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公开(公告)号：CN102147424B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201110048609.2
申请日：2011-03-01
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种三轴集成硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上,玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接，所述上层微加速度计结构包括位于左边的全解耦双轴硅微谐振式加速度计和位于右边的单轴硅微谐振式加速度计。本发明结构简单、紧凑、体积较小，交叉轴间机械耦合和电气耦合较小，更利于加工和封装。
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公开(公告)号：CN102661744A
公开(公告)日：2012-09-12
申请号：CN201210177331.3
申请日：2012-05-31
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种硅基双平衡环动调陀螺转子体结构，包括一个内环、一个转子和两个独立的平衡环，所述内环、转子和平衡环均为空心圆柱体结构，所述内环与电机转子体固定连接，且设置在转子内，所述平衡环设置在内环和转子之间，并且通过内扭杆、外扭杆分别与内环、转子连接。本发明还公开了一种硅基双平衡环动调陀螺转子体结构的加工方法。本发明硅基双平衡环动调陀螺转子体结构能有效的消去单平衡环2倍频角振动带来的影响，可以提高陀螺精度。
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公开(公告)号：CN102042832A
公开(公告)日：2011-05-04
申请号：CN201010554883.2
申请日：2010-11-23
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明涉及了一种MEMS陀螺仪及其芯片级温控方法和加工方法：利用微细加工技术，在玻璃基座上加工出微型加热器和温度传感器，并将玻璃基座与MEMS陀螺仪结构芯片键合。通过在微型加热器两端施加电压对MEMS陀螺仪芯片进行加热，同时利用集成的温度传感器实时监控陀螺仪芯片温度，来驱动外围电路调节加热器两端的电压，维持陀螺仪芯片的温度恒定且略高于工作环境温度的上限。加热器和温度传感器集成在玻璃基座上，体积小而且温度敏感性高。该芯片级温控方法具有功耗低、体积小、适用性强和重复性好的特点，并能与微细加工工艺兼容，可实现批量生产，该方法也可以广泛地用于其他MEMS芯片的芯片级温控。
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公开(公告)号：CN113108812B
公开(公告)日：2023-08-18
申请号：CN202110407731.8
申请日：2021-04-15
Applicant: 东南大学
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明涉及一种基于检测模态驱动频率上下边带功率对称性的MEMS陀螺仪模态匹配算法，该系统包括信号处理模块和控制模块，通过调整陀螺仪检测模态的检测频率实现模态匹配；在陀螺仪正常工作状态下，对检测模态的输出信号进行采样，并将采样信号输入信号处理模块；采样信号经过低通滤波和降采样后，通过上下边带滤波分别得到检测模态中驱动频率两侧信号，比较两信号功率大小；控制模块通过两信号功率差值的正负情况，输出控制信号反馈到陀螺仪检测模态的调谐电极，由此控制检测模态的检测频率。本发明在不影响MEMS陀螺仪正常工作的前提下，实时调整检测频率，实现模态匹配，从而使系统机械灵敏度达到最大。
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公开(公告)号：CN109916386B
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN201910187151.5
申请日：2019-03-13
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5684 , G01C19/04
Abstract: 本发明公开了一种具有抑制高过载后振荡过程功能的振环陀螺仪，包括阻尼环、静电阻尼电极以及微分控制器，阻尼环通过耦合梁与振环陀螺敏感环相连接；静电阻尼电极分为阻尼电极与驱动电极，分别布置在阻尼环内外两侧；微分控制器根据阻尼电极的输出电压，形成控制电压，加载到驱动电极上。本发明的一种具有抑制高过载后振荡过程功能的振环陀螺仪，可以实现敏感质量块在高过载后的主动阻尼衰减，加快稳定时间。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110646018B
