空间光调制器中心位置干涉对准装置及方法

    公开(公告)号:CN108957716A

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201810476735.X

    申请日:2018-05-17

    Abstract: 空间光调制器中心位置干涉对准装置及方法,属于超精密光电测量技术领域。本发明基于等厚干涉原理,利用空间光调制器输出四象限相位图,通过简洁的光路结构获取干涉图,以实现入射光束中心与空间光调制器中心的对准。本发明方案利用泰曼干涉光路结构,通过四象限相位图实现楔形平板等厚干涉,利用图像处理技术提取入射圆光斑中心和空间光调制器中心位置,从而达到中心对准的目的。本发明对准精度高、使用灵活性大、系统结构简单,可广泛应用于许多光学系统的模拟设计和研究领域。

    基于结构光照明的面形测量装置和方法

    公开(公告)号:CN108007387B

    公开(公告)日:2018-12-07

    申请号:CN201711238050.3

    申请日:2017-11-30

    Abstract: 基于结构光照明的面形测量装置和方法,属于光学显微成像与测量技术领域。本发明专利的技术特点是:装置包括:结构光照明模块、轴向扫描模块和探测模块。本发明在常规结构光照明显微系统中增加由偏振分光镜、低孔径物镜、管镜和平面反射镜等组成的轴向扫描装置,实现结构光照明条纹在被观测样品空间的高速轴向移动,并且利用窗口傅里叶变换对不同z向位置条纹投影下拍摄的图片进行处理,计算每个子区域图像在投影条纹频率处的相关系数,获取每个横向位置清晰度轴向响应曲线,曲线的峰值位置即为样品该横向位置的相对高度,最终获取样品表面面形。该发明具有装调简单,轴向扫描速度快,测量结果受样品表面反射率差异影响小和信噪比高的优点。

    一种基于改进布谷鸟搜索策略的最小区域球度评定方法

    公开(公告)号:CN108804390A

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201810640600.2

    申请日:2018-06-21

    Abstract: 基于改进布谷鸟搜索策略的最小区域球度评定方法属于精密测量与仪器技术领域;该方法首先根据测量数据计算出最小二乘球心和最小二乘球度,并以最小二乘球心和球度建立正方体搜索范围,对应正方体边界值为变量的上下界;将最小二乘球心作为第1个初始解,其余初始解在搜索范围中随机产生,并计算每一个解对应的目标函数的数值,求取当前最优解的位置;利用改进公式进行搜索位置更新,并求取当前最优解;采用改进步长控制因子进行搜索路径更新,并求取当前最优解位置,直至达到最大迭代次数或设定精度,输出全局最优位置和对应球度,作为球度误差评定结果;本发明实现了一种高精度快速最小区域球度评定方法。

    一种用于最小区域球度评定的最优导向自适应搜索方法

    公开(公告)号:CN108804384A

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201810640697.7

    申请日:2018-06-21

    Abstract: 用于最小区域球度评定的最优导向自适应搜索方法属于精密测量与仪器技术领域;该方法首先根据测量数据计算出的最小二乘球心为中心,2倍最小二乘球度为边长的正方体为搜索范围和变量边界,采用空间定向收缩的方法使该搜索范围沿x轴、y轴和z轴方向收缩,获得初始解的分布范围;继而在该范围中随机产生一组初始解,并计算每一个解对应的目标函数值和最优解位置;利用最优导向自适应搜索方法进行搜索位置更新,并求取当前最优解;重复迭代过程,直至达到设定精度或最大迭代次数,获得全局最优位置和对应球度,作为最小区域球度误差评定结果;本发明方法实现了高效全局寻优的球度误差评定。

    一种宽范围、大工作距自准直装置与方法

    公开(公告)号:CN106247993B

    公开(公告)日:2018-11-09

    申请号:CN201610639162.9

    申请日:2016-08-07

    Abstract: 本发明属于精密测量技术领域和光学工程领域,具体涉及一种宽范围大工作距自准直装置与方法;该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成;该方法通过调整反射镜,使反射光束回到反馈成像系统像面中心,再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化;由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜,因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题,进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围,或在相同自准直工作范围下增加工作距离的技术优势;此外,准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计,使本发明还具有结构简单、制作成本低;尤其低采样频率下具有高测量精度;以及快速测量的技术优势。

