薄膜晶体管面板及其制造方法

    公开(公告)号:CN101017835A

    公开(公告)日:2007-08-15

    申请号:CN200710092304.5

    申请日:2007-02-07

    Inventor: 柳春基 金奉柱

    Abstract: 一种薄膜晶体管(TFT)阵列面板,包括:基板;第一信号线,形成在该基板上;栅绝缘层,形成在该第一信号线上,并具有露出该第一信号线一部分的第一接触孔;第一半导体,形成在该栅绝缘层上;第二信号线,形成在该第一半导体和该栅绝缘层上;和漏极电极,形成在该第一半导体上,并与该第二信号线隔开。该TFT阵列面板还包括:导体,形成在该栅绝缘层上,并通过该第一接触孔连接到第一信号线;钝化层,形成在该第二信号线、该漏极电极和该导体上,并具有露出该漏极电极的第二接触孔;和像素电极,形成在该钝化层上,并通过该第二接触孔连接到该漏极电极。

    薄膜晶体管衬底及其制造方法

    公开(公告)号:CN1893092A

    公开(公告)日:2007-01-10

    申请号:CN200610100747.X

    申请日:2006-07-04

    Inventor: 柳春基

    CPC classification number: G02F1/1368 H01L27/12 H01L27/1248

    Abstract: 公开了一种提高了显示质量的薄膜晶体管衬底,包括:栅极线;数据线,与栅极线交叉并提供与栅极线和数据线毗邻的像素区域;数据图样,形成在与数据线大致相同的平面上并由与数据线大致相同的材料形成;薄膜晶体管,与栅极线和数据线连接、像素电极,与薄膜晶体管连接;有机保护层,在像素电极下形成并保护薄膜晶体管;和无机保护层,形成在数据图样和有机保护层之间,无机保护层以与数据图样有类似的图样形成在数据图样上。进一步提供了上述薄膜晶体管的制造方法。

    薄膜晶体管阵列板
    14.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1744322A

    公开(公告)日:2006-03-08

    申请号:CN200510097892.2

    申请日:2005-09-02

    Abstract: 本发明公开了一种改进的薄膜晶体管阵列板。在一个实施例中,阵列板包括多条栅线、数据线和多个连接到栅线和数据线的开关元件。层间绝缘层形成于栅线和数据线之间。还提供了覆盖栅线、数据线和开关元件的钝化层,其具有多个暴露所述数据线的部分的第一接触孔,其中,开关元件和像素电极通过第一接触孔连接。多个辅助接触形成于钝化层上且通过钝化层中的多个第二接触孔连接到数据线。多条辅助线通过层间绝缘层中的多个第三接触孔连接到数据线。

    薄膜晶体管面板及其制造方法

    公开(公告)号:CN101017835B

    公开(公告)日:2011-04-06

    申请号:CN200710092304.5

    申请日:2007-02-07

    Inventor: 柳春基 金奉柱

    Abstract: 一种薄膜晶体管(TFT)阵列面板,包括:基板;第一信号线,形成在该基板上;栅绝缘层,形成在该第一信号线上,并具有露出该第一信号线一部分的第一接触孔;第一半导体,形成在该栅绝缘层上;第二信号线,形成在该第一半导体和该栅绝缘层上;和漏极电极,形成在该第一半导体上,并与该第二信号线隔开。该TFT阵列面板还包括:导体,形成在该栅绝缘层上,并通过该第一接触孔连接到第一信号线;钝化层,形成在该第二信号线、该漏极电极和该导体上,并具有露出该漏极电极的第二接触孔;和像素电极,形成在该钝化层上,并通过该第二接触孔连接到该漏极电极。

    薄膜晶体管基板及其制造方法

    公开(公告)号:CN101257028A

    公开(公告)日:2008-09-03

    申请号:CN200710305124.0

    申请日:2007-09-26

    CPC classification number: H01L27/124

    Abstract: 公开了一种薄膜晶体管基板及制造TFT基板的方法,其能够简化制造工艺并保护栅驱动器不被侵蚀。薄膜晶体管基板包括:包括显示区域和非显示区域的绝缘基板,包括在显示区域中绝缘基板上形成的第一栅电极的栅金属图形,在栅金属图形上形成的栅绝缘层,在栅栅绝缘层上形成的与第一栅电极交叠的第一半导体图形,包括连接到第一半导体图形两端的第一源电极和第一漏电极的数据金属图形,连接到第一漏电极并形成在栅绝缘层上的透明导电图形,和形成在第一半导体图形和数据金属图形上的保护层。

    薄膜晶体管阵列面板及其制造方法

    公开(公告)号:CN101136413A

    公开(公告)日:2008-03-05

    申请号:CN200710137191.6

    申请日:2007-07-30

    Inventor: 朴鲜 柳春基

    CPC classification number: H01L27/12 H01L27/124 H01L27/1248

    Abstract: 本发明公开了一种薄膜晶体管阵列面板和制造该薄膜晶体管阵列面板的方法。该薄膜晶体管阵列面板包括形成于多条栅线的多个端部上的钝化层。钝化层的一部分具有形成于柔性印刷电路基板和薄膜晶体管基板的连接部分之间的多孔结构,使得当柔性印刷电路基板和薄膜晶体管阵列面板相互连接时,具有多孔结构并形成于其间连接部分的钝化层将柔性印刷电路基板与薄膜晶体管阵列面板连接,从而最小化了连接部分的金属的暴露面积以改善其抗腐蚀性能。

    薄膜晶体管衬底及其制造方法

    公开(公告)号:CN1913163A

    公开(公告)日:2007-02-14

    申请号:CN200610110142.9

    申请日:2006-08-07

    Inventor: 朴庆珉 柳春基

    Abstract: 薄膜晶体管衬底及其制造方法。衬底包括第一和第二导电型金属氧化物半导体(MOS)晶体管。第一导电型MOS晶体管包括形成在阻挡层上具有与沟道两边相邻的第一导电型低浓度掺杂区的第一半导体层,与第一导电型低浓度掺杂质区相邻的第一导电型源/漏极区,形成在第一半导体层上的第一栅绝缘层,形成在第一栅绝缘层上并与沟道区和第一半导体层的低浓度掺杂质区重叠的第二栅绝缘层,形成在第二栅绝缘层上的第一栅极。第二导电型MOS晶体管包括形成在阻挡层上具有与沟道两边相邻的第二导电型源/漏极区的第二半导体层,形成在第二半导体层上的第一栅绝缘层,形成在第一栅绝缘层上并与第二半导体层重叠的第二栅绝缘层,形成在第二栅绝缘层上的第二栅极。

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