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公开(公告)号：CN103062306B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201210575168.6
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16F6/00 , F16C32/06 , G03F7/20
Abstract: 双层气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的电涡流阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板通过气浮面润滑与支撑，通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高稳定性，气浮板与下安装板、活塞筒与套筒通过气浮面润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨解耦，角运动自由度通过二维柔性铰链解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机对高性能隔振器的需求。
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公开(公告)号：CN103062287B
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201210574212.1
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/06 , G03F7/20
Abstract: 共面气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的电磁阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板、活塞筒与套筒通过气浮面进行润滑与支撑，通过电磁阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过二维柔性铰链进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机对高性能隔振器的需求。
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公开(公告)号：CN103791814A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410052101.3
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于电涡流传感的双立柱式航空发动机转子电驱动装配方法与装置属于机械装配技术。其测量方法与装置是基于磁浮回转轴系确定回转基准；依据感应同步器确定转台的角度定位；基于四测头测量装置，提取转子径向装配面的径向误差和轴向装配面的倾斜误差，得到该转子对装配后转子同轴度的影响权值；分别测量装配所需的全部转子，得到各转子对装配后转子同轴度的影响权值；将各转子的权值进行矢量优化，得到各转子的装配角度。本发明可有效解决航空发动机转子装配后同轴度低的问题，具有转子装配后同轴度高、减小振动、易于安装、灵活度高、改善发动机性能的特点。
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公开(公告)号：CN103790884A
公开(公告)日：2014-05-14
申请号：CN201410051866.5
申请日：2014-02-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: F16K31/0603 , F15B1/265 , F15B21/048 , F16K11/02 , Y10T137/87169 , Y10T137/87917
Abstract: 一种四状态可调节式气路结构属于储气式气动执行机构；气源经由单向阀分别与贮气罐和二位三通电磁阀A的a1端口连通，所述的二位三通电磁阀A的c1端口和b1端口分别与二位三通电磁阀B的c2端口和排气孔连通，所述的二位三通电磁阀B的a2端口和b2端口分别与二位三通电磁阀C的b3端口和节流阀一端口连通，所述节流阀的另一端口与二位三通电磁阀C的a3端口连通，所述的二位三通电磁阀C的c3端口与气罐连通。本结构以空气为介质，利用空气的可压缩性，实现集中供气，大大简化了机械结构的加工及维护，且可实现工作速率的智能控制，具有结构简单、制造成本低廉、作业安全可靠、使用寿命长、适合远距离传输等优点。
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公开(公告)号：CN103090162A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210572007.1
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/04 , F16M11/18 , F16F15/023 , F16F15/04
Abstract: 基于弹簧零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压气磁结构的隔振器支撑气磁隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向、水平位移执行器，实现台体六自由度姿态调整；该装置中由弹簧式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103090161A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210571965.7
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/04 , F16M11/18 , F16F15/023 , F16F15/02
Abstract: 基于空气弹簧零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压气磁结构的隔振器支撑气磁隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向位移执行器，实现台体三自由度姿态调整；该装置中由空气弹簧式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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公开(公告)号：CN103075620A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201210574167.X
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/04 , F16M11/18 , F16F15/04 , F16F15/023 , F16F15/02
Abstract: 基于弹簧零位基准和激光自准直测量的空气弹簧隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压空气弹簧结构的隔振器支撑空气弹簧隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间垂向、水平位移执行器，实现台体六自由度姿态调整；该装置中由弹簧式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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公开(公告)号：CN103062306A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210575168.6
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16F6/00 , F16C32/06 , G03F7/20
Abstract: 双层气浮正交解耦与二维柔性铰链角度解耦的电涡流阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板通过气浮面润滑与支撑，通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高稳定性，气浮板与下安装板、活塞筒与套筒通过气浮面润滑与支撑，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨解耦，角运动自由度通过二维柔性铰链解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机对高性能隔振器的需求。
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公开(公告)号：CN103062289A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210574239.0
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16F15/027 , F16F15/03 , F16C32/06 , G03F7/20
Abstract: 双层气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的电磁阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与气浮板通过气浮面进行润滑与支撑，通过电磁阻尼器衰减振动能量、提高稳定性，气浮板与下安装板、活塞筒与套筒通过气浮面进行润滑与支撑，上、下安装板之间的水平直线运动自由度通过双层正交气浮导轨进行解耦，角运动自由度通过滚动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。
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公开(公告)号：CN103047513A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210574093.X
申请日：2012-12-19
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F16M11/04 , F16M11/18 , F16F15/023 , F16F15/02
Abstract: 基于磁浮零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压气磁结构的隔振器支撑气磁隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间水平位移执行器，实现台体三自由度姿态调整；该装置中由磁浮式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。
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