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公开(公告)号:CN106840610A
公开(公告)日:2017-06-13
申请号:CN201710011135.1
申请日:2017-01-06
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01M11/02
CPC classification number: G01M11/02
Abstract: 一种真空环境下光学元件损伤阈值的测量装置和测量方法。采用等效光路法实现在真空环境中对光斑面积的准确测量和对测量过程中的光斑质量进行实时监测,确保对光学元件损伤阈值的准确测量。该装置可以在一次真空环境中实现对4片透、反射元件和衍射元件样品采用1‑on‑1、S‑on‑1、R‑on‑1和光栅扫描的方式进行损伤阈值测量,并能够对测试环境中的残余气体进行分析。且该设备能对测量过程进行自动控制并实现数据的自主采集,极大地提高了真空环境下光学元件的损伤测试效率。
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公开(公告)号:CN106772734A
公开(公告)日:2017-05-31
申请号:CN201710000720.1
申请日:2017-01-03
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
CPC classification number: G02B5/1809 , G02B5/1861
Abstract: 一种宽带高衍射效率非对称形貌反射型光栅,其特点在于由顶部光栅脊结构、中间高反射率薄膜层和底部基底构成光栅结构,其中顶部光栅脊结构为非对称形貌,所述的非对称形貌为四边形的底角α和β不相等。本发明的非对称形貌反射型光栅在入射角度为‑1级利特罗角时,在80纳米带宽范围内可获得‑1级衍射效率高于95%,波段内最高衍射效率超过99%,且在较宽角谱内具有高于95%的‑1级衍射效率,实现在较宽的带宽和较宽的入射角范围内工作。本发明性能优越,结构简单,可大批量生产,在高功率激光领域具有重要的实用前景。
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公开(公告)号:CN110736561B
公开(公告)日:2020-09-15
申请号:CN201911012197.X
申请日:2019-10-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种高功率激光系统中反射光学元件的制备及其测温方法,反射光学元件的制备包括步骤:在基底材料上利用磁控溅射镀制一层VO2相变薄膜;在VO2相变薄膜上镀制高反膜。由于VO2的相变特性,反射光学元件的透过率会随温度发生变化,高功率激光系统中测温方法包括利用接触式测温的方法测试反射光学元件在某一波长处透过率随温度变化的曲线;高功率激光系统中,增加该波长的探测激光入射至反射光学元件表面的辐照区域,并利用功率计测试探测激光的透过率;结合上述透过率随温度变化曲线利用透射率计算光学元件的表面温度。本发明相比红外热像仪测温的方法不仅成本较低,而且可以高精度的测试光学元件表面微米深度的温度变化。
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公开(公告)号:CN109143436A
公开(公告)日:2019-01-04
申请号:CN201811050039.9
申请日:2018-09-10
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
CPC classification number: G02B5/18
Abstract: 一种偏振无关金属介质二维光栅,由上至下由顶层二维结构介质光栅层、介质光栅剩余层、金属层和基底构成光栅结构;所述的顶层二维结构介质光栅层为长方体或圆柱体或圆锥体或圆台结构。顶层二维结构介质光栅层和介质光栅剩余层为同种介质材料,该介质材料为HfO2,Ta2O5或SiO2中的任意一种;金属层的材料为Au,Ag或Cu中的任意一种。本发明的偏振无关金属介质二维光栅可以使TE和TM两种偏振模式的入射光以(‑1,0)级利特罗角入射时,(‑1,0)级反射衍射效率在中心波长780纳米波长高于92%,且两个偏振态之间的效率差异小于1.5%,实现对偏振无关入射光的高效率衍射。
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公开(公告)号:CN108732670A
公开(公告)日:2018-11-02
申请号:CN201810742641.2
申请日:2018-07-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
