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公开(公告)号：CN107850254A
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201680031190.0
申请日：2016-05-27
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 本发明提供一种高效地制造流体控制设备(10)的方法、方法中所用的接头用保护件(20、30)及流体控制设备(10)。接头用保护件(20、30)以可拆卸的方式被安装于在接头套管(13)插通在螺母的贯通孔中的状态下被焊接于主干部(12)的接头套管(13)。接头用保护件(20、30)的主体部(22)具有直径比接头套管(13)的外直径大的内周面(21)，以使内周面(21)与接头套管(13)的围绕轴的外周面(13B)之间具有间隙，主体部(22)具备用于相对于接头套管(13)进行装卸的缝隙(24)。通过将接头用保护件(20)安装于接头套管(13)，来抑制螺母沿着轴向的移动，使得接头套管13的密封部不从螺母突出，从而保护密封部。能够保持将接头用保护件(20、30)安装于主干部(12)的状态不变地进行清洗。
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公开(公告)号：CN106471298A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201580033240.4
申请日：2015-06-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/14 , C23C16/448 , H01L21/3065
Abstract: 在阀体(2)凹处(2c)底面(14)的平坦部(14b)上以包含流体流出通路(2b)的在凹处(2c)的底面(14)开口的部分的方式设置有沉头孔(15)。
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公开(公告)号：CN113366251A
公开(公告)日：2021-09-07
申请号：CN202080011998.9
申请日：2020-01-21
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种流路组件，其组装有节流件、过滤件等功能部件，其中，功能部件与流路部件之间被长期可靠地密封。第1流路构件(51)具有对环状密封构件(54)的中心轴线(Ct)方向上的一端面进行支承的第1密封面(51f)，所述第2流路构件具有对板状构件的表面进行支承的由平坦面形成的第2密封面、以及对环状密封构件的外周面进行支承的第3密封面，对于环状密封构件，该环状密封构件的另一端面被按压于板状构件的背面，该环状密封构件的一端面被按压于第1流路构件的第1密封面，该环状密封构件的外周面被按压于第2流路构件的第3密封面，板状构件被环状密封构件的另一端面按压而该板状构件的表面被按压于第2流路构件的第2密封面。
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公开(公告)号：CN112955685A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN201980070752.6
申请日：2019-10-21
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 提供一种具有更适合于小型化、集成化的构造的用于半导体制造工艺等的阀装置。该阀装置具有：阀体(3)，其收纳于截面形状为圆形的收纳凹部(35)，并且在底面形成有第1端口(3p1)和第2端口(3p2)；以及阀盖螺母(20)，其外螺纹部(20a)与形成于收纳凹部(35)的内周的内螺纹部(35s)螺纹结合，由此，将阀体(3)朝向收纳凹部(35)的底部按压，并且将该阀体(3)固定于流路块(30)，阀体(3)具有外周面部(3f)，该外周面部(3f)嵌入流路块(30)的收纳凹部(35)的内周面部(35a)，在外周面部(3f)形成有定位用的凸部(3a)，该凸部(3a)规定阀体(3)相对于流路块(30)的绕轴线(Ct)的旋转位置。
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公开(公告)号：CN111316026A
公开(公告)日：2020-06-19
申请号：CN201880071444.0
申请日：2018-10-22
Applicant: 株式会社富士金
Abstract: 提供一种能够确保所需的流量并且能够飞跃性地提高阀体的流路的配置自由度的小型化了的阀装置。所述阀装置具有：阀座支承件(50)，其设于收纳凹部(22)内，具有与阀座(16)的密封面(16f)抵接并且对来自该密封面(16f)的按压力进行支承的支承面(50f1)；以及隔膜(14)，其以能够与阀座(16)的座面(16s)抵接和分离的方式设置在收纳凹部(22)内，将收纳凹部(22)的开口侧密闭，阀座支承件(50)具有与收纳凹部(22)的内壁面的一部分协同动作而将初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的连通切断的密封面(50b1、50b2、50b3)、以及连接初级侧流路(21)和阀座(16)的流通流路(16a)的迂回流路(50a)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110730870A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201880037585.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/205
Abstract: 提供一种能够使活塞的移动速度成为恒速的致动器、阀、以及半导体制造装置。具备：致动器(20)以及阀杆(26)，该制动器(20)具备：壳体，在内周部形成有第一、第二外周部收容槽(22g、23g)；第一、第二活塞(31、34)，在外周部形成有第一、第二内周部收容槽(31c、34c)，设置在壳体内并且与壳体一起形成第一、第二压力室(S1、S2)，通过驱动流体进行驱动；以及环状的第一、第二密封部件(33、36)，具有嵌入至第一、第二外周部收容槽(22g、23g)的第一、第二内周部(33A、36A)及嵌入至第一、第二内周部收容槽(31c、34c)的第一、第二外周部(33B、36B)，并使第一、第二压力室(S1、S2)密闭；该阀杆(26)设置为通过第一、第二活塞(31、34)的驱动，能够相对于主体(10)接近及远离而使流体通路(11b、11c)开闭。
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公开(公告)号：CN110730869A
公开(公告)日：2020-01-24
申请号：CN201880037514.0
申请日：2018-06-22
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F15B15/14 , F16K31/122 , H01L21/31
Abstract: 提供一种能够以简易的结构使开闭速度的偏差减少的致动器、阀、流体供给系统，以及半导体制造装置。阀(1)具备：主体(10)，形成有流体通路(11b、11c)；隔膜(15)，使流体通路开闭；阀杆(26)，设置为能够相对于隔膜(15)接近及远离移动，从而通过隔膜(15)使流体通路(11b、11c)开闭；减压阀(40)，设置于壳体内，将从外部供给的驱动流体的压力减压至预定压力；以及驱动部(30)，设置于壳体内，通过由减压阀(40)减压的预定压力的驱动流体驱动阀杆(26)。
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公开(公告)号：CN110709634A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201880036391.9
申请日：2018-05-25
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K27/00
Abstract: 提供一种小型并且对弯矩的耐力得到了改善的阀装置。具有：块状的阀体(30)；壳体(11)，其为筒状，其内置有驱动用于开闭流路的阀芯的驱动机构，该壳体与阀体(30)连接，自该阀体(30)的上表面(30t)朝向上方延伸；以及保护构件(50)，其与筒状的壳体(11)和阀体(30)抵接，用于抑制在弯矩作为外力作用于壳体(10)时在位于壳体(10)的根基部分的壳体构件(12)与阀体(30)之间产生的应力集中。
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公开(公告)号：CN106461097B
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201580033235.3
申请日：2015-06-17
Applicant: 株式会社富士金
IPC: F16K7/12 , F16K7/14 , F16K7/16 , H01L21/205 , H01L21/3065
Abstract: 隔膜按压件(6)的与隔膜(5)抵接的面的曲率半径(SR2)设为30mm以上。相对于阀体(2)的凹处(2c)底面(14)的平坦部(14b)，按压接合件(8)的下表面的锥角(θ)设为10°以下。
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