公开(公告)号：CN108531889A

公开(公告)日：2018-09-14

申请号：CN201810175365.6

申请日：2018-03-02

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 山口克昌 ,  成嶋健索 ,  八木宏宪 ,  关户幸一

IPC: C23C16/455 ,  C23C16/52 ,  C23C16/14

Abstract: 本发明提供一种能够使处理开始时的原料气体的流量在短时间内稳定化的气体供给装置。一实施方式的气体供给装置，其使原料容器内的原料气化，将原料气体与载气一起供给到处理容器内，包括：设置在所述原料容器和所述处理容器之间的缓冲罐；以能够将所述缓冲罐内和所述原料容器内排气的方式设置的压力调节通路；存储部，其存储向所述处理容器内供给所述原料气体进行了处理时的所述缓冲罐内的压力；和控制部，其控制在所述压力调节通路中进行排气的流量和对所述缓冲罐填充的所述原料气体和所述载气的流量，使得在向所述处理容器内供给所述原料气体之前，所述缓冲罐内的压力成为在所述存储部中所存储的压力。

公开(公告)号：CN104246007A

公开(公告)日：2014-12-24

申请号：CN201380017359.3

申请日：2013-03-28

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 小森荣一 ,  八木宏宪

IPC: C23C16/44 ,  B01D8/00 ,  H01L21/205

CPC classification number: C23C16/4412 ,  B08B9/00 ,  C23C16/18 ,  C23C16/4405 ,  F28B9/08 ,  H01L21/67017 ,  Y02C20/30 ,  Y02P70/605

Abstract: 设置于流过从在被处理体(W)的表面形成薄膜的成膜装置主体(4)排出的排气的排气通路(60)的途中并且通过将排气中所含有的捕集对象气体冷却液化后进行回收的捕集机构(10)，包括：具有气体入口(72A)和气体出口(72B)的壳体(72)；将壳体内划分为多个滞留空间(74A～74C)的划分部件(76)；连通滞留空间彼此的连通路径(78A、78B)；和为了冷却排气而对连通路径进行冷却的冷却套部(80A、80B)。利用该构造，将排气冷却并且使其绝热膨胀，高效地将捕集对象气体冷却并使其液化。