Abstract: 一种800纳米中心波长的金属介质膜宽带脉宽压缩光栅,其特点是在石英基底上自底层向外层依次的金属层、剩余层和光栅层一体构成,所述的光栅层为梯形光栅,该梯形光栅的材料为SiO2;周期为500-680纳米;底部占空比为0.48-0.58;底角83°-86°;槽深860-930纳米。本发明在入射角度65°,在750-850纳米波段TE偏振的-1级反射衍射效率大于90%。入射波长800纳米激光以65°或17°入射至光栅表面,光栅对TE偏振光的-1级反射衍射效率大于90%。本发明的单脉冲面损伤阈值为0.4J/cm2@35fs,800±35nm。本发明可用作高功率超短脉冲激光系统的脉宽压缩光栅。
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公开(公告)号:CN108873316B
公开(公告)日:2020-10-16
申请号:CN201810746871.6
申请日:2018-07-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种多块多通道复用体布拉格光栅级联角度偏转器,构成是:沿入射光方向依次是第1块复用体布拉格光栅的前表面的第1增透膜、第1块复用透射式体布拉格光栅、第2块复用透射式体布拉格光栅、…、第N块复用透射式体布拉格光栅和第N块复用透射式体布拉格光栅的后表面的第2增透膜,N为2以上的正整数。所包含的所有光栅通道的最小偏转角度从小到大依次级联。本发明提高了入射光束的绝对衍射效率,具有性能优越,结构简单,可大批量生产,在激光光束扫描技术领域具有重要的实用前景。
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公开(公告)号:CN109900737B
公开(公告)日:2020-06-30
申请号:CN201910167946.X
申请日:2019-03-06
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明提出一种基于等效温度的光学元件弱吸收测试装置及方法,首先利用泵浦激光辐照样品,达到稳态后利用红外热像仪记录样品表面最高温度,并利用泵浦光功率计测试样品的反射和透射功率;第二步,利用探测激光器(CO2激光器,光斑尺寸与泵浦激光光斑大小相同)辐照样品表面,一般CO2对于介质膜等光学元件吸收率为1,逐渐增加探测激光功率使得样品表面温度达到第一次测试的温度,此时读取探测光功率计中的功率;最后利用探测光功率计的读数比上样品的反射与透射功率之和,即为样品表面的弱吸收率。本发明主要利用一般光学元件对CO2激光的吸收率为1,样品在泵浦光辐照下的温度特性来测试表面的弱吸收率,相比现有的技术测试不仅精度高而且操作更加简单、方便,不需要后期数据处理。
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公开(公告)号:CN110879433A
公开(公告)日:2020-03-13
申请号:CN201911167157.2
申请日:2019-11-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B5/18
Abstract: 一种基于光热折变玻璃的反射式体光栅制备方法,包括步骤:(1)曝光面进行精抛光;采用双束紫外平行光形成的干涉条纹对PTR玻璃进行曝光;采用450-550℃的温度进行热显影;沿垂直于曝光入射面方向切割;对切割面精抛光处理后镀上对使用波长λ使透过率大于99.5%的全介质减反膜,完成反射式体光栅的制备。本发明通过调节曝光角度θ可实现对使用波长的调控,通过对曝光时长、热处理温度和时长实现对反射式体光栅的衍射效率(10%~99%)进行调控,通过切割厚度(0.3mm~30mm)调控实现对光谱半高宽(0.02nm~1nm)进行调控。通过工艺参数调节实现自由调控,且有利于实现规模化量产。
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公开(公告)号:CN109900737A
公开(公告)日:2019-06-18
申请号:CN201910167946.X
申请日:2019-03-06
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明提出一种基于等效温度的光学元件弱吸收测试装置及方法,首先利用泵浦激光辐照样品,达到稳态后利用红外热像仪记录样品表面最高温度,并利用泵浦光功率计测试样品的反射和透射功率;第二步,利用探测激光器(CO2激光器,光斑尺寸与泵浦激光光斑大小相同)辐照样品表面,一般CO2对于介质膜等光学元件吸收率为1,逐渐增加探测激光功率使得样品表面温度达到第一次测试的温度,此时读取探测光功率计中的功率;最后利用探测光功率计的读数比上样品的反射与透射功率之和,即为样品表面的弱吸收率。本发明主要利用一般光学元件对CO2激光的吸收率为1,样品在泵浦光辐照下的温度特性来测试表面的弱吸收率,相比现有的技术测试不仅精度高而且操作更加简单、方便,不需要后期数据处理。
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