

Abstract: 本发明提供一种增强钻石激发效率的超表面结构、制作方法与量子传感器，该增强钻石激发效率的超表面结构包括钻石基底和超表面层，其中，钻石基底具有NV色心，超表面层位于钻石基底上表面，超表面层包括周期排布的纳米柱阵列，垂直的入射光照射入超表面层时能够发生衍射偏转，衍射偏转的偏转角度大小包含于钻石基底的全内反射角范围内。本发明中入射光经超表面层衍射偏转后，以全内反射角偏转耦合至钻石基底，在钻石基底中发生全内反射以提高光路传输路径，使得激发光能够与大量NV色心相互作用提高钻石荧光激发效率，提高钻石NV色心磁探测灵敏度，可应用于近场高灵敏度磁传感、生物分子传感、纳米级热传感及电流传感等领域。