    一种高精度激光大工作距自准直装置与方法

    公开(公告)号:CN106017364B

    公开(公告)日:2018-11-09

    申请号:CN201610639132.8

    申请日:2016-08-07

    Abstract: 本发明属于精密测量技术领域与光学工程领域,具体涉及一种高精度激光大工作距自准直装置与方法;该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成;该方法通过调整反射镜,使反射光束回到反馈成像系统像面中心,再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化;由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜,因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题,进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围,或在相同自准直工作范围下增加工作距离的技术优势;此外,准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计,使本发明还具有结构简单、制作成本低;同时还能监测测量环境稳定性;以及快速测量的技术优势。

    便携式组合调零高精度大工作距自准直装置与方法

    公开(公告)号:CN106052547B

    公开(公告)日:2018-11-06

    申请号:CN201610638928.1

    申请日:2016-08-07

    Abstract: 本发明属于精密测量技术领域和光学工程领域,具体涉及便携式组合调零高精度大工作距自准直装置与方法;该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成;该方法通过调整反射镜,使反射光束回到反馈成像系统像面中心,再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化;由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜,因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题,进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围,或在相同工作范围下增加工作距离的优势;此外,准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计,使本发明还具有小型便携、测量精度高;尤其低采样频率下具有高测量精度;以及快速测量的技术优势。

    基于双周期性极化晶体的飞秒脉冲功率放大方法及装置

    公开(公告)号:CN105490159B

    公开(公告)日:2018-10-19

    申请号:CN201610084898.4

    申请日:2016-02-06

    Inventor: 郭佳豪 谭久彬

    Abstract: 基于双周期性极化晶体的飞秒脉冲功率放大方法及装置属于激光探测领域,该方法依据远端发射过来的功率极弱的飞秒脉冲序列,由本地飞秒激光器向回发射新的脉冲序列,并利用周期性极化晶体的非线性效应和双折射效应产生反馈信号,对本地飞秒激光器的脉冲重复频率进行反馈控制,使得输出信号的脉冲与原信号实时重叠并锁定;该装置包括本地飞秒激光器、平衡光电探测单元、控制单元和分光光路;本发明在实现了飞秒激光功率放大的同时,以阿秒量级的阿伦方差保留了原信号的脉冲时域信息。

    一种高加速往复运动恒重力补偿装置

    公开(公告)号:CN108646519A

    公开(公告)日:2018-10-12

    申请号:CN201810436997.3

    申请日:2018-05-09

    Abstract: 本发明公开一种高加速往复运动恒重力补偿装置;该装置的直线运动部件可沿垂向运动配装在导轨上,低摩擦气缸的活塞杆通过解耦单元与直线运动部件连接;该装置可为直线运动部件高加速往复运动提供恒定的重力补偿,具有运动顺畅、结构紧凑、体积小,用途广泛,适用能力强的特点,尤其适合光刻机曝光系统中小空间的高加速往复运动的使用。

    速度、加速度复合预估激光测振相位解调方法

    公开(公告)号:CN108627235A

    公开(公告)日:2018-10-09

    申请号:CN201810208084.6

    申请日:2018-03-14

    Abstract: 速度、加速度复合预估激光测振相位解调方法属于激光测振技术领域;该相位解调方法包括以下步骤:对原始干涉正交信号进行增益和偏置校正,计算相位序列,计算初始位移,预估速度、加速度、位移、相位整数项和相位小数项,根据实际相位小数项与预估相位小数项间的差值确定实际相位整数项和实际位移;本发明可解决零差激光干涉测振技术中传统相位解调方法在高速振动测量时存在的采样频率过高和数据量过大的问题,可有效提高振动测量速度,降低硬件成本和扩大激光测振仪应用范围。

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