公开(公告)号：CN107094003A

公开(公告)日：2017-08-25

申请号：CN201610916306.0

申请日：2016-10-20

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩成 ,  金大虎 ,  申兰姬 ,  李华善 ,  林昶贤 ,  李泰京 ,  金成善

IPC: H03H9/17 ,  H03H3/02

Abstract: 提供一种具有框架的谐振器以及制造该谐振器的方法。所述谐振器包括：谐振部，包括第一电极、第二电极和位于第一电极和第二电极之间的压电层；框架，设置在谐振部的外缘处，框架的至少一部分覆盖第二电极的外端部。

公开(公告)号：CN107592091B

公开(公告)日：2021-03-09

申请号：CN201710532587.4

申请日：2017-07-03

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 林昶贤 ,  李文喆 ,  韩源 ,  李泰京 ,  金大虎

IPC: H03H9/17

Abstract: 本公开提供一种体声波滤波器装置及其制造方法，所述体声波滤波器装置包括：基板；下电极，在所述基板上；压电层，覆盖所述下电极的至少部分；及上电极，覆盖所述压电层的至少部分。所述上电极具有密度减小层，所述密度减小层设置在所述上电极的除所述体声波滤波器装置的谐振区的中央部分之外的至少部分上，所述体声波滤波器装置的谐振区在所述压电层的激发过程中随着所述压电层变形和振动。所述密度减小层的密度小于所述上电极的其他部分的密度。

公开(公告)号：CN108336982A

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：CN201810039429.X

申请日：2018-01-16

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 韩源 ,  金大虎 ,  金龙石 ,  韩昇勋 ,  李文喆 ,  林昶贤 ,  李成俊 ,  尹湘基 ,  金泰润 ,  孙尚郁

IPC: H03H9/02 ,  H03H9/05

CPC classification number: H03H9/02118 ,  H03H3/02 ,  H03H9/02015 ,  H03H9/02157 ,  H03H9/132 ,  H03H9/17 ,  H03H9/173 ,  H03H9/174 ,  H03H2003/021 ,  H03H2003/023

Abstract: 本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器，包括：基板；膜层，与所述基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及上电极，覆盖所述压电层的部分并使所述压电层的侧部暴露于空气，其中，所述压电层包括台阶部，所述台阶部从所述压电层的所述侧部延伸并设置在所述下电极的所述平坦表面上。

公开(公告)号：CN107592091A

公开(公告)日：2018-01-16

申请号：CN201710532587.4

申请日：2017-07-03

Applicant: 三星电机株式会社

Inventor： 林昶贤 ,  李文喆 ,  韩源 ,  李泰京 ,  金大虎

IPC: H03H9/17

Abstract: 本公开提供一种体声波滤波器装置及其制造方法，所述体声波滤波器装置包括：基板；下电极，在所述基板上；压电层，覆盖所述下电极的至少部分；及上电极，覆盖所述压电层的至少部分。所述上电极具有密度减小层，所述密度减小层设置在所述上电极的除所述体声波滤波器装置的谐振区的中央部分之外的至少部分上，所述体声波滤波器装置的谐振区在所述压电层的激发过程中随着所述压电层变形和振动。所述密度减小层的密度小于所述上电极的其他部分的密度。