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公开(公告)号：CN109613300B
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN201811554784.7
申请日：2018-12-19
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/125 , G01C19/5733
Abstract: 本发明公开了一种可同时测量垂直方向加速度和角速度的微传感器，包括上层的硅微结构和下层的玻璃基座，硅微结构通过键合工艺加工在玻璃基座上；硅微结构包括角速度检测模块和加速度检测模块，角速度检测模块和加速度检测模块共用一个质量块，角速度检测模块与质量块通过第一连接梁相连，加速度检测模块与质量块直接相连。本发明通过合理的连接梁设计，使角速度检测模块驱动模态与检测模态之间、加速度检测模态与角速度检测模态之间互相解耦，实现同时测量垂直方向加速度和角速度。加速度检测梳齿的设计消除了角速度检测模块驱动模态和检测模态对加速度检测模块检测造成的干扰影响，从而提高了微传感器在垂直方向加速度和角速度的测量精度。
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公开(公告)号：CN109613301B
公开(公告)日：2020-09-11
申请号：CN201811558080.7
申请日：2018-12-19
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/125 , G01C19/5733
Abstract: 本发明公开了一种可同时测量水平方向加速度和角速度的微传感器，包括上层硅微结构和下层玻璃基座，硅微结构通过四角的第一锚区键合在玻璃基座上，硅微结构包括加速度检测模块和角速度检测模块，角速度检测模块和加速度检测模块共用一个质量块，角速度检测模块与质量块通过第一连接梁和第二连接梁相连，加速度检测模块与质量块直接相连，且角速度检测模块通过第三连接梁和第二锚区与玻璃基座相连；角速度检测模块驱动模态与角速度检测模块检测模态之间、加速度检测模块检测模态与角速度检测模块检测模态之间互相解耦，实现同时测量水平方向加速度和角速度。本发明通过连接梁的合理设计，实现各模态之间相互解耦，且提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN109613301A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201811558080.7
申请日：2018-12-19
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/125 , G01C19/5733
Abstract: 本发明公开了一种可同时测量水平方向加速度和角速度的微传感器，包括上层硅微结构和下层玻璃基座，硅微结构通过四角的第一锚区键合在玻璃基座上，硅微结构包括加速度检测模块和角速度检测模块，角速度检测模块和加速度检测模块共用一个质量块，角速度检测模块与质量块通过第一连接梁和第二连接梁相连，加速度检测模块与质量块直接相连，且角速度检测模块通过第三连接梁和第二锚区与玻璃基座相连；角速度检测模块驱动模态与角速度检测模块检测模态之间、加速度检测模块检测模态与角速度检测模块检测模态之间互相解耦，实现同时测量水平方向加速度和角速度。本发明通过连接梁的合理设计，实现各模态之间相互解耦，且提高了测量精度。
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公开(公告)号：CN109613300A
公开(公告)日：2019-04-12
申请号：CN201811554784.7
申请日：2018-12-19
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/125 , G01C19/5733
Abstract: 本发明公开了一种可同时测量垂直方向加速度和角速度的微传感器，包括上层的硅微结构和下层的玻璃基座，硅微结构通过键合工艺加工在玻璃基座上；硅微结构包括角速度检测模块和加速度检测模块，角速度检测模块和加速度检测模块共用一个质量块，角速度检测模块与质量块通过第一连接梁相连，加速度检测模块与质量块直接相连。本发明通过合理的连接梁设计，使角速度检测模块驱动模态与检测模态之间、加速度检测模态与角速度检测模态之间互相解耦，实现同时测量垂直方向加速度和角速度。加速度检测梳齿的设计消除了角速度检测模块驱动模态和检测模态对加速度检测模块检测造成的干扰影响，从而提高了微传感器在垂直方向加速度和角速度的测量精度。
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