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公开(公告)号:CN109884052A
公开(公告)日:2019-06-14
申请号:CN201910045336.2
申请日:2019-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/84
Abstract: 基于CCD探测的减法式谐波显微成像方法属于非线性光学显微成像领域;用CCD相机代替传统谐波显微成像中的光电倍增管,作为谐波信号探测器。飞秒激光器发出的脉冲经过整形扩束后由显微物镜会聚在样品内部形成谐波信号发生所需的激发光斑。样品激发出的谐波信号,被同一物镜收集后经过管镜、滤光片后被CCD相机探测。计算机控制CCD有效像素个数来形成不同大小的等效共焦针孔。用小针孔获得的谐波信号减去乘上系数后的大针孔下形成的谐波信号,由计算机将减法处理后的谐波信号整合成最终的谐波图像。白光光源搭配CCD可在获得亮场图像的同时,定位样品中感兴趣的成像区域。该方法可有效提升谐波显微成像的分辨率,且系统结构简单,调试方便,操作简单。
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公开(公告)号:CN109884050A
公开(公告)日:2019-06-14
申请号:CN201910044623.1
申请日:2019-01-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/84
Abstract: 基于远距离调焦的消像差谐波显微测量方法属于非线性光学显微成像领域;在谐波信号探测模块中,引入参考反射镜,使光路反转,重复利用聚焦物镜,可补偿成像过程中的系统像差。通过轴向移动参考反射镜,实现对谐波信号的重聚焦。飞秒激光器发出的脉冲经整形后由扫描振镜反射,经过转接光学系统后由显微物镜会聚在样品内部形成谐波信号发生所需的激发光斑。样品激发出的谐波信号,被探测物镜收集后经过转接系统并由中转物镜聚焦于参考反射镜镜面。反射光对称返回,再次经过中转物镜,由分束器反射后经过窄带滤光片,最后被光电倍增管探测。该方法有效补偿了系统像差,可实现谐波显微成像的大范围、快速轴向扫描,并且样品保持静止,不受调焦干扰。
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公开(公告)号:CN108020173B
公开(公告)日:2019-06-11
申请号:CN201711238066.4
申请日:2017-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学 , 北京锐驰恒业仪器科技有限公司
IPC: G01B11/25
Abstract: 基于结构光照明的面形测量装置和方法,属于光学显微成像与测量技术领域。本发明专利的技术特点是:装置包括:结构光照明模块、轴向扫描模块和探测模块。本发明在常规结构光照明显微系统中增加由偏振分光镜、低孔径物镜、管镜和平面反射镜等组成的轴向扫描装置,实现结构光照明条纹在被观测样品空间的高速轴向移动,并且利用窗口傅里叶变换对不同z向位置条纹投影下拍摄的图片进行处理,计算每个子区域图像在投影条纹频率处的相关系数,获取每个横向位置清晰度轴向响应曲线,曲线的峰值位置即为样品该横向位置的相对高度,最终获取样品表面面形。该发明具有装调简单,轴向扫描速度快,测量结果受样品表面反射率差异影响小和信噪比高的优点。
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公开(公告)号:CN108627937B
公开(公告)日:2019-05-07
申请号:CN201810437697.7
申请日:2018-05-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开一种半解耦联动式可变光阑。该装置包括4个主动气浮导轨和4个从动导轨并通过双层气浮模块和联动模块连接,从动导轨末端安装光阑板,4个光阑板首尾相接旋转对称式安装并形成共面的矩形窗口。该装置可通过驱动模块分别对4个光阑板进行逆时针异位控制,实现平面内任意范围的扫描,提高了窗口扫描的精度和效率。本发明可用于建立一种高分辨率、高运动/定位精度的投影式曝光装置。
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公开(公告)号:CN109580639A
公开(公告)日:2019-04-05
申请号:CN201811497335.3
申请日:2018-12-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明公开了一种基于同心双锥面镜的暗场共焦亚表面检测装置和方法,点光源发出的光经过中空反射镜、准直镜、凸锥面镜、凹锥面镜生成环形光,环形光经中空反射镜、分光棱镜和物镜,将环形光汇聚至待测样品,待测样品发出的反射光和散射光经过物镜和分光棱镜,入射至探测互补光阑,反射光被遮挡散射光经过收集透镜和探测针孔,入射至光电探测器,从而完成对亚表面的检测。本发明采用同心双锥面镜生成环形光,光能利用率接近百分之百,提高了成像对比度和信噪比;上下移动的圆柱销可以改变环形光占空比;采用环形光束照明,结合探测互补光阑实现暗场共焦,解决了普通共焦显微技术检测亚表面损伤信噪比低的问题,检测方法适用于亚表面无损检测。
