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公开(公告)号：CN113517416A
公开(公告)日：2021-10-19
申请号：CN202110346113.7
申请日：2021-03-31
Applicant: 东京毅力科创株式会社
IPC: H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种减压干燥装置和减压干燥方法，使基片上的溶液中的溶剂在短时间干燥。在减压状态下使基片上的溶液干燥的该减压干燥装置包括：载置基片的载置台；溶剂收集部件，具有多个在厚度方向上贯通的贯通孔，以与载置于载置台的基片相对的方式设置，并暂时收集从该基片气化了的溶液中的溶剂；处理容器，其可减压且在内部设置上述载置台和上述溶剂收集部件，具有从厚度方向观察围绕载置台的侧壁；和围绕部件，其从厚度方向观察时以能够将处理容器内的侧壁与溶剂收集部件之间封闭的方式围绕溶剂收集部件，并与溶剂收集部件设置于同一平面上，围绕部件使处理容器内的气体通过从厚度方向观察比溶剂收集部件靠外侧的部分时的压力损失增加。
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公开(公告)号：CN110544752A
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201910830977.9
申请日：2016-10-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种检查装置、减压干燥装置和减压干燥装置的控制方法，能够在早期检测基板中涂敷有有机材料的涂敷区域的干燥状态。一种实施方式的检查装置包括拍摄部和干燥状态检测部。拍摄部对基板中涂敷有有机材料的涂敷区域进行拍摄。干燥状态检测部基于由拍摄部所拍摄的涂敷区域的色浓度来检测涂敷区域的干燥状态。
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公开(公告)号：CN106935734B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201610881393.0
申请日：2016-10-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种检查装置、减压干燥装置和减压干燥装置的控制方法，能够在早期检测基板中涂敷有有机材料的涂敷区域的干燥状态。一种实施方式的检查装置包括拍摄部和干燥状态检测部。拍摄部对基板中涂敷有有机材料的涂敷区域进行拍摄。干燥状态检测部基于由拍摄部所拍摄的涂敷区域的色浓度来检测涂敷区域的干燥状态。
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公开(公告)号：CN106935734A
公开(公告)日：2017-07-07
申请号：CN201610881393.0
申请日：2016-10-09
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种检查装置、减压干燥装置和减压干燥装置的控制方法，能够在早期检测基板中涂敷有有机材料的涂敷区域的干燥状态。一种实施方式的检查装置包括拍摄部和干燥状态检测部。拍摄部对基板中涂敷有有机材料的涂敷区域进行拍摄。干燥状态检测部基于由拍摄部所拍摄的涂敷区域的色浓度来检测涂敷区域的干燥状态。
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公开(公告)号：CN101807005B
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201010103298.0
申请日：2010-01-27
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Inventor： 植田稔彦
IPC: G03F7/16
Abstract: 本发明提供一种处理液供给系统和处理液供给方法。在对使用规定的处理液的装置供给存储在罐内的上述处理液的处理液供给系统中，在对上述装置供给处理液时也能对上述罐补充处理液，防止延长生产节拍时间。其包括：输出处理液的处理液存储罐；经由补充管路将用于补充到上述处理液存储罐的处理液供给到上述处理液存储罐的处理液补充部件；开闭上述补充管路的阀；将上述处理液存储罐内的压力调整为第一压力值的第一压力调整部件；将比上述阀更靠上述处理液补充部件侧的压力调整为高于上述第一压力值的第二压力值的第二压力调整部件，通过打开上述阀，从上述处理液存储罐对上述装置供给处理液，并从上述处理液补充部件对上述处理液存储罐供给处理液。
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