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公开(公告)号：CN100513649C
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200410047497.9
申请日：2004-05-28
Applicant: 东洋炭素株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够持续最佳的电解状态并稳定操作，且无需靠人工就能够发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法和电流控制装置。本发明是一种使由含有氟化氢的混合熔化盐构成的电解浴(5)，用碳电极作为阳极(4a)进行电解而发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，测定在气体发生装置上施加了一定电流后的阴极(4b)、阳极(4a)之间的电压变动幅度，并一边按照电压变动幅度改变投入电流量一边施加电流。
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公开(公告)号：CN1308491C
公开(公告)日：2007-04-04
申请号：CN200410003530.8
申请日：2004-01-29
Applicant: 东洋炭素株式会社
Abstract: 本发明提供一种小型化，电绝缘性、气体密封性、相对热及气体的安全性优异的溶融盐电解装置。在设置电解由混合溶融盐构成的电解浴用的电解槽的溶融盐电解装置中，包括：加热及/或冷却前述电解槽主体用的第一热交换机构，相对于前述第一热交换机构、在进一步隔开一定的空间的外周上配置的将前述第一热交换机构密闭的外框，形成在前述外框内的减压乃至真空隔热层。进而，在要求电绝缘性和气体密封性的部位，配备电绝缘材料和气体密封件。
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公开(公告)号：CN1303258C
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200410071217.8
申请日：2004-07-14
Applicant: 东洋炭素株式会社
Abstract: 本发明的目的是提供一种能够从电解浴熔解安全地转化到可开始电解的状态的控制装置及其控制方法。是使装容在电解槽(1)中的固体状电解浴(2)熔融、而自动地形成可电解的状态的熔盐电解槽的控制装置，具有通过设置在电解槽(1)上的检测器(33)检测电解槽的状态变化的检测机构，和在检测机构实施检测后调整电解浴液面为可电解的状态的调整机构。
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公开(公告)号：CN1572908A
公开(公告)日：2005-02-02
申请号：CN200410047497.9
申请日：2004-05-28
Applicant: 东洋炭素株式会社
Abstract: 本发明提供一种能够持续最佳的电解状态并稳定操作，且无需靠人工就能够发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法和电流控制装置。本发明是一种使由含有氟化氢的混合熔化盐构成的电解浴(5)，用碳电极作为阳极(4a)进行电解而发生氟或氟化物气体的气体发生装置的电流控制方法，测定在气体发生装置上施加了一定电流后的阴极(4b)、阳极(4a)之间的电压变动幅度，并一边按照电压变动幅度改变投入电流量一边施加电流。
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公开(公告)号：CN101379592B
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN200780005002.8
申请日：2007-02-07
Applicant: 东洋炭素株式会社 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: F17D1/04 , C01B7/19 , F17C2250/032 , F17C2270/0518 , H01L21/67017 , H01L21/67276
Abstract: 氟气发生装置与半导体制造装置(3a～3e)经由气体供给系统(2)连接，该气体供给系统(2)具有能够贮藏规定量的由现场氟气发生装置(1a～1e)发生的氟气的贮藏罐(12)，当现场氟气发生装置(1a～1e)中1个以上停止时，通过从贮藏有规定量的氟气的贮藏罐(12)向半导体制造装置(3a～3e)供给氟气，从而维持半导体制造装置(3a～3e)的运用。由此，能够安全稳定地将在氟气发生装置发生的氟气向半导体制造装置供给，并且获得在半导体制造中价格性能比也优越的半导体制造设备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101248216B
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200680030920.1
申请日：2006-06-28
Applicant: 东洋炭素株式会社
Abstract: 一种氟系气体产生装置，在具备阳极室和阴极室的电解槽内具有由含有氟化氢的混合熔融盐构成的电解浴，通过对前述电解浴进行电解来产生含氟的气体，该氟系气体产生装置具有：原料供给配管，在前述电解槽中到达电解浴中，用于供给电解用原料；常闭型阀，设置在前述原料供给配管的中途；和设置有常开型阀的迂回用配管，将比前述常闭型阀靠向下游侧的前述原料供给配管与前述电解槽的气相部分连接。由此，电解浴不会被吸入到氟系气体产生装置的原料供给配管内，可事先防止在原料供给配管内发生固化。
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公开(公告)号：CN1253604C
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200310113891.3
申请日：2003-11-10
Applicant: 东洋炭素株式会社
Abstract: 本发明提供一种安全的氟气产生装置，即使在电解停止时也能控制电解槽的电解液液面的位置。在用于通过电解含有氟化氢的混合熔融盐构成的电解液而产生氟气的氟气产生装置中，具有通过隔壁而分离的阳极室和阴极室，备有在氟气的产生停止时对前述阳极室或前述阴极室的至少任一方的电解液液面高度进行控制的电解液液面控制机构。
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公开(公告)号：CN1234912C
公开(公告)日：2006-01-04
申请号：CN03133020.7
申请日：2003-05-29
Applicant: 东洋炭素株式会社
IPC: C25B1/24
Abstract: 本发明提供一种对由包含氟化氢的混合熔融盐组成的电解液进行电解以产生高纯度的氟气的氟气发生装置，其包括：电解槽，它利用隔壁被分隔为设置阳极的阳极室和设置阴极的阴极室；使阳极室内和阴极室内保持大气压的压力保持装置；能够对阳极室和阴极室的各自电解液的液位进行5个级别以上的检测的液面检测装置；压力保持装置包括与分别设置在阳极室和阴极室中的压力计联动开闭的并能自动排出或中断由阳极室和阴极室生成的气体的自动阀、与设置在阳极室和阴极室中的液面检测装置联动开闭的并能自动排出或中断由阳极室和阴极室生成的气体的自动阀构成，液面检测装置能在中等液面高度和最高异常液面高度之间及在中等液面高度和最低异常液面高度之间检测出变为异常前的一定液面高度。
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公开(公告)号：CN1478924A
公开(公告)日：2004-03-03
申请号：CN03133020.7
申请日：2003-05-29
Applicant: 东洋炭素株式会社
IPC: C25B1/24
Abstract: 提供一种氟气发生装置，它能够稳定地、安全地产生高纯度的氟气。该氟气发生装置，是对包含氟化氢的混合熔融盐组成的电解液2进行电解以产生高纯度的氟气的氟气发生装置，包括：利用隔壁16分离为用于设置阳极的阳极室3和用于设置阴极的阴极室4的电解槽1；使上述阳极室3和上述阴极室4内保持大气压的压力保持装置；及能够对上述阳极室3和上述阴极室4的各自的上述电解液2的液位进行3个级别以上的检测的液面检测装置5、6。
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