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公开(公告)号:CN109579782A
公开(公告)日:2019-04-05
申请号:CN201910025696.6
申请日:2019-01-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01C1/00
CPC classification number: G01C1/00
Abstract: 本发明属于精密测量技术领域与光学工程领域,具体涉及一种高精度大工作距自准直三维角度测量装置与方法;该装置由光源、分光镜、图像传感器、准直镜、固定平面反射镜以及合作靶标组成;该方法通过合作靶标,使测量光束分为两束相互垂直的测量光,分别经固定平面反射镜以及合作靶标反射后返回,分别在图像传感器上形成各自图像,利用该两图像位置解算出合作靶标相对于光轴的俯仰角、偏航角以及滚转角,从而具有对被测物空间三维转角的探测能力;由于本发明对于滚转角采用的是光杠杆放大原理,与俯仰角和偏航角的测量原理一致,因此对于三维角度测量均具有高精度大工作距的技术优势,进而具有在相同工作距离下增加测量精度,或在相同测量精度下增加工作距离的优势;此外,本发明所设计的合作靶标具有结构简单、制作成本低的技术优势。
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公开(公告)号:CN109539975A
公开(公告)日:2019-03-29
申请号:CN201811352669.1
申请日:2018-11-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 单频激光干涉仪非线性误差修正方法与装置属于激光测量技术领域;本发明在不需要改变第一反射镜和第二反射镜位置的前提下,利用液晶相位延迟器在测量光束和参考光束之间产生连续的光程差变化,使得干涉信号产生足够的相位变化,实现对干涉信号特征参数的预提取,从而利用预提取的特征参数对单频激光干涉仪位移测量过程中的非线性误差进行修正,实现高精度位移测量;本发明实现了对单频激光干涉仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小位移测量中非线性误差的修正问题,在精密测量领域具有显著的技术优势。
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公开(公告)号:CN105758799B
公开(公告)日:2019-03-19
申请号:CN201510867963.6
申请日:2015-11-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N21/01
Abstract: 一种超分辨阵列虚拟结构光照明成像装置及其成像方法,它涉及一种成像装置及其成像方法。本发明为了解决现有技术中的显微成像技术只能测量较薄的生物样品,测量效率低的问题。本发明包括LED光源1,沿LED光源1光线传播方向依次放置准直扩束器2、扫描系统3、微透镜阵列4、准直透镜5、分光棱镜7、1/4波片9、照明物镜10、样品11、收集透镜6、CCD探测器8;每次扫描得到的探测光斑直接在像面进行叠加得到最初的探测数据,每个方向进行不同相位照明的扫描,经过图像重构得到超分辨图像。本发明拓宽空间频域带宽,适用于工业形貌及厚生物样品成像的测量领域。
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公开(公告)号:CN109443249A
公开(公告)日:2019-03-08
申请号:CN201811485069.2
申请日:2018-12-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B11/26
Abstract: 基于透射光栅的高精度滚转角测量方法与装置属于精密仪器制造和精密测试计量技术;本发明采用一维平面透射光栅作为敏感器件,实现了敏感器件的滚转角变化量测量;本发明解决了现有方法与装置中的测量精度低、工作距离短等不足,利用双衍射光束进行差动测量,消除了由光源光束角度漂移引入的测量误差;待测光束与光轴平行,极大地增大了测量装置的工作距离,同时使探测结构更挤紧凑;激光光束两次经过透射光栅作用,使系统测量分辨力提高了一倍;该测量系统消除了偏摆角和俯仰角对旋转角测量的影响;更换不同线对的光栅可满足不同测量精度的要求。
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