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN201910864158.6
申请日：2019-09-12
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的一种低速运放实现的高频电流源惠斯通电桥检测电路，包括基准电流源模块、H桥、检测模块。本发明电路设计简单易于实现，由于运算放大器是对直流信号处理，因此降低了对运放的带宽要求，方便器件选型，降低使用高速运放的成本。用本发明代替电压源作为惠斯通电桥的外接电源，可提高惠斯通电桥输出信号的线性度；同时，可调制惠斯通电桥的低频输出信号减小以同频段信号耦合进而提高测量精度。
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公开(公告)号：CN109613301B
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN201811558080.7
申请日：2018-12-19
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/125 , G01C19/5733
Abstract: 本发明公开了一种可同时测量水平方向加速度和角速度的微传感器，包括上层硅微结构和下层玻璃基座，硅微结构通过四角的第一锚区键合在玻璃基座上，硅微结构包括加速度检测模块和角速度检测模块，角速度检测模块和加速度检测模块共用一个质量块，角速度检测模块与质量块通过第一连接梁和第二连接梁相连，加速度检测模块与质量块直接相连，且角速度检测模块通过第三连接梁和第二锚区与玻璃基座相连；角速度检测模块驱动模态与角速度检测模块检测模态之间、加速度检测模块检测模态与角速度检测模块检测模态之间互相解耦，实现同时测量水平方向加速度和角速度。本发明通过连接梁的合理设计，实现各模态之间相互解耦，且提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN110018330B
公开(公告)日：2020-03-31
申请号：CN201910011712.6
申请日：2019-01-07
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/097
Abstract: 本发明公开了一种基于调整结构补偿参数的硅微谐振式加速度计温度补偿算法，通过公式推导得到硅微谐振式加速度计接口电路的电容电压增益系数，转化为硅微谐振式加速度计的振幅至输出电压的转化系数，给出电容电压增益系数对温度的敏感度；自动增益控制电路将硅微谐振式加速度计谐振梁的振幅稳定在给定的参考电压驱动下的振幅，当硅微谐振式加速度计接口电路的电容电压增益系数随温度发生变化，当温度发生变化时，外围控制电路对谐振频率会产生影响，得到谐振频率与温度的敏感度；通过适当的设置谐振结构的温度补偿结构参数，达到抑制频率随温度漂移的目标。本发明的温度补偿不需要额外增加传感器，成本低，不引入其他影响量，补偿方法精确可靠。
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公开(公告)号：CN107063222B
公开(公告)日：2019-07-12
申请号：CN201710248848.X
申请日：2017-04-17
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5621
Abstract: 本发明公开了一种直接频率输出的三框架式双质量硅微机械陀螺仪，包括下层玻璃基底、引线层、键合层和上层硅结构层，在下层玻璃基底的上表面溅射金属作为引线层，在下层玻璃基底上设有覆盖引线层和下层玻璃基底的键合层，通过键合层把上层硅结构层悬置于下层玻璃基底之上；上层硅结构层包括两个上层硅微机械子结构和耦合连接梁，两个上层硅微机械子结构关于结构竖直中心轴对称。本发明可以有效抑制线加速度和温度等共模误差的影响，更好地实现结构解耦，减小结构的正交误差，而且把检测的位移变化转化为音叉谐振器的频率变化，输出的频率信号稳定性好，不易受噪声干扰，在传输和处理过程中也不易出现误差。
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公开(公告)号：CN109916386A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201910187151.5
申请日：2019-03-13
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5684 , G01C19/04
Abstract: 本发明公开了一种具有抑制高过载后振荡过程功能的振环陀螺仪，包括阻尼环、静电阻尼电极以及微分控制器，阻尼环通过耦合梁与振环陀螺敏感环相连接；静电阻尼电极分为阻尼电极与驱动电极，分别布置在阻尼环内外两侧；微分控制器根据阻尼电极的输出电压，形成控制电压，加载到驱动电极上。本发明的一种具有抑制高过载后振荡过程功能的振环陀螺仪，可以实现敏感质量块在高过载后的主动阻尼衰减，加快稳定时间。
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